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SiC材料研發(fā)制造總部項(xiàng)目可行性研究報(bào)告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 志橙股份    2024-02-20

（一）項(xiàng)目必要性

1、行業(yè)發(fā)展迅速，CVD 碳化硅市場(chǎng)前景廣闊

近年來(lái)，由于全球第三代半導(dǎo)體、集成電路等半導(dǎo)體行業(yè)保持強(qiáng)勁增長(zhǎng)，碳化硅外延片、硅外延片及下游芯片、器件出貨量持續(xù)創(chuàng)新高，外延設(shè)備的需求量及開機(jī)率持續(xù)增長(zhǎng)，因此設(shè)備用零部件市場(chǎng)不斷擴(kuò)大。半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅零部件作為關(guān)鍵精密零部件，處于反應(yīng)腔內(nèi)，部分直接與晶圓接觸，工藝難度高，對(duì)于晶圓制造、芯片制造環(huán)節(jié)至關(guān)重要。

半導(dǎo)體材料和零部件行業(yè)作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的基石和上游核心環(huán)節(jié)，戰(zhàn)略意義顯著。根據(jù) QY Research 數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)及預(yù)測(cè)，2022 年全球 CVD 碳化硅零部件市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 8.13 億美元，預(yù)計(jì) 2028 年將達(dá)到14.32 億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率（CAGR）為 9.89%。

中國(guó)作為全球最大的半導(dǎo)體產(chǎn)品消費(fèi)市場(chǎng)，近年來(lái)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品需求大幅增加，需求引導(dǎo)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐步往中國(guó)轉(zhuǎn)移，目前，中國(guó)市場(chǎng)已成為帶動(dòng)全球半導(dǎo)體市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要?jiǎng)恿χ弧?

根據(jù) QY Research 數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)及預(yù)測(cè)，2022 年中國(guó)CVD 碳化硅零部件市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 2.00 億美元，預(yù)計(jì) 2028 年將達(dá)到 4.26 億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率（CAGR）為 13.44%。我國(guó) CVD 碳化硅零部件市場(chǎng)前景廣闊，擁有巨大的發(fā)掘空間。

2、下游客戶對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的需求增加，公司生產(chǎn)擴(kuò)張順應(yīng)行業(yè)發(fā)展

為應(yīng)對(duì)國(guó)際貿(mào)易摩擦、地緣政治矛盾加劇相關(guān)風(fēng)險(xiǎn)，從產(chǎn)業(yè)鏈自主可控角度，公司下游客戶積極拓展關(guān)鍵零部件的國(guó)內(nèi)供應(yīng)商，驅(qū)動(dòng)公司業(yè)務(wù)發(fā)展。為滿足客戶持續(xù)增長(zhǎng)的采購(gòu)需求和對(duì)更高產(chǎn)品性能的追求，公司擬通過(guò)本次項(xiàng)目的實(shí)施，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能及產(chǎn)量提升，縮短供貨周期，降低生產(chǎn)成本，并加大核心技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新能力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品升級(jí)迭代，類別擴(kuò)增。

3、豐富和優(yōu)化公司產(chǎn)品種類，發(fā)展公司新的利潤(rùn)增長(zhǎng)點(diǎn)

除了 SiC 外延設(shè)備、MOCVD 設(shè)備、Si 外延設(shè)備用碳化硅涂層石墨零部件產(chǎn)品，公司近年來(lái)積極拓展新的產(chǎn)品品類，包括聚焦環(huán)、氣體噴淋頭等實(shí)體碳化硅零部件，爐管等燒結(jié)碳化硅零部件等產(chǎn)品，新產(chǎn)品下游市場(chǎng)廣闊。

隨著國(guó)家支持、鼓勵(lì)半導(dǎo)體設(shè)備零部件相關(guān)政策持續(xù)出臺(tái)，及公司下游客戶對(duì)于產(chǎn)品性能水平、產(chǎn)品種類等方面的要求持續(xù)提升，為保持公司在半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅零部件行業(yè)的技術(shù)領(lǐng)先性和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，公司將進(jìn)一步拓寬產(chǎn)品線，優(yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，豐富客戶群體，開拓新市場(chǎng)，形成公司新的利潤(rùn)增長(zhǎng)點(diǎn)。

（二）項(xiàng)目可行性

1、國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策支持半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)高質(zhì)量、高速發(fā)展

公司產(chǎn)品屬于半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)，設(shè)備制造的下游產(chǎn)品主要為功率器件、LED 芯片、集成電路等產(chǎn)品，面向新能源汽車、LED、消費(fèi)電子、光伏等終端市場(chǎng)，屬于國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策支持發(fā)展的重點(diǎn)領(lǐng)域。為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，近年來(lái)我國(guó)推出了一系列相關(guān)政策。

2020 年 7 月，國(guó)務(wù)院出臺(tái)《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》，從多個(gè)方面推動(dòng)集成電路發(fā)展，優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，深化產(chǎn)業(yè)國(guó)際合作；2021 年 12 月，國(guó)務(wù)院出臺(tái)《“十四五”數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃》，重點(diǎn)布局下一代移動(dòng)通信技術(shù)、電子信息、第三代半導(dǎo)體等新興技術(shù)；

2022 年 9 月，工業(yè)和信息化部等部門聯(lián)合出臺(tái)《原材料工業(yè)“三品”實(shí)施方案》，提出到 2025年我國(guó)高溫合金、高性能特種合金、半導(dǎo)體材料、高性能纖維及復(fù)合材料等產(chǎn)品和服務(wù)對(duì)重點(diǎn)領(lǐng)域支撐能力顯著增強(qiáng)，到 2035 年原材料品種供給能力和水平、服務(wù)質(zhì)量大幅提升，達(dá)到世界先進(jìn)國(guó)家水平。

公司所在領(lǐng)域行業(yè)前景良好，近年來(lái)公司主營(yíng)業(yè)務(wù)收入隨著下游行業(yè)市場(chǎng)需求的推動(dòng)快速增長(zhǎng)，隨著公司資金到位，產(chǎn)能及研發(fā)實(shí)力持續(xù)提升，預(yù)計(jì)公司產(chǎn)品需求量將保持持續(xù)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力將持續(xù)提升。

2、公司具備領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

公司長(zhǎng)期致力于半導(dǎo)體設(shè)備用 CVD 碳化硅涂層技術(shù)的創(chuàng)新研發(fā)，與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈龍頭企業(yè)積極開展技術(shù)合作。目前，公司已成為半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅零部件領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)，2022 年市場(chǎng)份額在中國(guó)市場(chǎng)排名第三，在全球市場(chǎng)排名第八，在中國(guó)企業(yè)中均排名第一，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商、外延片廠商、晶圓廠商持續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)設(shè)備用零部件。

公司自主研發(fā) CVD 碳化硅沉積爐等核心生產(chǎn)設(shè)備、產(chǎn)品工藝配方等核心技術(shù)，攻克工藝、技術(shù)難點(diǎn)百余個(gè)，成功掌握 CVD 法制備碳化硅工藝，并實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。應(yīng)用該工藝的主要產(chǎn)品碳化硅涂層石墨基座產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際主流水平，加速推進(jìn)了行業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。卓越的研發(fā)能力和領(lǐng)先的技術(shù)儲(chǔ)備為公司項(xiàng)目實(shí)施奠定了基礎(chǔ)，并將持續(xù)驅(qū)動(dòng)公司未來(lái)業(yè)務(wù)增長(zhǎng)。

3、公司擁有優(yōu)質(zhì)的客戶資源基礎(chǔ)

公司主要產(chǎn)品已獲得百余家半導(dǎo)體企業(yè)批量驗(yàn)證，與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備、外延片、晶圓廠等領(lǐng)域龍頭廠商建立了穩(wěn)定的合作關(guān)系，擁有領(lǐng)先的市場(chǎng)地位和豐富的客戶儲(chǔ)備。

公司已建立較為完備的半導(dǎo)體設(shè)備碳化硅零部件全產(chǎn)業(yè)鏈條生產(chǎn)體系，可以有效地保證國(guó)內(nèi)下游客戶的供應(yīng)鏈自主可控。同時(shí)，公司具備本土化優(yōu)勢(shì)，貼近市場(chǎng)，更加了解國(guó)內(nèi)用戶需求，日常服務(wù)響應(yīng)速度、服務(wù)能力等方面較國(guó)際同業(yè)更具優(yōu)勢(shì)。

公司憑借領(lǐng)先的技術(shù)水平、優(yōu)秀的產(chǎn)品性能和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)贏得了客戶的廣泛信任，與下游領(lǐng)先企業(yè)建立了長(zhǎng)期穩(wěn)定且深入的業(yè)務(wù)合作關(guān)系，具有豐富優(yōu)質(zhì)的客戶資源。

4、公司擁有生產(chǎn)研發(fā)相關(guān)人才儲(chǔ)備

公司重視科技創(chuàng)新的發(fā)展，不斷引進(jìn)行業(yè)內(nèi)優(yōu)秀人才，形成了以業(yè)內(nèi)資深專家領(lǐng)銜的高級(jí)管理人員、核心技術(shù)人員團(tuán)隊(duì)，團(tuán)隊(duì)成員包括半導(dǎo)體領(lǐng)域、碳化硅材料、石墨材料領(lǐng)域?qū)＜?，?fù)責(zé)公司成熟產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)、新產(chǎn)品研發(fā)及成熟產(chǎn)品的持續(xù)改進(jìn)等。

報(bào)告期內(nèi)，隨著業(yè)務(wù)規(guī)模大幅提升，公司同步擴(kuò)增團(tuán)隊(duì)，加強(qiáng)對(duì)生產(chǎn)、研發(fā)人員的招聘及培訓(xùn)。報(bào)告期末，公司生產(chǎn)人員數(shù)量為 211 人，占比 63.17%，研發(fā)人員數(shù)量為 58 人，占比 17.37%。公司重視研發(fā)隊(duì)伍的建設(shè)及培養(yǎng)，建立了較為完善的人才培養(yǎng)體系。

（三）SiC 材料研發(fā)制造總部項(xiàng)目

1、項(xiàng)目建設(shè)概況

本項(xiàng)目實(shí)施主體為廣州志橙，建設(shè)地點(diǎn)為廣州市黃埔區(qū)永和街道永新街 23號(hào)。建設(shè)規(guī)模主要包括生產(chǎn)車間 1 棟、研發(fā)辦公樓 1 棟、動(dòng)力站 1 棟、甲類庫(kù) 1棟。本項(xiàng)目建設(shè)完成后，主要從事半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅零部件的生產(chǎn)和研發(fā)，包括碳化硅涂層石墨零部件和實(shí)體碳化硅零部件等產(chǎn)品。

2、項(xiàng)目投資概算

本項(xiàng)目建設(shè)擬投資 64,689.30 萬(wàn)元，其中擬使用募集資金 31,489.30 萬(wàn)元，主要用于設(shè)備購(gòu)置和安裝及相關(guān)流動(dòng)資金。

3、項(xiàng)目時(shí)間周期和時(shí)間進(jìn)度

本項(xiàng)目建設(shè)期為 5 年，已于 2021 年開工，目前主體建筑物已完工，首批產(chǎn)線已于 2023 年投產(chǎn)。

4、立項(xiàng)備案程序

本項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容已于 2021 年 4 月 6 日取得廣州開發(fā)區(qū)行政審批局出具的國(guó)家代碼為 2104-440112-04-01-310128 的《廣東省企業(yè)投資項(xiàng)目備案證》，已完成項(xiàng)目涉及的發(fā)改委備案程序。

根據(jù)實(shí)際投入情況，本項(xiàng)目整體建設(shè)規(guī)模有一定擴(kuò)增，公司對(duì)之前備案文件進(jìn)行了變更報(bào)批，并于 2023 年 2 月取得了更新后的《廣東省企業(yè)投資項(xiàng)目備案證》。

5、環(huán)保情況

2022 年 7 月 14 日，廣州開發(fā)區(qū)行政審批局出具了《關(guān)于志橙半導(dǎo)體 SiC 材料研發(fā)制造總部項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書的批復(fù)》（穗開審批環(huán)評(píng)〔2022〕143 號(hào)），批準(zhǔn)了該項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書，同意該項(xiàng)目建設(shè)。

本項(xiàng)目建成后生產(chǎn)及研發(fā)過(guò)程中可能會(huì)產(chǎn)生一定數(shù)量的廢氣、固體廢物、生產(chǎn)廢水及噪聲等，但不屬于重污染行業(yè)。項(xiàng)目實(shí)施過(guò)程中公司將采取嚴(yán)格的污染物防治和處理措施，使運(yùn)行產(chǎn)生的各種污染物及動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲均可得到有效治理，主要污染物均可達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，滿足國(guó)家環(huán)保部門下達(dá)的總量控制指標(biāo)要求。

6、土地使用權(quán)情況

本項(xiàng)目已由項(xiàng)目實(shí)施主體廣州志橙通過(guò)掛牌出讓的形式取得本項(xiàng)目用地，土地證號(hào)為“粵（2021）廣州市不動(dòng)產(chǎn)權(quán)第 06072473 號(hào)”，土地性質(zhì)為工業(yè)用地，土地面積為 15,275.598 平方米。

（四）SiC 材料研發(fā)項(xiàng)目

1、項(xiàng)目建設(shè)概況

為提升公司自主研發(fā)能力，鞏固公司在現(xiàn)有產(chǎn)品領(lǐng)域核心競(jìng)爭(zhēng)力，提升產(chǎn)品豐富度，公司擬繼續(xù)開展半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅零部件的研發(fā)工作。本項(xiàng)目主要實(shí)施主體為廣州志橙，主要實(shí)施地點(diǎn)為廣州市黃埔區(qū)永和街道永新街 23 號(hào)。具體擬開展以下方向研發(fā)工作：

（1）碳化硅涂層石墨零部件研發(fā)和技術(shù)改進(jìn)項(xiàng)目

報(bào)告期內(nèi)，公司主要產(chǎn)品為碳化硅涂層石墨零部件產(chǎn)品，具體可用于 SiC 外延設(shè)備、MOCVD 設(shè)備、Si 外延設(shè)備等各類設(shè)備。隨著下游客戶對(duì)于公司產(chǎn)品性能、壽命、質(zhì)量等要求持續(xù)提升，為保證公司產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，滿足客戶新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品等具體需求，公司需要對(duì)成熟產(chǎn)品持續(xù)研究、改進(jìn)，提升客戶服務(wù)能力。

本項(xiàng)目具體研發(fā)內(nèi)容包括用于生產(chǎn)的 CVD 碳化硅沉積爐及其集群數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、架構(gòu)及工藝配方軟件的開發(fā)，核心原材料的超高純度純化工藝的研發(fā)等。

（2）實(shí)體碳化硅產(chǎn)品及技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目

實(shí)體碳化硅材料因具備優(yōu)異的耐高溫特性、導(dǎo)熱率和耐等離子刻蝕性能，成為刻蝕、熱處理、薄膜沉積等集成電路制造設(shè)備應(yīng)用的理想材料。以聚焦環(huán)為例，作為刻蝕設(shè)備的零部件，主要目的是提供均勻的等離子體氣體，用于確?？涛g的一致性和準(zhǔn)確性，因其與晶圓直接接觸，腐蝕速率較快，需要較強(qiáng)的耐腐蝕性、穩(wěn)定性。

本項(xiàng)目在公司多年積累的 CVD 碳化硅技術(shù)基礎(chǔ)上，圍繞等離子刻蝕等集成電路制造設(shè)備所用到的碳化硅零部件，重點(diǎn)研發(fā)聚焦環(huán)、頂蓋、陪片、噴淋頭等產(chǎn)品。

本項(xiàng)目研究?jī)?nèi)容包括提升實(shí)體碳化硅產(chǎn)品性能，以達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，并開發(fā)更多設(shè)備廠商及晶圓廠客戶，完善國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈，為公司帶來(lái)新的利潤(rùn)增長(zhǎng)點(diǎn)。

（3）燒結(jié)碳化硅產(chǎn)品及技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目

碳化硅爐管、晶舟等高純燒結(jié)碳化硅零部件是立式熱處理裝備反應(yīng)腔室零部件，目前國(guó)產(chǎn)化率較低。

本項(xiàng)目擬研發(fā)使用碳化硅原料粉體純化技術(shù)、超聲波清洗技術(shù)、超薄管壁凝膠成型技術(shù)及 CVD 涂層等相關(guān)技術(shù)，攻克碳化硅爐管等高純燒結(jié)碳化硅產(chǎn)品成型工藝的技術(shù)難點(diǎn)，研發(fā)應(yīng)用于立式爐裝備的高強(qiáng)度、高純度和高耐久度的燒結(jié)碳化硅零部件。

（4）TaC 涂層石墨產(chǎn)品及技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目

碳化硅襯底制備過(guò)程中，高溫單晶爐內(nèi)碳化硅晶體的生長(zhǎng)條件苛刻，質(zhì)量和成本受到熱場(chǎng)材料的影響顯著。TaC 涂層的石墨產(chǎn)品作為先進(jìn)熱場(chǎng)材料，在碳化硅晶體的生長(zhǎng)過(guò)程中具有很好的穩(wěn)定性，是目前碳化硅行業(yè)中高溫裝備所必須的熱場(chǎng)材料。

本項(xiàng)目以 CVD 涂層技術(shù)路線為主，燒結(jié)實(shí)驗(yàn)為輔，研發(fā)可大規(guī)模生產(chǎn)致密均勻的 TaC 涂層石墨部件的工藝路線，制備 TaC 涂層的石墨產(chǎn)品，用于碳化硅外延設(shè)備或碳化硅單晶爐設(shè)備，提升公司產(chǎn)品豐富度和競(jìng)爭(zhēng)力，進(jìn)入更多下游領(lǐng)域。

2、項(xiàng)目投資概算

本項(xiàng)目建設(shè)擬投資 28,747.00 萬(wàn)元，均擬使用募集資金投入，主要用于上述研發(fā)項(xiàng)目的設(shè)備購(gòu)置及安裝費(fèi)、人員薪酬等。

3、項(xiàng)目時(shí)間周期和時(shí)間進(jìn)度

本項(xiàng)目含多個(gè)研發(fā)課題，項(xiàng)目整體實(shí)施周期預(yù)計(jì)在 3 年內(nèi)完成，具體課題實(shí)施進(jìn)度計(jì)劃將以各子課題為主線推進(jìn)，項(xiàng)目研發(fā)所需的資金投入將根據(jù)子課題研發(fā)需求安排。

4、備案程序履行、環(huán)評(píng)批復(fù)、土地使用情況

公司于 2022 年 10 月 21 日取得廣州開發(fā)區(qū)行政審批局出具的國(guó)家代碼為2210-440112-04-02-704386 的《廣東省企業(yè)投資項(xiàng)目備案證》，已完成項(xiàng)目固定資產(chǎn)投資涉及的發(fā)改委備案程序。

2023 年 3 月 15 日，廣州開發(fā)區(qū)行政審批局出具了《關(guān)于志橙半導(dǎo)體 SiC 材料研發(fā)制造總部新增研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表的批復(fù)》（穗開審批環(huán)評(píng)〔2023〕75 號(hào)），批準(zhǔn)了該項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書，同意該項(xiàng)目建設(shè)。

本項(xiàng)目擬利用公司現(xiàn)有土地實(shí)施，不涉及新取得土地的情況。