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山東淄博-年產(chǎn)2000噸三氟化氮生產(chǎn)裝置擴(kuò)建項(xiàng)目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2022-03-23

1、項(xiàng)目基本情況

本項(xiàng)目擬投資 30,000.00 萬元，擴(kuò)建 2000 噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目，包括：5#三氟化氮電解廠房、6#三氟化氮電解廠房、3#三氟化氮后處理廠房。

本項(xiàng)目的實(shí)施單位為山東飛源氣體有限公司。

2、項(xiàng)目實(shí)施的必要性

（1）含氟電子特氣生產(chǎn)向國內(nèi)轉(zhuǎn)移是大勢所趨

電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、平面顯示器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。本次募投擬擴(kuò)產(chǎn)的三氟化氮作為電子特種氣體的重要品類，具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，是半導(dǎo)體和顯示面板制造過程中重要的清洗劑和刻蝕劑。

全球三氟化氮市場具有良好的增長趨勢。根據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院的預(yù)測，2018年全球三氟化氮市場用量約為 2.8 萬噸，預(yù)計到 2021 年全球三氟化氮市場需求量將達(dá)到 4 萬噸左右，復(fù)合增長率為 12.6%。良好的增長態(tài)勢對三氟化氮廠商的產(chǎn)能提出更高的要求。

中國廠商已是全球三氟化氮生產(chǎn)的重要力量，未來隨著三氟化氮市場規(guī)模的增大，中國廠商參與度有望進(jìn)一步提升。從目前的生產(chǎn)競爭格局來看，全球三氟化氮生產(chǎn)廠家主要集中在中、韓、美、日，其中中國企業(yè)產(chǎn)能占比約為 1/3。中國是下游產(chǎn)業(yè)半導(dǎo)體、顯示面板的消費(fèi)大國，未來幾年下游產(chǎn)業(yè)的跨越式增長將積極消化國內(nèi)產(chǎn)能，大幅提升含氟電子特氣的需求，因此國產(chǎn)三氟化氮廠商面臨寶貴的發(fā)展機(jī)遇，三氟化氮生產(chǎn)向國內(nèi)轉(zhuǎn)移是大勢所趨。

（2）深化公司含氟電子特氣領(lǐng)域布局，鞏固電子特氣業(yè)務(wù)領(lǐng)先地位

公司主要從事 MO 源產(chǎn)品業(yè)務(wù)、高純電子特氣產(chǎn)品業(yè)務(wù)、光刻膠及配套材料業(yè)務(wù)、ALD 前驅(qū)體產(chǎn)品業(yè)務(wù)。報告期內(nèi)，公司主要收入來源為 MO 源和電子特氣產(chǎn)品，其中電子特氣業(yè)務(wù)已成為公司強(qiáng)勁的利潤增長點(diǎn)，公司原有的電子特氣產(chǎn)品主要為高純磷烷、砷烷，亟需拓展業(yè)務(wù)板塊，鞏固在電子特氣業(yè)務(wù)的行業(yè)領(lǐng)先地位。

2019 年 11 月，公司開始布局含氟電子特氣業(yè)務(wù)，完成了對飛源氣體的收購。中國廠商是含氟氣體生產(chǎn)的重要參與方，飛源氣體是全球三氟化氮和六氟化硫主要生產(chǎn)企業(yè)之一。收購飛源氣體后，南大光電增加了含氟電子特氣業(yè)務(wù)板塊，對公司電子特種氣體業(yè)務(wù)的布局與發(fā)展具有重要的戰(zhàn)略價值。

公司通過本次募投項(xiàng)目的實(shí)施，將擴(kuò)大三氟化氮?dú)怏w產(chǎn)能，從而深化含氟電子特氣領(lǐng)域投資布局，增強(qiáng)對公司集成電路客戶的服務(wù)能力，擴(kuò)大公司產(chǎn)品的市場份額，參與含氟電子特氣全球競爭，保持公司在電子特氣領(lǐng)域的領(lǐng)先地位和市場競爭力。

3、項(xiàng)目實(shí)施的可行性

（1）國家政策支持提供了良好的外部環(huán)境

半導(dǎo)體材料是集成電路制造的基石，具有重要的戰(zhàn)略意義，其中電子特氣是半導(dǎo)體材料的重要組成部分。為推動電子特氣行業(yè)向精密、深化方向發(fā)展，國家有關(guān)部門出臺了多項(xiàng)產(chǎn)業(yè)扶持政策。

2016 年 11 月，國務(wù)院《“十三五”國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》指出，優(yōu)化新材料產(chǎn)業(yè)化及應(yīng)用環(huán)境，提高新材料應(yīng)用水平，推進(jìn)新材料融入高端制造供應(yīng)鏈，到 2020 年力爭使若干新材料品種進(jìn)入全球供應(yīng)鏈，重大關(guān)鍵材料自給率達(dá)到 70%以上。

2017 年 4 月，科技部《“十三五”先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項(xiàng)規(guī)劃》列示重點(diǎn)任務(wù)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“關(guān)鍵材料”：面向45-28-14 納米集成電路工藝，重點(diǎn)研發(fā) 300 毫米硅片、深紫外光刻膠、拋光材料、超高純電子氣體、濺射靶材等關(guān)鍵材料產(chǎn)品，通過大生產(chǎn)線應(yīng)用考核認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)規(guī)?；N售；研發(fā)相關(guān)超高純原材料產(chǎn)品，構(gòu)建材料應(yīng)用工藝開發(fā)平臺，支撐關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新生態(tài)體系建設(shè)與發(fā)展。

2018 年 11 月，國家統(tǒng)計局《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類（2018）》中列入了“電子大宗氣體、電子特種氣體”。

2020 年 8 月，國務(wù)院印發(fā)《新時期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》，給予集成電路設(shè)計、裝備、材料、封裝、測試企業(yè)和軟件企業(yè)更有力度的稅收優(yōu)惠政策，進(jìn)一步優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展環(huán)境。國家政策的支持為電子特氣細(xì)分行業(yè)提供了良好的發(fā)展環(huán)境。

（2）電子特氣市場前景廣闊，進(jìn)口替代需求旺盛

電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子特種氣體（簡稱電子特氣）是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、平面顯示器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。

電子特氣行業(yè)存在外資壟斷、行業(yè)集中以及國內(nèi)競爭激烈的問題。目前全球特氣市場美國空氣化工、普萊克斯、法液空、大陽日酸和德國林德占據(jù)了 94%的份額；國內(nèi)市場上述海外幾大龍頭企業(yè)也控制了 85%的份額，電子特氣受制于人的局面亟待改變。國內(nèi)公司較低的市場份額帶來了巨大的進(jìn)口替代空間，隨著國家芯片自主可控戰(zhàn)略下對半導(dǎo)體材料的政策支持，以及我國電子特氣行業(yè)的技術(shù)突破，電子特氣進(jìn)口替代迎來歷史性機(jī)遇。

（3）公司具有充足的生產(chǎn)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)和豐富的客戶下游導(dǎo)入渠道

飛源氣體作為全球三氟化氮和六氟化硫的主要生產(chǎn)企業(yè)之一，在含氟氣體產(chǎn)品的制備、充裝、安全生產(chǎn)、質(zhì)量控制、安全運(yùn)輸?shù)确矫嬉讶〉昧巳嫱黄?，并通過為國際領(lǐng)先企業(yè)批量供貨，積累了豐富的市場和客戶服務(wù)經(jīng)驗(yàn)。飛源氣體下游客戶包括臺積電、京東方、華星光電、惠科股份、龍騰光電等知名客戶，擁有豐富的客戶渠道，為本次募投項(xiàng)目產(chǎn)能消化提供可靠的支撐。

截至 2020 年 9 月 30 日，公司擁有研發(fā)人員 111 人，占公司總?cè)藬?shù)的比例超過 16%，擁有豐富的研發(fā)人員儲備和良好的研發(fā)人員培養(yǎng)機(jī)制。其中飛源氣體團(tuán)隊擁有 20 年氟化工工程經(jīng)驗(yàn)，具有創(chuàng)業(yè)企業(yè)的降本增效能力及工藝方面的后發(fā)優(yōu)勢，其初期投資、成本控制、產(chǎn)品工藝持續(xù)革新能力均具有較強(qiáng)的競爭力。公司持續(xù)研發(fā)能力較強(qiáng)，已經(jīng)完成多種關(guān)鍵含氟電子材料的產(chǎn)業(yè)化準(zhǔn)備，具備本次募投項(xiàng)目的實(shí)施能力。

4、項(xiàng)目投資概況

本項(xiàng)目的預(yù)計投資總額為 30,000.00 萬元，擬使用本次向特定對象發(fā)行股票募集資金投入 30,000.00 萬元。具體投資明細(xì)如下：單位：萬元

5、項(xiàng)目實(shí)施主體及實(shí)施地點(diǎn)

本項(xiàng)目的實(shí)施主體為山東飛源氣體有限公司，實(shí)施地點(diǎn)位于山東省淄博市高青化工產(chǎn)業(yè)園。

6、項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度

項(xiàng)目計劃建設(shè)期為 2 年，即 2021 年至 2022 年。

7、項(xiàng)目效益情況

本項(xiàng)目靜態(tài)投資回收期為 4.13 年，所得稅稅后項(xiàng)目財務(wù)內(nèi)部收益率 24.3%，項(xiàng)目具有較好的經(jīng)濟(jì)效益。

8、項(xiàng)目備案、環(huán)評事項(xiàng)及進(jìn)展情況

2016 年 4 月，本項(xiàng)目取得《淄博市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會企業(yè)技術(shù)改造項(xiàng)目備案回執(zhí)》（淄經(jīng)信許備[2016]6 號），山東飛源科技有限公司對“6500 t/a 電子產(chǎn)品用高純新材料擴(kuò)建和中試車間項(xiàng)目”進(jìn)行備案。

2016 年 6 月，本項(xiàng)目取得《淄博市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會關(guān)于山東飛源科技有限公司備案項(xiàng)目名稱變更的批復(fù)》（淄經(jīng)信許字[2016]4 號），將項(xiàng)目名稱變更為“6500 噸/年電子產(chǎn)品用高純新材料擴(kuò)建及 100 噸/年 FEC 和 100 噸/年六氟化鎢項(xiàng)目”。

2016 年 6 月，本項(xiàng)目取得淄博市環(huán)境保護(hù)局出具的《關(guān)于山東飛源科技有限公司 6500 噸/年電子產(chǎn)品用高純新材料擴(kuò)建及 100 t/a FEC和 100 t/a 六氟化鎢項(xiàng)目環(huán)境影響報告書的審批意見》（淄環(huán)審[2016]56 號），其中三氟化氮產(chǎn)量為4000 噸/年。

2020 年 4 月，因山東飛源科技有限公司存續(xù)分立并設(shè)立飛源氣體，淄博市生態(tài)環(huán)境局1出具了《關(guān)于山東飛源氣體有限公司年產(chǎn) 3300 噸三氟化氮項(xiàng)目環(huán)境影響報告書的審批意見》（淄環(huán)審[2020]37 號），將三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目由4000 噸/年調(diào)整為 3300 噸/年，并確認(rèn)由飛源氣體承接實(shí)施該項(xiàng)目。

2020 年 10 月，本項(xiàng)目取得《淄博市工業(yè)和信息化局關(guān)于山東飛源氣體有限公司備案項(xiàng)目的情況說明》和淄博市生態(tài)環(huán)境局《關(guān)于山東飛源氣體有限公司 6500 噸/年電子產(chǎn)品用高純新材料擴(kuò)建及 100 噸/年 FEC 和 100 噸/年六氟化鎢項(xiàng)目環(huán)保手續(xù)辦理情況的說明》，明確飛源氣體承接實(shí)施山東飛源科技有限公司備案的“6500 噸/年電子產(chǎn)品用高純新材料擴(kuò)建及 100 噸/年 FEC 和 100 噸/年六氟化鎢項(xiàng)目”，并確認(rèn)本次擬擴(kuò)建的“2000 噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目”為“6500 噸/年電子產(chǎn)品用高純新材料擴(kuò)建及 100 噸/年 FEC 和 100 噸/年六氟化鎢項(xiàng)目”的組成部分。

此報告為正式可研報告摘取部分，個性化定制請咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。