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年產(chǎn)3萬噸電子級硫酸和1萬噸功能濕電子化學(xué)品可行性研究報(bào)告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 興福電子    2023-11-03

1、項(xiàng)目基本情況

本項(xiàng)目擬新建 4 萬噸/年超高純電子化學(xué)品（電子級硫酸和功能濕電子化學(xué)品）生產(chǎn)裝置及配套廠房，項(xiàng)目規(guī)劃總投資 57,099.05 萬元，擬使用募集資金 55,030.97萬元，實(shí)施主體為公司全資子公司上海興福，擬建設(shè)地點(diǎn)為上?；瘜W(xué)工業(yè)園區(qū)，建設(shè)期 24 個月。項(xiàng)目投產(chǎn)后可新增年產(chǎn) 3 萬噸電子級硫酸和 1 萬噸功能濕電子化學(xué)品的生產(chǎn)能力。

電子級硫酸

電子級硫酸主要應(yīng)用于 8 英寸、12 英寸晶圓制造的清洗工藝環(huán)節(jié)，用于清洗各類金屬、有機(jī)物和顆粒物，是目前集成電路制造中用量最大的酸性清洗、刻蝕原料之一。公司電子級硫酸產(chǎn)品 2017 年實(shí)現(xiàn) SEMI G4 等級技術(shù)突破，2020 年實(shí)現(xiàn) SEMIG5 等級技術(shù)突破和穩(wěn)定生產(chǎn)，是電子級硫酸國家標(biāo)準(zhǔn)的牽頭起草單位，也是國內(nèi)最早一批實(shí)現(xiàn) SEMI G5 等級技術(shù)突破且擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)。

目前，公司電子級硫酸產(chǎn)品金屬離子含量可穩(wěn)定控制在 5ppt 以內(nèi)，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到 SEMI 通用標(biāo)準(zhǔn)最高等級 G5 等級、電子級硫酸國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 41881-2022）最高等級 E1 級要求，經(jīng)中國電子材料行業(yè)協(xié)會組織專家組鑒定，公司電子級硫酸相關(guān)成果整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。

目前公司電子級硫酸產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)對中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、長鑫存儲、德州儀器（成都）、晶合集成、重慶萬國、燕東微、聯(lián)華電子、CMC Materials等國內(nèi)外知名集成電路行業(yè)企業(yè)的供應(yīng)。

功能濕電子化學(xué)品

公司功能濕電子化學(xué)品主要包括硅蝕刻液、金屬蝕刻液、清洗劑、顯影液、剝膜液、再生劑等產(chǎn)品，主要用于集成電路晶圓制造及封裝、顯示面板 TFT-LCD制造的清洗、刻蝕等環(huán)節(jié)。功能濕電子化學(xué)品的性能根據(jù)客戶產(chǎn)線要求而有所不同，核心技術(shù)在于配方。

公司生產(chǎn)銷售的通用濕電子化學(xué)品主要包括電子級磷酸、電子級硫酸，功能濕電子化學(xué)品主要包括蝕刻液、清洗劑、顯影液、剝膜液、再生劑等，主要應(yīng)用在集成電路、顯示面板等領(lǐng)域電子產(chǎn)品制造過程中的濕法工藝環(huán)節(jié)。

對于濕電子化學(xué)品而言，金屬雜質(zhì)含量、顆?？刂屏郊皵?shù)量是影響電子信息產(chǎn)品成品率、電性能及可靠性的關(guān)鍵因素，亦是評價產(chǎn)品品質(zhì)的重要技術(shù)指標(biāo)。產(chǎn)品技術(shù)水平的先進(jìn)性主要通過國際通用的標(biāo)準(zhǔn)等級進(jìn)行評價，并通過產(chǎn)業(yè)化成果和客戶認(rèn)可情況驗(yàn)證。

公司功能濕電子化學(xué)品產(chǎn)品品種較為豐富，截至本報(bào)告發(fā)布日，公司已根據(jù)不同客戶需求主要開發(fā)了 37 種功能濕電子化學(xué)品產(chǎn)品，其中蝕刻液 28 種，清洗劑 2 種、顯影液 2 種、剝膜液 3 種、再生劑 2 種。

公司功能濕電子化學(xué)品客戶群體廣泛，目前已實(shí)現(xiàn)對中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、中芯集成、華潤上華、比亞迪半導(dǎo)體、芯恩集成、添鴻科技、深圳華星光電、惠科股份、彩虹光電等國內(nèi)外多家知名集成電路和顯示面板行業(yè)企業(yè)的供應(yīng)。

2、項(xiàng)目用地情況

本項(xiàng)目擬建設(shè)于上?；瘜W(xué)工業(yè)園區(qū)內(nèi)，上海興福與上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)管理委員會、上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)發(fā)展有限公司于 2022 年 12 月 30 日簽訂《投資意向性協(xié)議》，對項(xiàng)目用地相關(guān)事項(xiàng)予以約定，初步確定擬供應(yīng)土地為上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū) B5-5 地塊。

2023 年 3 月 23 日，上海化學(xué)工業(yè)區(qū)管理委員會出具《關(guān)于上海興福電子材料有限公司“4 萬噸/年超高純電子化學(xué)品項(xiàng)目”、“電子化學(xué)品研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目”土地供應(yīng)情況的說明》：“截至目前，以上項(xiàng)目已完成園區(qū)準(zhǔn)入評估，擬采用帶產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目招拍掛方式實(shí)施供地，供地方案已通過我委主任辦公會審議，項(xiàng)目供地審批正常推進(jìn)中；上述兩項(xiàng)目用地性質(zhì)為工業(yè)用地，符合土地政策、《上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)控制性詳細(xì)規(guī)劃》要求。我委將積極協(xié)調(diào)上級主管部門，推動后續(xù)程序順利推進(jìn)，屆時上海興福應(yīng)當(dāng)通過參與‘招拍掛’出讓程序取得相關(guān)土地的使用權(quán)。

如因客觀原因?qū)е马?xiàng)目公司無法取得化工區(qū) B5-5 地塊的，我委將積極協(xié)調(diào)其他地塊，以確保項(xiàng)目公司可以取得符合土地政策、城市規(guī)劃等相關(guān)法規(guī)要求，且配套設(shè)施完善的項(xiàng)目用地，避免對本項(xiàng)目整體進(jìn)度產(chǎn)生重大不利影響?！?

3、項(xiàng)目備案情況

本項(xiàng)目已在上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)管理委員會完成備案，并已取得《上海市企業(yè)投資 項(xiàng) 目 備 案 證 明 》 （ 登 記 備 案 項(xiàng) 目 代 碼 ： 上 海 代 碼 ：310001MABWQ7YT020221D2204004，國家代碼：2211-310000-04-01-783671）。

4、項(xiàng)目環(huán)評情況

2023 年 3 月 24 日，上海市生態(tài)環(huán)境局出具《上海市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于上海興福電子材料有限公司 4 萬噸/年超高純電子化學(xué)品項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書的審批意見》（滬環(huán)保許評[2023]11 號），同意本項(xiàng)目建設(shè)。本項(xiàng)目投產(chǎn)后產(chǎn)生的主要污染物為廢氣、廢水、設(shè)備噪音、固體廢物等，預(yù)計(jì)環(huán)保投資總額為 3,300 萬元。

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