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安徽省銅陵市-電子先進材料及電子級混合氣體項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 正帆科技    2024-05-28

1、項目基本情況

本項目為銅陵正帆電子材料有限公司在一期已建、二期預留的基礎(chǔ)上，利用一期已建的路網(wǎng)以及公輔工程設施，新建二期年產(chǎn) 890噸電子先進材料及 30萬立方電子級混合氣體項目，同時為電子、半導體、芯片等各類高端客戶提供高純和超高純氣體現(xiàn)場制氣服務。

本項目擬生產(chǎn)的電子先進材料主要包括原硅酸乙酯（TEOS）、亞磷酸三乙酯（TEPO）、硼酸三乙酯（TEB）、四甲基硅烷(4MS)、三甲基硅烷(3MS)、八甲基環(huán)四硅氧烷(OMCTS)、六氯乙硅烷(HCDS)、四氯化鈦(TiCl )、四氯化鉿(HfCl )4 4等產(chǎn)品，擬生產(chǎn)的電子級混合氣體包括磷化氫/氫氣混合氣、磷化氫/氮氣混合氣、磷化氫/氬氣混合氣、磷化氫/硅烷混合氣、乙硼烷/氫氣混合氣、鍺烷/氫氣混合氣、四氟化鍺/氫氣混合氣、三氟化硼/氫氣混合氣等各類產(chǎn)品。

2、項目實施的必要性

電子先進材料是指應用于電子制造及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的特殊材料，如半導體材料、各種薄膜、高純度金屬材料等，是集成電路（Integrated Circuit；簡稱 IC）制造過程中必不可少的原料。同時它也廣泛應用于光電子、化合物半導體、太陽能光伏電池、液晶顯示器、光導纖維制造等其它諸多領(lǐng)域。

集成電路制造的前道工序如外延、化學氣相沉積、離子注入、摻雜、刻蝕、清洗、掩蔽膜生成等工藝幾乎都需要不同種類和不同純度的電子先進材料和電子氣體通過不同的工藝使硅片具有半導體性能。

電子先進材料及電子級混合氣體的純度直接影響集成電路的性能、集成度、成品率，是集成電路制造關(guān)鍵材料之一。

隨著集成電路制造工藝及技術(shù)的發(fā)展，芯片尺寸的不斷增大，工藝不斷提高，特征尺寸線寬不斷減小，對集成電路制程用的各種電子氣體及材料的質(zhì)量純度、特定技術(shù)指標等要求不斷提高。目前 8英寸以上集成電路生產(chǎn)裝置工藝要求電子氣體及材料純度大都在 99.999%（5.0N）以上，有害雜質(zhì)甚至要求達到 10-9（ppb）。

目前世界集成電路制造中心不斷向中國轉(zhuǎn)移，近幾年我國集成電路增長速度達到每年 30%左右，作為集成電路制造必不可少的關(guān)鍵材料電子先進材料和電子氣體，其需求總量大大超過人們的預期。

我國電子先進材料及電子級氣體整體水平和國外還有一定的差距，8英寸以上集成電路生產(chǎn)裝置所使用的電子先進材料和電子級電子氣體幾乎全部依賴進口。同我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展相比，我國與之相關(guān)的電子先進材料的研究與生產(chǎn)相對落后。

為促進我國集成電路產(chǎn)業(yè)的健康穩(wěn)定可持續(xù)發(fā)展，提升我國集成電路裝備、工藝及材料的自主創(chuàng)新能力和市場的競爭力，解決我國集成電路、光電子、太陽能、光伏電池、平板顯示器、光導纖維等制造業(yè)對國外進口電子先進材料和電子氣體的依賴，大力發(fā)展電子氣體整體水平勢在必行。

3、項目實施的可行性

（1）符合國家和地方政府的工業(yè)布局

近年來，“皖江城市帶”已逐漸承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移示范區(qū)并打造成引領(lǐng)安徽省轉(zhuǎn)型發(fā)展的新支撐帶。在此基礎(chǔ)上，“皖江城市帶”加快產(chǎn)業(yè)集聚和高端化發(fā)展，培育具有重要影響力的沿江城市組群，成為“長江經(jīng)濟帶”重要戰(zhàn)略支點具有重要意義。

根據(jù)產(chǎn)業(yè)政策與經(jīng)濟發(fā)展要求，加快大力發(fā)展電子信息和家電、汽車和裝備制造、能源和新能源、材料和新材料、現(xiàn)代服務業(yè)等主導產(chǎn)業(yè)群，建成具有國際競爭力的先進制造業(yè)和現(xiàn)代服務業(yè)基地迫在眉睫。

安徽將圍繞新一代信息技術(shù)、先進軌道交通裝備、新材料、節(jié)能環(huán)保、生物醫(yī)藥和高端醫(yī)療器械、現(xiàn)代農(nóng)業(yè)機械等先進制造業(yè)，強化龍頭帶動，增強創(chuàng)新能力，完善產(chǎn)業(yè)配套，促進集群集聚發(fā)展。

同時將發(fā)揮好專項引導資金、產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金作用，高水平規(guī)劃、高標準建設，加快建設第一批戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展基地，穩(wěn)步推進后續(xù)批次基地建設，鼓勵建設市級戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

（2）依托現(xiàn)有技術(shù)力量，實現(xiàn)產(chǎn)品間的相互配套

正帆科技目前在上海、合肥、銅陵、揚州、泰州、德清、麗水等地已建立全資子公司作為裝備和材料的生產(chǎn)制造基地。

其中銅陵正帆電子材料有限公司主要生產(chǎn)電子級砷化氫、磷化氫、硅烷、混合氣體等特種氣體，其中砷化氫、磷化氫氣體打破國外壟斷，成功實現(xiàn)了進口替代，為助力國家半導體事業(yè)的發(fā)展做出了積極的貢獻。

公司關(guān)鍵核心產(chǎn)品的技術(shù)完全由公司自主擁有，并且具有強大的研發(fā)能力，滿足市場日益增長的需求。本項目的代表產(chǎn)品屬于國家鼓勵發(fā)展的產(chǎn)品。本項目建設完成將對推動安徽省電子氣體行業(yè)的發(fā)展具有現(xiàn)實意義。

（3）園區(qū)配套完善，有利于項目的實施

本項目擬選址在銅陵市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東部園區(qū)。擬建地點社會經(jīng)濟發(fā)展良好，交通便利，園區(qū)水、電、蒸汽、天然氣供應充足，污水處理、固廢處理配套完善。

園區(qū)招商引資政策優(yōu)厚，以較少的投資費用和較短的時間準備工作，即可以投入生產(chǎn)。除此之外，區(qū)域內(nèi)人力資源豐富，對于建廠后的穩(wěn)定運行奠定了良好的人力資源基礎(chǔ)。

4、項目實施主體與投資情況

本項目將由公司全資子公司銅陵正帆電子材料有限公司作為實施主體，本項目預計建設期為 18個月，項目總投資 35,000.00萬元。

5、項目經(jīng)濟效益評價

本項目建成后，預計全部投資內(nèi)部收益率（所得稅后）為 21.26%，投資回收期 4.15年，項目預期效益良好。

6、項目涉及土地、備案及環(huán)保等有關(guān)審批、批準或備案事項

本項目擬建于銅陵市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東部園區(qū)黃浦江大道與桐國路交叉口銅陵正帆電子材料有限公司廠區(qū)內(nèi)，該場地為公司現(xiàn)有場地。

本項目已完成項目備案（備案號為 2103-340760-04-01-279258）、環(huán)評批復（安環(huán)[2023]42號）等相關(guān)審批/備案程序。