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浙江麗水市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)-特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 正帆科技    2023-05-06

1、項(xiàng)目基本情況

本項(xiàng)目為正帆科技（麗水）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“麗水正帆”）特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目，將采用技術(shù)先進(jìn)、成熟可靠的生產(chǎn)工藝，運(yùn)轉(zhuǎn)成本低、操作管理方便，提高資源綜合利用率，降低生產(chǎn)與環(huán)保處理成本，提高公司的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

本項(xiàng)目主要產(chǎn)品包括氫氣、氮?dú)?、液氮、液氬、液氧、氦氣，以及多種電子混合氣、實(shí)驗(yàn)室氣體、工業(yè)氣、消防氣體等。

2、項(xiàng)目實(shí)施的必要性

工業(yè)中，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。根據(jù)制備方式和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，工業(yè)氣體可分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體主要包括氧氣、氮?dú)?、氬氣等空分氣體及乙炔、二氧化碳等合成氣體，具有產(chǎn)銷量大但對(duì)純度要求不高的特點(diǎn)。特種氣體根據(jù)用途不同可分為電子特種氣體、醫(yī)療保健用氣體、食品飲料用氣體、航天用氣體等。

電子特種氣體對(duì)純度有著更為嚴(yán)格的要求，以滿足半導(dǎo)體制造微加工工藝的清潔要求。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，電子特種氣體的種類和數(shù)量仍在不斷增加，主要包括硅烷、硼烷、鍺烷、磷烷、砷烷、氫氣等氫化物，氟化硼、氟化氮、氟化磷、氟化硅、氟化碳等氟化物，氦氣、氬氣、氖氣、氪氣、氙氣等稀有氣體等。

電子特種氣體普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、液晶面板材料制造等各個(gè)工藝流程中，比如清洗、沉積、光刻、刻蝕、離子注入、成膜、摻雜等環(huán)節(jié)。因此，根據(jù)成分與用途的不同，可以將電子特種氣體分為：光刻用氣、刻蝕用氣、摻雜用氣、外延沉積用氣等。例如硅片熱氧化工藝涉及的反應(yīng)氣體包括高純度氧氣、氮?dú)?、氯離子氣體等。光刻制程中，除了用作激光源的氣體混合物（氖、氬、氪、氟等）之外，氮?dú)?、氦氣、氫氣也起到功能性?yīng)用，比如氦氣往往作為光刻制程中的冷卻氣體，而氫氣在 EUV 光刻中用作清潔和保護(hù)氣體。

電子特種氣體所重點(diǎn)應(yīng)用的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型、雙循環(huán)等國(guó)家重大發(fā)展戰(zhàn)略的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，我國(guó)十四五規(guī)劃對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中包括先進(jìn)制程、高端集成電路設(shè)計(jì)和先進(jìn)封裝技術(shù)、關(guān)鍵的半導(dǎo)體設(shè)備和材料、第三代半導(dǎo)體等領(lǐng)域各個(gè)關(guān)鍵卡脖子環(huán)節(jié)提供重點(diǎn)支持。在當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)環(huán)境和國(guó)際形勢(shì)下，國(guó)際貿(mào)易摩擦等因素更是增加了半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的不確定性。因此，在復(fù)雜的地緣政治和科技博弈中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的區(qū)域性自給自足成為趨勢(shì)，實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈自給自足的重要性愈發(fā)凸顯。

此外，由于先進(jìn)制程及存儲(chǔ)技術(shù)需求增加、顯示市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)、“碳中和”及“碳達(dá)峰”對(duì)光伏需求的增加，預(yù)計(jì)未來(lái)幾年電子特氣市場(chǎng)需求仍將繼續(xù)保持高速增長(zhǎng)。

正是瞄準(zhǔn)了這一極具價(jià)值的產(chǎn)業(yè)機(jī)會(huì)，麗水正帆致力于在麗水經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)建設(shè)一個(gè)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、技術(shù)質(zhì)量最高、服務(wù)一流實(shí)驗(yàn)室氣體生產(chǎn)基地。

3、項(xiàng)目實(shí)施的可行性

（1）項(xiàng)目產(chǎn)品符合國(guó)家政策要求

本項(xiàng)目生產(chǎn)的產(chǎn)品屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019年本）》（2021年修改）中的鼓勵(lì)類項(xiàng)目。本項(xiàng)目的實(shí)施，可進(jìn)一步提高我國(guó)在氫能產(chǎn)業(yè)、電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平，為全國(guó)氫能源及電子氣體、化學(xué)品應(yīng)用起到示范帶頭作用，帶動(dòng)麗水當(dāng)?shù)仉娮?、化學(xué)品行業(yè)的發(fā)展。經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效應(yīng)顯著。

（2）工程項(xiàng)目著眼于環(huán)保與清潔生產(chǎn)

本項(xiàng)目工程采用的生產(chǎn)工藝符合清潔生產(chǎn)的要求，生產(chǎn)設(shè)備為國(guó)際、國(guó)內(nèi)的先進(jìn)設(shè)備，無(wú)落后淘汰的設(shè)備。擬建項(xiàng)目的環(huán)境保護(hù)措施、勞動(dòng)安全衛(wèi)生措施、消防措施是切實(shí)可行的，目的各項(xiàng)危害因素是可以預(yù)防和治理的。此外，本項(xiàng)目公用配套設(shè)施利用合理、注意環(huán)境保護(hù)和節(jié)能節(jié)水等要求的實(shí)施，各單項(xiàng)間的安全防火間距符合國(guó)家和行業(yè)現(xiàn)行有關(guān)工程建設(shè)法規(guī)的要求。

（3）工程項(xiàng)目合理分期建設(shè)

本項(xiàng)目擬分期建設(shè)，一期工程為氫氣生產(chǎn)、分裝裝置，生產(chǎn)能力為 2,000Nm3 /h （16,560,000Nm3 /a）；二期工程為 6,000 Nm3 /h 空分裝置，主要生產(chǎn)產(chǎn)品為氮?dú)?15,000 Nm3 /h（124,200,000Nm3 /a）、液氮折合 10,100 Nm3 /h（83,628,000Nm3 /a）、液氬折合 260Nm3 /h（2,152,800Nm3 /a）及液氧折合 6,000 Nm3 /h（49,680,000Nm3 /a）； 三期工程為氫氣生產(chǎn)裝置的擴(kuò)建，生產(chǎn)能力為 2,000Nm3 /h（16,560,000Nm3 /a）；

四期工程為氣體分裝，分裝產(chǎn)品包括電子混合氣，氦氣，實(shí)驗(yàn)室氣體（Xe,CO2,N2 混合氣、Ar、CO2、He、H2、N2、CO2/He 混合氣、超純氙氣、超純氪氣、超純氖 氣、超純氫氣、超純氬氣、超純氮?dú)?、超純氦氣等），工業(yè)氣體（高純氬、高純 氮、高純氦、純液氬、高純液氮、工業(yè)液氧、二氧化碳、工業(yè)激光氣、工業(yè)混合 氣一、工業(yè)混合氣二、工業(yè)混合氣），以及消防氣充裝（IG01、IG100、IG55、IG541、 二氧化碳）。

（4）工程項(xiàng)目收益顯著

本項(xiàng)目總投資 40,000.00萬(wàn)元，本工程上線后，年均利潤(rùn) 10,538.17萬(wàn)元，項(xiàng)目投資財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率（所得稅后）為 17.88%，投資回收期 5.49年，工程經(jīng)濟(jì)效益顯著，產(chǎn)品抗風(fēng)險(xiǎn)能力較強(qiáng)。

4、項(xiàng)目實(shí)施主體與投資情況

本項(xiàng)目將由公司全資子公司正帆科技（麗水）有限公司作為實(shí)施主體，本項(xiàng)目預(yù)計(jì)建設(shè)期為 42個(gè)月，項(xiàng)目總投資 40,000.00萬(wàn)元。

5、項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)效益評(píng)價(jià)

本項(xiàng)目建成后，預(yù)計(jì)項(xiàng)目投資財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率（所得稅后）為 17.88%，投資回收期 5.49年，項(xiàng)目預(yù)期效益良好。

6、項(xiàng)目涉及土地、備案及環(huán)保等有關(guān)審批、批準(zhǔn)或備案事項(xiàng)

本項(xiàng)目位于浙江麗水市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)化工園區(qū)內(nèi)，為化工廠區(qū)的預(yù)留土地。本項(xiàng)目已完成項(xiàng)目備案（備案號(hào)為 2205-331151-04-01-154745），環(huán)評(píng)等相關(guān)審批/備案事項(xiàng)尚在辦理過(guò)程中，公司將根據(jù)相關(guān)要求履行審批或備案程序。

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