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高精度半導(dǎo)體掩膜版與大尺寸平板顯示掩膜版擴產(chǎn)項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 路維光電    2024-05-29

1、項目概述

本項目實施主體為公司全資子公司路維科技，項目總投資額為 26,558.31 萬元，建設(shè)內(nèi)容為新建 3 條半導(dǎo)體高精度掩膜版生產(chǎn)線和 1 條平板顯示大尺寸掩膜版（G8.5）生產(chǎn)線，其中新建的 G8.5 平板顯示大尺寸掩膜版產(chǎn)線將與成都路維原有產(chǎn)線共用部分后端制程設(shè)備。

2、項目實施的必要性

（1）大幅提升半導(dǎo)體掩膜版產(chǎn)品精度，配套我國半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是信息經(jīng)濟時代的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，對于我國的經(jīng)濟建設(shè)、國防建設(shè)、軍事安全和信息安全具有舉足輕重的地位，特別是在中美貿(mào)易戰(zhàn)等不確定的國際貿(mào)易環(huán)境下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的國產(chǎn)化迫在眉睫。

集成電路產(chǎn)業(yè)主要分為 IC設(shè)計、IC 制造和 IC 封測三大細分產(chǎn)業(yè)。近十年，我國 IC 設(shè)計能力有了較大進步，華為海思在通信、安防芯片領(lǐng)域已經(jīng)達到全球領(lǐng)先水平；在 IC 封測領(lǐng)域，國產(chǎn)化進程最為迅速，我國領(lǐng)先的 IC 封測廠商如通富微電等已位列全球 IC 封測廠商第一梯隊；但是我國 IC 制造水平，特別是在先進制程方面，與國外相比仍然存在較大差距，是目前制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的最大短板。

IC 制造掩膜版技術(shù)壁壘高，工藝難度大，長期被境外領(lǐng)先廠商壟斷。針對IC 制造的先進制程，美國福尼克斯生產(chǎn)的 IC 制造掩膜版已突破 10nm 的節(jié)點，臺灣光罩生產(chǎn)的 IC 制造掩膜版已突破 90nm 的節(jié)點，而目前我國只有少數(shù)科研院所在 IC 制造掩膜版領(lǐng)域突破 130nm 的節(jié)點，與國外領(lǐng)先廠商相比仍有較大差距。

目前公司已實現(xiàn) 250nm 制程節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)，滿足先進半導(dǎo)體芯片封裝、半導(dǎo)體器件、先進指紋模組封裝、高精度藍寶石襯底（PSS）等產(chǎn)品應(yīng)用。公司通過自主研發(fā)，已掌握 180nm/150nm 節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版制造核心技術(shù)并積累了一定的研究成果，同時公司已掌握的半導(dǎo)體掩膜版制造技術(shù)可以覆蓋第三代半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品。

（2）保持公司在平板顯示掩膜版領(lǐng)域的行業(yè)領(lǐng)先地位，優(yōu)化產(chǎn)能

G8.5 平板顯示掩膜版市場需求較大，公司受限于產(chǎn)能不足的問題，在需求撞期時需要使用 G11 掩膜版產(chǎn)線完成 G8.5 掩膜版的生產(chǎn)。而 G11 產(chǎn)線的設(shè)備最經(jīng)濟的配置為用于 G11 和 AMOLED 平板顯示掩膜版的生產(chǎn)制造，G11 產(chǎn)線的產(chǎn)品加工尺寸、速度等與 G8.5 掩膜版產(chǎn)品不匹配，產(chǎn)品和產(chǎn)線的錯配使公司的生產(chǎn)成本上升而利潤空間下降。

本次擴產(chǎn)項目的實施將新建一條 G8.5 平板顯示掩膜版產(chǎn)線，提升公司的產(chǎn)能水平，從而進一步發(fā)揮規(guī)?；?jīng)營優(yōu)勢，有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本，提升公司綜合競爭力。

同時本次擴產(chǎn)項目新建 G8.5 掩膜版產(chǎn)線將釋放現(xiàn)有 G11 產(chǎn)線的產(chǎn)能，使其更多投入到 G11 和 AMOLED 平板顯示掩膜版的生產(chǎn)中，G11 和 AMOLED掩膜版等高端產(chǎn)品技術(shù)難度大，產(chǎn)品附加值高，有利于公司優(yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，保持公司在平板顯示掩膜版領(lǐng)域的行業(yè)領(lǐng)先地位。

（3）把握國產(chǎn)替代的行業(yè)機遇，提升公司市場份額

公司的主要產(chǎn)品為掩膜版，下游客戶主要集中在平板顯示和半導(dǎo)體領(lǐng)域。作為電子信息產(chǎn)業(yè)的兩大核心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，平板顯示行業(yè)和半導(dǎo)體芯片行業(yè)是我國重點扶持的戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)，國家和地方各級政府部門近年來出臺了《“十三五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》《增強制造業(yè)核心競爭力三年行動計劃（2018-2020 年）》等一系列政策和措施予以全面扶持，將平板顯示和半導(dǎo)體等行業(yè)上升到國家戰(zhàn)略發(fā)展高度，為平板顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈內(nèi)的企業(yè)提供了良好的發(fā)展機遇。

全球電子產(chǎn)業(yè)鏈重心不斷向國內(nèi)轉(zhuǎn)移及升級，國內(nèi)電子元器件行業(yè)發(fā)展迅速，特別是平板顯示行業(yè)和半導(dǎo)體芯片行業(yè)作為國家戰(zhàn)略支持行業(yè)，政策大力引導(dǎo)促進產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化、自主可控。當前國際貿(mào)易環(huán)境的不確定性以及全球新冠疫情的影響加速了電子信息產(chǎn)業(yè)鏈的重構(gòu)，對我國電子信息產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料與裝備本地化配套、上下游協(xié)同創(chuàng)新、構(gòu)建完整產(chǎn)業(yè)鏈提出了更高的要求。

掩膜版應(yīng)用于平板顯示、半導(dǎo)體等行業(yè)產(chǎn)品制造過程中的曝光工序，是最關(guān)鍵的生產(chǎn)材料之一，但長期被國際領(lǐng)先廠商壟斷。近年來掩膜版的國產(chǎn)化進程加快，掩膜版進口替代迎來巨大發(fā)展機遇，公司適時擴充產(chǎn)能有助于把握關(guān)鍵的發(fā)展機遇，提升公司的市場份額。

3、項目實施的可行性

（1）公司在半導(dǎo)體掩膜版領(lǐng)域扎實的技術(shù)積累是實現(xiàn)產(chǎn)品升級的基礎(chǔ)

公司一直致力于為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供關(guān)鍵上游原材料的國產(chǎn)化配套，不斷攻克半導(dǎo)體芯片掩膜版的核心技術(shù)。目前公司已實現(xiàn) 250nm 制程節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)，滿足先進半導(dǎo)體芯片封裝、半導(dǎo)體器件、先進指紋模組封裝、高精度藍寶石襯底（PSS）等產(chǎn)品應(yīng)用。同時，公司通過自主研發(fā)，已掌握180nm/150nm 節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版制造核心技術(shù)并積累了一定的研究成果。

此外，以 SiC、GaN 為代表的第三代半導(dǎo)體以其高頻、高效、高功率、耐高溫、抗輻射能力強等優(yōu)越性能，是支撐新一代移動通信、新能源汽車、能源互聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展和轉(zhuǎn)型升級的重點。公司通過自主研發(fā)，目前已掌握的半導(dǎo)體掩膜版制造技術(shù)可以覆蓋第三代半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品，并與國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)展開合作。

公司在半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)積累為公司高精度半導(dǎo)體掩膜版領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)品升級提供了強大的技術(shù)支撐。

（2）公司在平板顯示掩膜版領(lǐng)域領(lǐng)先的技術(shù)水平與強大的客戶資源為項目實施提供有力保障

公司在平板顯示掩膜版領(lǐng)域具有國際領(lǐng)先的技術(shù)水平。公司于 2019 年成功實現(xiàn)國內(nèi)首條 G11 掩膜版投產(chǎn)，一舉打破國外廠商在該領(lǐng)域的壟斷，成為國內(nèi)首家、世界第四家掌握 G11 掩膜版生產(chǎn)制造技術(shù)的企業(yè)。

公司的 G11 掩膜版曾榮獲 2019 年中國新型顯示行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈突出貢獻獎，AMOLED 平板顯示制造用高精密掩膜版曾榮獲第六屆中國電子信息博覽會創(chuàng)新獎。同時公司在高世代高精度半色調(diào)掩膜版制造技術(shù)與光阻涂布技術(shù)等先進技術(shù)上也取得重大突破，打破國外技術(shù)壟斷，實現(xiàn)了相關(guān)產(chǎn)品和技術(shù)的國產(chǎn)化配套，在圖形精度及均勻性、缺陷控制、Mura 控制等方面達到國際先進水平。

公司憑借多年來積累的行業(yè)經(jīng)驗、穩(wěn)定的產(chǎn)品技術(shù)、強大的服務(wù)能力，在平板顯示掩膜版市場積累了大批優(yōu)質(zhì)的客戶資源。公司的客戶多數(shù)是所處行業(yè)中的規(guī)模較大、具有一定市場地位的領(lǐng)先企業(yè)，如京東方、華星光電、中電熊貓、C 公司等企業(yè)。本次擴產(chǎn)項目擬在為公司的現(xiàn)有客戶群體提供 G8.5 大尺寸平板顯示掩膜版，同時將釋放 G11 產(chǎn)線的產(chǎn)能至 G11 掩膜版和 AMOLED 掩膜版，上述產(chǎn)品均已通過客戶驗證并穩(wěn)定出貨，產(chǎn)能消化有保障。

公司平板顯示掩膜版技術(shù)的領(lǐng)先與強大的客戶資源是此項目實施的有力保障，同時項目的順利展開將會進一步提升公司平板顯示技術(shù)的領(lǐng)先程度，成為公司后續(xù)發(fā)展強大的推動力。

（3）受益于政策支持和下游行業(yè)發(fā)展，掩膜版國產(chǎn)化進程加快

掩膜版行業(yè)作為半導(dǎo)體和平板顯示等電子信息行業(yè)的重要上游行業(yè)，屬于國家發(fā)展戰(zhàn)略的重要產(chǎn)業(yè)之一。國家產(chǎn)業(yè)政策支持，為掩膜版行業(yè)提供了良好的發(fā)展機遇。

掩膜版行業(yè)的發(fā)展與其下游行業(yè)的發(fā)展密切相關(guān)，我國平板顯示、半導(dǎo)體等下游行業(yè)市場規(guī)模的不斷增長為掩膜版提供了廣闊的市場空間。

4、項目投資概算

本項目總投資 26,558.31 萬元。

5、項目實施進度安排

本項目建設(shè)期為 27 個月。

6、項目審批、核準或備案程序履行情況

本項目的實施主體為路維科技，該項目已完成四川省企業(yè)投資項目備案（川投資備[2020-510109-39-03-502447] FGQB-0501 號），且已取得環(huán)評批復(fù)（成高環(huán)字〔2020〕41 號）。

7、項目環(huán)保情況

本項目設(shè)計充分考慮了環(huán)境保護因素，本項目所產(chǎn)生的污染主要包括廢氣、廢水、噪音和固體廢物，公司已經(jīng)對污染情況進行評估和綜合治理論證，并已形成綜合治理方案。上述污染經(jīng)處理或治理后，能達到國家規(guī)定排放標準的要求，基本無不良環(huán)境影響，符合國家環(huán)保要求。

2020 年 12 月 23 日，成都高新區(qū)生態(tài)環(huán)境和城市管理局對本項目出具成高環(huán)字〔2020〕41 號《關(guān)于對成都路維光電科技有限公司高精度半導(dǎo)體掩膜版與大尺寸平板顯示掩膜版擴產(chǎn)項目<環(huán)境影響報告表>的批復(fù)》，同意本項目建設(shè)。

8、項目用地情況

項目建設(shè)地點為成都市高新西區(qū)康強三路 1666 號。本次項目通過路維科技租賃成都路維的廠房實施，成都路維已取得川（2019）成都市不動產(chǎn)權(quán)第0278193 號《不動產(chǎn)權(quán)證書》，土地用途為工業(yè)用地。