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半導(dǎo)體自動物料搬運系統(tǒng)項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2021-05-05

在半導(dǎo)體加工廠中，AMHS 系統(tǒng)（自動化物料搬送系統(tǒng)）非常關(guān)鍵，是提高半導(dǎo)體制造產(chǎn)率、成品率以及設(shè)備利用率的保證。尤其是對于實現(xiàn)了生產(chǎn)設(shè)備與設(shè)備之間自動搬送的全自動化半導(dǎo)體工廠，一個高效的 AMHS 系統(tǒng)可以大幅縮短在制品的等待時間，從而縮短晶圓產(chǎn)品的生產(chǎn)周期。

在半導(dǎo)體芯片加工廠中已經(jīng)大量使用 AMHS 系統(tǒng)，AMHS 系統(tǒng)顯著提升了芯片加工廠的生產(chǎn)效率，并且使晶圓制造過程中的數(shù)據(jù)得以實時獲取，提升了整個制造過程的管控能力，隨著先進封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進步，AMHS 系統(tǒng)會進一步擴展到后道，成為整個半導(dǎo)

體產(chǎn)業(yè)的核心自動化傳輸系統(tǒng)，作為半導(dǎo)體芯片加工廠與先進封裝廠的大動脈，AMHS 系統(tǒng)將有更加廣闊的應(yīng)用空間，AMHS 系統(tǒng)是現(xiàn)代化半導(dǎo)體工廠自動化系統(tǒng)中最大的單項投資項目，目前市場主要被日本大福、日本村田機械和美國AMAT 等國外公司壟斷。國內(nèi)半導(dǎo)體制造廠商進口一條 AMHS 系統(tǒng)價格極其昂貴，售后維護和服務(wù)費用高昂，給國內(nèi)半導(dǎo)體制造廠商增加了巨大的經(jīng)濟成本，實現(xiàn) AMHS 系統(tǒng)的國產(chǎn)化和自主可控是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必然趨勢。