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微納制造技術(shù)涉及的學(xué)科領(lǐng)域廣，具有多學(xué)科交叉融合特點(diǎn)
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 芯碁微裝    2024-04-15

隨著信息化時(shí)代、智能化時(shí)代的來臨，移動(dòng)通信技術(shù)、人工智能技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)等先進(jìn)科技的飛速發(fā)展，進(jìn)一步推動(dòng)高集成度、超高頻、超高速半導(dǎo)體、電子電路等器件開發(fā)研制的精細(xì)化，器件的制造尺寸也從微米尺度精細(xì)到納米尺度，微納制造技術(shù)獲得了快速發(fā)展。

微納制造技術(shù)是指尺度為亞毫米、微米和納米量級(jí)元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)、加工、組裝、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù)。微納制造技術(shù)涉及的學(xué)科領(lǐng)域廣，具有多學(xué)科交叉融合特點(diǎn)，最主要的發(fā)展應(yīng)用方向是微納器件與系統(tǒng)的生產(chǎn)制造。

微納制造技術(shù)是在半導(dǎo)體、電子電路等制造過程中發(fā)展的專用技術(shù)，具有微型化、批量化、單位成本低的特點(diǎn)，對(duì)現(xiàn)代科技發(fā)展、工業(yè)進(jìn)步有巨大促進(jìn)作用，并催生了一批新興高技術(shù)產(chǎn)業(yè)。微納制造技術(shù)是先進(jìn)制造技術(shù)的重要組成部分，是衡量一個(gè)國家高端制造業(yè)發(fā)展水平的關(guān)鍵標(biāo)志之一，在推動(dòng)科技進(jìn)步、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展、保障國防安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

目前，在機(jī)械電子工程以及微電子等先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域涉及的主要微納制造技術(shù)包括圖案化技術(shù)、化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)以及薄膜沉積技術(shù)等。其中，光刻技術(shù)作為圖案化技術(shù)的核心，是人類迄今所能達(dá)到的尺寸最小、精度最高的加工技術(shù)，現(xiàn)代電子信息工業(yè)產(chǎn)業(yè)中大量運(yùn)用光刻技術(shù)。