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年產(chǎn)890噸電子先進(jìn)材料及30萬立方電子級混合氣體項(xiàng)目可行性研究報(bào)告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 正帆科技    2023-05-06

1、項(xiàng)目基本情況

本項(xiàng)目為銅陵正帆電子材料有限公司在一期已建、二期預(yù)留的基礎(chǔ)上,利用一期已建的路網(wǎng)以及公輔工程設(shè)施,新建二期年產(chǎn) 890噸電子先進(jìn)材料及 30萬立方電子級混合氣體項(xiàng)目,同時(shí)為電子、半導(dǎo)體、芯片等各類高端客戶提供高純和超高純氣體現(xiàn)場制氣服務(wù)。

本項(xiàng)目擬生產(chǎn)的電子先進(jìn)材料主要包括原硅酸乙酯(TEOS)、亞磷酸三乙酯(TEPO)、硼酸三乙酯(TEB)、四甲基硅烷(4MS)、三甲基硅烷(3MS)、八甲基環(huán)四硅氧烷(OMCTS)、六氯乙硅烷(HCDS)、四氯化鈦(TiCl4 )、四氯化鉿(HfCl4 )4等產(chǎn)品,擬生產(chǎn)的電子級混合氣體包括磷化氫/氫氣混合氣、磷化氫/氮?dú)饣旌蠚?、磷化?氬氣混合氣、磷化氫/硅烷混合氣、乙硼烷/氫氣混合氣、鍺烷/氫氣混合氣、四氟化鍺/氫氣混合氣、三氟化硼/氫氣混合氣等各類產(chǎn)品。

2、項(xiàng)目實(shí)施的必要性

電子先進(jìn)材料是指應(yīng)用于電子制造及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的特殊材料,如半導(dǎo)體材料、各種薄膜、高純度金屬材料等,是集成電路(Integrated Circuit;簡稱 IC)制造過程中必不可少的原料。同時(shí)它也廣泛應(yīng)用于光電子、化合物半導(dǎo)體、太陽能光伏電池、液晶顯示器、光導(dǎo)纖維制造等其它諸多領(lǐng)域。集成電路制造的前道工序如外延、化學(xué)氣相沉積、離子注入、摻雜、刻蝕、清洗、掩蔽膜生成等工藝幾乎都需要不同種類和不同純度的電子先進(jìn)材料和電子氣體通過不同的工藝使硅片具有半導(dǎo)體性能。

例如原硅酸乙酯(TEOS)主要用于集成電路中制備外延材料,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中起到重要作用,是微電子高端化學(xué)品,也是第三代半導(dǎo)體材料和新興半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中重要的前驅(qū)體材料,其生產(chǎn)工藝難度較大,且生產(chǎn)過程中對于金屬離子雜質(zhì)含量控制嚴(yán)格,當(dāng)前能夠?qū)崿F(xiàn)規(guī)?;a(chǎn)的企業(yè)較少。

電子先進(jìn)材料及電子級混合氣體的純度直接影響集成電路的性能、集成度、成品率,是集成電路制造關(guān)鍵材料之一。隨著集成電路制造工藝及技術(shù)的發(fā)展,芯片尺寸的不斷增大,工藝不斷提高,特征尺寸線寬不斷減小,對集成電路制程用的各種電子氣體及材料的質(zhì)量純度、特定技術(shù)指標(biāo)等要求不斷提高。目前 8英寸以上集成電路生產(chǎn)裝置工藝要求電子氣體及材料純度大都在 99.999%(5.0N)以上,有害雜質(zhì)甚至要求達(dá)到 10-9(ppb)。

目前世界集成電路制造中心不斷向中國轉(zhuǎn)移,近幾年我國集成電路增長速度達(dá)到每年 30%左右,作為集成電路制造必不可少的關(guān)鍵材料電子先進(jìn)材料和電子氣體,其需求總量大大超過人們的預(yù)期。

我國電子先進(jìn)材料及電子級氣體整體水平和國外還有一定的差距,8英寸以上集成電路生產(chǎn)裝置所使用的電子先進(jìn)材料和電子級電子氣體幾乎全部依賴進(jìn)口。同我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展相比,我國與之相關(guān)的電子先進(jìn)材料的研究與生產(chǎn)相對落后。為促進(jìn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)的健康穩(wěn)定可持續(xù)發(fā)展,提升我國集成電路裝備、工藝及材料的自主創(chuàng)新能力和市場的競爭力,解決我國集成電路、光電子、太陽能、光伏電池、平板顯示器、光導(dǎo)纖維等制造業(yè)對國外進(jìn)口電子先進(jìn)材料和電子氣體的依賴,大力發(fā)展電子氣體整體水平勢在必行。

3、項(xiàng)目實(shí)施的可行性

(1)符合國家和地方政府的工業(yè)布局

近年來,“皖江城市帶”已逐漸承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移示范區(qū)并打造成引領(lǐng)安徽省轉(zhuǎn)型發(fā)展的新支撐帶。在此基礎(chǔ)上,“皖江城市帶”加快產(chǎn)業(yè)集聚和高端化發(fā)展,培育具有重要影響力的沿江城市組群,成為“長江經(jīng)濟(jì)帶”重要戰(zhàn)略支點(diǎn)具有重要意義。根據(jù)產(chǎn)業(yè)政策與經(jīng)濟(jì)發(fā)展要求,加快大力發(fā)展電子信息和家電、汽車和裝備制造、能源和新能源、材料和新材料、現(xiàn)代服務(wù)業(yè)等主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)群,建成具有國際競爭力的先進(jìn)制造業(yè)和現(xiàn)代服務(wù)業(yè)基地迫在眉睫。

安徽將圍繞新一代信息技術(shù)、先進(jìn)軌道交通裝備、新材料、節(jié)能環(huán)保、生物醫(yī)藥和高端醫(yī)療器械、現(xiàn)代農(nóng)業(yè)機(jī)械等先進(jìn)制造業(yè),強(qiáng)化龍頭帶動(dòng),增強(qiáng)創(chuàng)新能力,完善產(chǎn)業(yè)配套,促進(jìn)集群集聚發(fā)展。同時(shí)將發(fā)揮好專項(xiàng)引導(dǎo)資金、產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金作用,高水平規(guī)劃、高標(biāo)準(zhǔn)建設(shè),加快建設(shè)第一批戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展基地,穩(wěn)步推進(jìn)后續(xù)批次基地建設(shè),鼓勵(lì)建設(shè)市級戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

(2)依托現(xiàn)有技術(shù)力量,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品間的相互配套

正帆科技目前在上海、合肥、銅陵、揚(yáng)州、泰州等地已建立全資子公司作為裝備和材料的生產(chǎn)制造基地。其中銅陵正帆電子材料有限公司主要生產(chǎn)電子級砷化氫、磷化氫、硅烷、混合氣體等特種氣體,其中砷化氫、磷化氫氣體打破國外壟斷,成功實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代,為助力國家半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展做出了積極的貢獻(xiàn)。

公司關(guān)鍵核心產(chǎn)品的技術(shù)完全由公司自主擁有,并且具有強(qiáng)大的研發(fā)能力,滿足市場日益增長的需求。本項(xiàng)目的代表產(chǎn)品屬于國家鼓勵(lì)發(fā)展的產(chǎn)品。本項(xiàng)目建設(shè)完成將對推動(dòng)安徽省電子氣體行業(yè)的發(fā)展具有現(xiàn)實(shí)意義。

(3)園區(qū)配套完善,有利于項(xiàng)目的實(shí)施

本項(xiàng)目擬選址在銅陵市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東部園區(qū)。擬建地點(diǎn)社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展良好,交通便利,園區(qū)水、電、蒸汽、天然氣供應(yīng)充足,污水處理、固廢處理配套完善。

園區(qū)招商引資政策優(yōu)厚,以較少的投資費(fèi)用和較短的時(shí)間準(zhǔn)備工作,即可以投入生產(chǎn)。除此之外,區(qū)域內(nèi)人力資源豐富,對于建廠后的穩(wěn)定運(yùn)行奠定了良好的人力資源基礎(chǔ)。

4、項(xiàng)目實(shí)施主體與投資情況

本項(xiàng)目將由公司全資子公司銅陵正帆電子材料有限公司作為實(shí)施主體,本項(xiàng)目預(yù)計(jì)建設(shè)期為 18個(gè)月,項(xiàng)目總投資 35,000.00萬元。

5、項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)效益評價(jià)

本項(xiàng)目建成后,預(yù)計(jì)全部投資內(nèi)部收益率(所得稅后)為 14.50%,投資回收期 4.9年,項(xiàng)目預(yù)期效益良好。

6、項(xiàng)目涉及土地、備案及環(huán)保等有關(guān)審批、批準(zhǔn)或備案事項(xiàng)

本項(xiàng)目擬建于銅陵市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東部園區(qū)黃浦江大道與桐國路交叉口銅陵正帆電子材料有限公司廠區(qū)內(nèi),該場地為公司現(xiàn)有場地。

本項(xiàng)目已完成項(xiàng)目備案(備案號為 2103-340760-04-01-279258),環(huán)評等相關(guān)審批/備案事項(xiàng)尚在辦理過程中,公司將根據(jù)相關(guān)要求履行審批或備案程序。

此報(bào)告為正式可研報(bào)告摘取部分,個(gè)性化定制請咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。

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