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電子特氣行業(yè)整體競爭格局及市場集中情況
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2022-11-22

（1）行業(yè)概況

電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻 雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食”和“源”。 電子特氣是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、平面顯示器件、太陽能電池 等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。

資料來源：前瞻產(chǎn)業(yè)研究院 思瀚整理

在下游應(yīng)用領(lǐng)域中，半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)﹄娮犹胤N氣體的純度和質(zhì)量穩(wěn)定性要求最高。近年來集成電路制造領(lǐng)域技術(shù)快速更迭，制程節(jié)點不斷減小，晶圓尺寸不斷變大。作為集成電路制造的關(guān)鍵材料，伴隨著下游產(chǎn)業(yè)技術(shù)的快速迭代，電子特氣對純度和精度的要求持續(xù)提高，比如在純度方面，普通工業(yè)氣體要求在 99.99% 左右，但是在先進制程的集成電路制造過程中，氣體純度要求通常在 6N （99.9999%）以上。

電子特氣對半導(dǎo)體器件性能好壞起到重要作用。電子特氣在 半導(dǎo)體制造的材料成本中占比為 13%左右，是半導(dǎo)體制造成本中僅次于硅片的第 二大材料。

（2）市場空間和市場競爭格局

全球電子特氣市場保持平穩(wěn)增長。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，2019 年全球電子特氣 市場規(guī)模為 42 億美元。根據(jù) SEMI 預(yù)計，至 2020 年電子特氣在半導(dǎo)體材料中的 占比將會進一步提高，將超過光掩模成為占比第二大的材料，約占 13%，市場規(guī) 模將達到 43.7 億美元。2019 年起行業(yè)增速將有所回落，未來行業(yè)將保持在 5% 左右的增速。

數(shù)據(jù)來源：SEMI 思瀚整理

中國特種氣體市場增速明顯高于全球平均，市場潛力大。近年來，全球半導(dǎo)體、顯示面板產(chǎn)業(yè)逐步向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，打造“中國芯”、實現(xiàn)進口替代的緊迫性、 重要性不斷加強，半導(dǎo)體集成電路方面的自主研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化將得到大力推動，集成電路、顯示面板產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將形成對電子特種氣體材料需求的有效帶動。根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)，中國電子特氣 2020 年市場規(guī)模為 150億元，占全球比例約為 48%，預(yù)計 2024年我國電子特氣市場規(guī)模將達到 230 億元，全球占比將提高至 60%，2020-2024 年復(fù)合增速將達 11.28%。

2020 年上半年，韓國三星、LG等公司宣布今年內(nèi)關(guān)閉位于中國、韓國的 LCD 面板廠，加速了 LCD 面板產(chǎn)能向國內(nèi)廠商轉(zhuǎn)移的速度。根據(jù)中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)的數(shù)據(jù)，韓國廠商的加速退出將使得其 2020 年及 2021 年的 LCD 面板供給量 分別下滑 5.4%和 3.5%。相應(yīng)地，LCD 面板行業(yè)將呈現(xiàn)結(jié)構(gòu)性變化，大陸面板廠 商迎來替代機遇。

根據(jù)思瀚數(shù)據(jù)顯示，大陸面板廠的大尺寸面板產(chǎn)能占比從2019 年的 44.8%提升至 2021 年的 65.3%。隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，國內(nèi)電子氣體市場增速明顯，遠高于全球增速。近年來國內(nèi)半導(dǎo)體市場發(fā)展 迅速，在建和未來規(guī)劃建設(shè)的產(chǎn)能為電子氣體提供了廣闊的空間。

數(shù)據(jù)來源：前瞻產(chǎn)業(yè)研究院

從細分產(chǎn)品來看，砷烷、磷烷主要用于集成電路制造的摻雜工藝和 LED 的 化學(xué)氣相沉積工藝，是半導(dǎo)體領(lǐng)域加工制造過程中的關(guān)鍵材料之一。下游以集成 電路為主的旺盛需求為磷烷砷烷提供了廣闊的增長空間。

根據(jù)QY Research數(shù)據(jù)， 全球磷烷、砷烷產(chǎn)能于 2028 年將分別達到 480 噸、290 噸，2022 年至 2028 年復(fù) 合增長率分別為 12.25%、13.59%，保持穩(wěn)健增長。這其中，國內(nèi)高純磷烷產(chǎn)能 在 2024 年將達到 212 噸，占全球比例為 55.79%，至 2028 年預(yù)計將達到 292 噸， 占全球比例上升至 60.83%，2022 年至 2028 年復(fù)合增長率達到 19.16%，增速高 于全球水平；國內(nèi)高純砷烷產(chǎn)能 2024 年將達到 160 噸，占全球比例為 60.38%， 至 2028 年預(yù)計將達到 180 噸，占全球比例上升至 62.07%，2022 年至 2028 年復(fù) 合增長率達到 23.80%，亦高于全球水平。 同時，國內(nèi)市場銷售規(guī)模也呈快速增長趨勢。

國內(nèi)磷烷 2021 年市場規(guī)模為 10,802 萬元，預(yù)計 2028 年將達到 33,000 萬元，全球占比將達到 46.02%；國內(nèi)砷 烷 2021 年市場規(guī)模為 8,412 萬元，預(yù)計 2028 年將達到 15,880 萬元，全球占比將 達到 38.93%，中國將成為磷烷、砷烷的主要銷售地區(qū)。 含氟電子特氣作為集成電路制造領(lǐng)域優(yōu)良的等離子蝕刻和清洗材料，近年來 呈現(xiàn)良好的增長趨勢。

華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院、QY Research 的統(tǒng)計顯示，2021 年國內(nèi) 三氟化氮需求量達到約1.6萬噸，占全球約40%-42%。QY Research預(yù)測2019-2021年國內(nèi)三氟化氮需求量復(fù)合增長率約為 23.2%，華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)計為 28.7%， 按照低值 23.23%保守預(yù)計，至2025 年，國內(nèi)三氟化氮市場需求量達到 3.7 萬噸，2030 年超過 10 萬噸。

從市場競爭格局看，目前全球市場呈壟斷格局。根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)， 2020年全球特氣市場德國林德集團、法國液化空氣、美國空氣化工、日本大陽 日酸占據(jù)了近 90%的份額；我國電子特氣行業(yè)起步較晚，國內(nèi)氣體公司與國外巨頭相比存在較大的技術(shù)代差，億渡數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2020年國際四大氣體巨頭——美國空氣化工、德國林德、日本大陽日酸和法國液化空氣占據(jù)了超過 85%的國內(nèi)電 子特氣市場份額。

從整體上看，我國電子特氣呈現(xiàn)出受制于人的局面，但從細分市場上看，我 國部分特氣產(chǎn)品已實現(xiàn)彎道超車，需通過進一步擴產(chǎn)來擴大市場份額、鞏固競爭 優(yōu)勢。如在磷烷、砷烷領(lǐng)域，南大光電的高純磷烷、砷烷產(chǎn)品已實現(xiàn)自主可控并 已占據(jù)市場主要份額；在含氟電子特氣領(lǐng)域，國內(nèi)廠商已經(jīng)是國內(nèi)三氟化氮市場 的主要供應(yīng)商，但由于旺盛的產(chǎn)品需求和對國際廠商的替代，仍需進一步進行擴產(chǎn)。

編制：諸葛御

責(zé)任編輯：趙皋

來源： 思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 南大光電