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高性能及工業(yè)級MEMS加速度計開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 芯動聯(lián)科    2023-06-27

不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū)铀俣扔嫷男阅芫哂胁煌囊蟆樵u價加速度計的性能， 行業(yè)定義了一系列技術(shù)指標(biāo)，其中零偏穩(wěn)定性是衡量加速度計性能的主要核心指標(biāo)。

機械擺式加速度計及高精度石英諧振加速度計按照性能主要歸類為戰(zhàn)略級和導(dǎo)航級，主要應(yīng)用于航天、航海陸地巡航等領(lǐng)域；MEMS 加速度計和石英加 速度計主要屬于戰(zhàn)術(shù)級和導(dǎo)航級加速度計，主要用于航空、長航時無人系統(tǒng)及高 端工業(yè)領(lǐng)域。

公司高性能 MEMS 加速度計的核心性能指標(biāo)可達(dá)到導(dǎo)航級精度 水平，以公司加速度計 35 系列 HC 型號為例，其零偏穩(wěn)定性為 20μg、標(biāo)度因 數(shù)精度低于 500ppm，上述核心性能指標(biāo)滿足導(dǎo)航級加速度計的要求。應(yīng)用不同 技術(shù)、處于不同級別的加速度計性能情況如下圖所示：

傳統(tǒng)的高性能加速度計如傳統(tǒng)石英加速度計、機械擺式再平衡加速度計等產(chǎn) 品，主要是為系統(tǒng)復(fù)雜、高價值應(yīng)用平臺（如衛(wèi)星、飛船、飛機、高鐵、艦艇、 石油開采設(shè)備）提供慣性技術(shù)服務(wù)，但由于其體積大、價格高、抗機械沖擊能力差，大規(guī)模量產(chǎn)能力有限，同時也制約上述應(yīng)用平臺小型化，低成本化、智能化發(fā)展。公司高性能 MEMS 加速度計可替代目前傳統(tǒng)石英擺式加速度計和傳統(tǒng)機 械加速度計，實現(xiàn)低成本、批量化生產(chǎn)。

（一）項目概況

本項目的建設(shè)重點是在諧振式高性能加速度計和工業(yè)級三軸加速度計的研發(fā)基礎(chǔ)之上，實現(xiàn)高性能及工業(yè)級 MEMS 加速度計的量產(chǎn)。其中，高性能 MEMS加速度計傳感器技術(shù)的開發(fā)重點為設(shè)計 MEMS 調(diào)頻加速度計的慣性器件，以得到目前調(diào)幅加速度計無法達(dá)到的更好的性能等。

工業(yè)級 MEMS 加速度計的技術(shù)開發(fā)重點為對目前單軸高性能的 MEMS 加速度計產(chǎn)品進(jìn)行面積、功耗方面的優(yōu)化，以適應(yīng)工業(yè)級應(yīng)用小型化、低功耗以及平面化的需求。

本項目建設(shè)內(nèi)容包括新一代高性能 MEMS 加速度計和工業(yè)級三軸加速度計的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。其中，高性能 MEMS 加速度計采用諧振式原理，可以得到比目前普通電容式加速度計更高的性能，適用于地震監(jiān)測、石油勘探等應(yīng)用場景。

工業(yè)級三軸 MEMS 加速度計具有低噪聲、小體積、低功耗、高性價比等特點，適用于振動監(jiān)測、傾角測量、慣性導(dǎo)航等多個領(lǐng)域，可不斷擴大公司產(chǎn)品的應(yīng)用范圍，為客戶提供更豐富的慣性傳感器產(chǎn)品組合。

本項目位于北京市海淀區(qū)，采用購置辦公場地的形式實施，面積為 780.00平方米，其中辦公場地 280.00 平方米，實驗場地 500.00 平方米。目前該項目正處于前期準(zhǔn)備階段，未來公司將以合法、合規(guī)的程序購置辦公場地，并合理履行審批程序等，預(yù)計不會對本次募投項目建設(shè)構(gòu)成障礙。

（二）項目投資概算

本項目建設(shè)期三年，計劃總投資 14,661.33 萬元。

（三）項目建設(shè)期

整個項目建設(shè)期為 3 年。

此報告為披露部分。需編制政府立項、銀行貸款、投資決策等用途可行性研究報告咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。