半導體清洗用于去除半導體硅片制造、晶圓制造和封裝測試每個步驟中可能存在的雜質，避免雜質影響芯片良率和芯片產品性能。
目前，隨著芯片制造工藝先進程度的持續(xù)提升，對晶圓表面污染物的控制要求不斷提高，每一步光刻、刻蝕、沉積等重復性工序后，都需要一步清洗工序，以滿足不斷提升的產品質量需求。
根據(jù) Gartner 數(shù)據(jù)，2020 年全球半導體清洗設備市場規(guī)模為 34 億美元，隨著半導體下游需求回暖，晶圓廠保持高額資本開支，預測 2026 年全球半導體清洗設備市場規(guī)模將達 65 億美元，對應年均復合增長率為 11.78%，其中單片清洗設備占整體清洗設備市場份額約為 70%。
根據(jù)清洗介質的不同，半導體清洗技術主要分為濕法清洗和干法清洗，其中濕法清洗是主流技術路線，濕法清洗步驟數(shù)量占芯片制造中清洗步驟數(shù)量的90%以上。
濕法清洗：針對不同的工藝需求，采用特定的化學藥液和去離子水，對晶圓表面進行無損傷清洗，以去除晶圓制造過程中的顆粒、自然氧化層、有機物、金屬污染、犧牲層、拋光殘留物等物質，可同時采用超聲波、加熱、真空等輔助技術手段。
干法清洗：不使用化學溶劑的清洗技術，主要包括等離子清洗、超臨界氣相清洗、束流清洗等技術。干法清洗主要是采用氣態(tài)的氫氟酸刻蝕不規(guī)則分布的有結構的晶圓二氧化硅層，雖然具有對不同薄膜有高選擇比的優(yōu)點，但可清洗污染物比較單一，目前在28nm及以下技術節(jié)點的邏輯產品和存儲產品有應用。
晶圓制造產線上通常以濕法清洗為主，少量特定步驟采用濕法和干法清洗相結合的方式互補所短，構建清洗方案。未來清洗設備的濕法工藝與干法工藝仍將并存發(fā)展，均在各自領域內向技術節(jié)點更先進、功能多樣化、體積小、效率高、能耗低等方向發(fā)展，在短期內濕法工藝和干法工藝無相互替代的趨勢。
濕法清洗方法及工藝簡介
溶液浸泡法
清洗介質化學藥液，主要用于槽式清洗設備，將待清洗晶圓放入溶液中浸泡，通過溶液與晶圓表面及雜質的化學反應達到去除污染物的目的
機械刷洗法
清洗介質去離子水，主要配置專用刷洗器，配合去離子水利用刷頭與晶圓表面的摩擦力以達到去除顆粒的清洗方法
二流體清洗
清洗介質SC-1溶液，去離子水等，在噴嘴的兩端分別通入液體介質和高純氮氣，使用高純氮氣為動力，輔助液體微霧化成極微細的液體粒子被噴射至晶圓表面，從而達到去除顆粒的效果。
超聲波清洗
清洗介質化學溶劑加超聲輔助，在20-40kHz超聲波下清洗，內部產生空腔泡，泡消失時將表面的雜質解吸。
兆聲波清洗
清洗介質化學溶劑加兆聲波輔助，與超聲波清洗類似，但使用1-3MHz工藝頻率的兆聲波。
批式旋轉噴淋法
清洗介質高壓噴淋去離子水或清洗液，清洗室腔配置轉盤，可一次裝載至少兩個晶圓盒，載旋轉過程中通過液體噴柱不斷向圓片表面噴淋液體去除表面雜質。
干法清洗
等離子清洗
清洗介質氧氣等離子體，在強電場的作用下，使得以前那個其產生等離子體，迅速使光刻膠氣化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質并被抽走。
氣相清洗
清洗介質化學試劑的氣相等效物，利用液體工藝中對應物質的氣相等效物與圓片表面的玷污物質相互作用。
束流清洗
清洗介質高能束流狀物質，利用高能量的呈束流狀的物質流與圓片表面的玷污雜質發(fā)生相互作用而達到清楚圓片表面雜質的作用。
濕法清洗工藝路線下，主流的清洗設備中單片清洗設備市場份額最高。在濕法清洗工藝路線下，目前主流的清洗設備主要包括單片清洗設備、槽式清洗設備、組合式清洗設備和批式旋轉噴淋清洗設備等，其中單片清洗設備市場份額占比最高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設備存在先進程度的區(qū)分，主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小，金屬污染，腐蝕均一性以及干燥技術等標準。
在集成電路制造的先進工藝中，單片清洗已逐步取代槽式清洗成為主流。首先，單片清洗能夠在整個制造周期提供更好的工藝控制，改善了單個晶圓和不同晶圓間的均勻性，提高了產品良率；其次，更大尺寸的晶圓和更先進的工藝對于雜質更敏感，槽式清洗出現(xiàn)交叉污染的影響會更大，進而危及整批晶圓的良率，會帶來高成本的芯片返工支出。此外，單片槽式組合清洗技術的出現(xiàn)，可以綜合單片清洗和槽式清洗的優(yōu)點，在提高清洗能力及效率的同時，減少硫酸的使用量。
第一章 2019-2023年中國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展概述
第一節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展情況概述
一、半導體清洗設備行業(yè)相關定義
二、半導體清洗設備特點分析
三、半導體清洗設備行業(yè)基本情況介紹
四、半導體清洗設備行業(yè)經營模式
1、生產模式
2、采購模式
3、銷售/服務模式
五、半導體清洗設備行業(yè)需求主體分析
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)生命周期分析
一、半導體清洗設備行業(yè)生命周期理論概述
二、半導體清洗設備行業(yè)所屬的生命周期分析
第三節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)經濟指標分析
一、半導體清洗設備行業(yè)的贏利性分析
二、半導體清洗設備行業(yè)的經濟周期分析
三、半導體清洗設備行業(yè)附加值的提升空間分析
第二章 2019-2023年全球半導體清洗設備行業(yè)市場發(fā)展現(xiàn)狀分析
第一節(jié) 全球半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展歷程回顧
第二節(jié) 全球半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模與區(qū)域分布情況
第三節(jié) 亞洲半導體清洗設備行業(yè)地區(qū)市場分析
一、亞洲半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀分析
二、亞洲半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模與市場需求分析
三、亞洲半導體清洗設備行業(yè)市場前景分析
第四節(jié) 北美半導體清洗設備行業(yè)地區(qū)市場分析
一、北美半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀分析
二、北美半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模與市場需求分析
三、北美半導體清洗設備行業(yè)市場前景分析
第五節(jié) 歐洲半導體清洗設備行業(yè)地區(qū)市場分析
一、歐洲半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀分析
二、歐洲半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模與市場需求分析
三、歐洲半導體清洗設備行業(yè)市場前景分析
第六節(jié) 2024-2029年世界半導體清洗設備行業(yè)分布走勢預測
第七節(jié) 2024-2029年全球半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第三章 中國半導體清洗設備行業(yè)產業(yè)發(fā)展環(huán)境分析
第一節(jié) 我國宏觀經濟環(huán)境分析
第二節(jié) 我國宏觀經濟環(huán)境對半導體清洗設備行業(yè)的影響分析
第三節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)政策環(huán)境分析
一、行業(yè)監(jiān)管體制現(xiàn)狀
二、行業(yè)主要政策法規(guī)
三、主要行業(yè)標準
第四節(jié) 政策環(huán)境對半導體清洗設備行業(yè)的影響分析
第五節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)產業(yè)社會環(huán)境分析
第四章 中國半導體清洗設備行業(yè)運行情況
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展狀況情況介紹
一、行業(yè)發(fā)展歷程回顧
二、行業(yè)創(chuàng)新情況分析
三、行業(yè)發(fā)展特點分析
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模分析
一、影響中國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模的因素
二、中國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
三、中國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模解析
第三節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)供應情況分析
一、中國半導體清洗設備行業(yè)供應規(guī)模
二、中國半導體清洗設備行業(yè)供應特點
第四節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)需求情況分析
一、中國半導體清洗設備行業(yè)需求規(guī)模
二、中國半導體清洗設備行業(yè)需求特點
第五節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)供需平衡分析
第五章 中國半導體清洗設備行業(yè)產業(yè)鏈和細分市場分析
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)產業(yè)鏈綜述
一、產業(yè)鏈模型原理介紹
二、產業(yè)鏈運行機制
三、半導體清洗設備行業(yè)產業(yè)鏈圖解
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)產業(yè)鏈環(huán)節(jié)分析
一、上游產業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
二、上游產業(yè)對半導體清洗設備行業(yè)的影響分析
三、下游產業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
四、下游產業(yè)對半導體清洗設備行業(yè)的影響分析
第三節(jié) 我國半導體清洗設備行業(yè)細分市場分析
一、細分市場一
二、細分市場二
第六章 2019-2023年中國半導體清洗設備行業(yè)市場競爭分析
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)競爭現(xiàn)狀分析
一、中國半導體清洗設備行業(yè)競爭格局分析
二、中國半導體清洗設備行業(yè)主要品牌分析
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)集中度分析
一、中國半導體清洗設備行業(yè)市場集中度影響因素分析
二、中國半導體清洗設備行業(yè)市場集中度分析
第三節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)競爭特征分析
一、 企業(yè)區(qū)域分布特征
二、企業(yè)規(guī)模分布特征
三、企業(yè)所有制分布特征
第七章 2019-2023年中國半導體清洗設備行業(yè)模型分析
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)競爭結構分析（波特五力模型）
一、波特五力模型原理
二、供應商議價能力
三、購買者議價能力
四、新進入者威脅
五、替代品威脅
六、同業(yè)競爭程度
七、波特五力模型分析結論
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)SWOT分析
一、SOWT模型概述
二、行業(yè)優(yōu)勢分析
三、行業(yè)劣勢
四、行業(yè)機會
五、行業(yè)威脅
六、中國半導體清洗設備行業(yè)SWOT分析結論
第三節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)競爭環(huán)境分析（PEST）
一、PEST模型概述
二、政策因素
三、經濟因素
四、社會因素
五、技術因素
六、PEST模型分析結論
第八章 2019-2023年中國半導體清洗設備行業(yè)需求特點與動態(tài)分析
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)市場動態(tài)情況
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)消費市場特點分析
一、需求偏好
二、價格偏好
三、品牌偏好
四、其他偏好
第三節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)成本結構分析
第四節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)價格影響因素分析
一、供需因素
二、成本因素
三、其他因素
第五節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)價格現(xiàn)狀分析
第六節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)平均價格走勢預測
一、中國半導體清洗設備行業(yè)平均價格趨勢分析
二、中國半導體清洗設備行業(yè)平均價格變動的影響因素
第九章 中國半導體清洗設備行業(yè)所屬行業(yè)運行數(shù)據(jù)監(jiān)測
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)所屬行業(yè)總體規(guī)模分析
一、企業(yè)數(shù)量結構分析
二、行業(yè)資產規(guī)模分析
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)所屬行業(yè)產銷與費用分析
一、流動資產
二、銷售收入分析
三、負債分析
四、利潤規(guī)模分析
五、產值分析
第三節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)所屬行業(yè)財務指標分析
一、行業(yè)盈利能力分析
二、行業(yè)償債能力分析
三、行業(yè)營運能力分析
四、行業(yè)發(fā)展能力分析
第十章 2019-2023年中國半導體清洗設備行業(yè)區(qū)域市場現(xiàn)狀分析
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)區(qū)域市場規(guī)模分析
一、影響半導體清洗設備行業(yè)區(qū)域市場分布的因素
二、中國半導體清洗設備行業(yè)區(qū)域市場分布
第二節(jié) 中國華東地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
一、華東地區(qū)概述
二、華東地區(qū)經濟環(huán)境分析
三、華東地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
（1）華東地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
（2）華南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀
（3）華東地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第三節(jié) 華中地區(qū)市場分析
一、華中地區(qū)概述
二、華中地區(qū)經濟環(huán)境分析
三、華中地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
（1）華中地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
（2）華中地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀
（3）華中地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第四節(jié) 華南地區(qū)市場分析
一、華南地區(qū)概述
二、華南地區(qū)經濟環(huán)境分析
三、華南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
（1）華南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
（2）華南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀
（3）華南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第五節(jié) 華北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
一、華北地區(qū)概述
二、華北地區(qū)經濟環(huán)境分析
三、華北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
（1）華北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
（2）華北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀
（3）華北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第六節(jié) 東北地區(qū)市場分析
一、東北地區(qū)概述
二、東北地區(qū)經濟環(huán)境分析
三、東北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
（1）東北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
（2）東北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀
（3）東北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第七節(jié) 西南地區(qū)市場分析
一、西南地區(qū)概述
二、西南地區(qū)經濟環(huán)境分析
三、西南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
（1）西南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
（2）西南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀
（3）西南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第八節(jié) 西北地區(qū)市場分析
一、西北地區(qū)概述
二、西北地區(qū)經濟環(huán)境分析
三、西北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場分析
（1）西北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
（2）西北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場現(xiàn)狀
（3）西北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
第十一章 半導體清洗設備行業(yè)企業(yè)分析（隨數(shù)據(jù)更新有調整）
第一節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
1、主要經濟指標情況
2、企業(yè)盈利能力分析
3、企業(yè)償債能力分析
4、企業(yè)運營能力分析
5、企業(yè)成長能力分析
四、公司優(yōu) 勢分析
第二節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)劣勢分析
第三節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第四節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第五節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第六節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第七節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第八節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第九節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第十節(jié) 企業(yè)
一、企業(yè)概況
二、主營產品
三、運營情況
四、公司優(yōu)勢分析
第十二章 2024-2029年中國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展前景分析與預測
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)未來發(fā)展前景分析
一、半導體清洗設備行業(yè)國內投資環(huán)境分析
二、中國半導體清洗設備行業(yè)市場機會分析
三、中國半導體清洗設備行業(yè)投資增速預測
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)未來發(fā)展趨勢預測
第三節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)規(guī)模發(fā)展預測
一、中國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測
二、中國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模增速預測
三、中國半導體清洗設備行業(yè)產值規(guī)模預測
四、中國半導體清洗設備行業(yè)產值增速預測
五、中國半導體清洗設備行業(yè)供需情況預測
第四節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)盈利走勢預測
第十三章 2024-2029年中國半導體清洗設備行業(yè)進入壁壘與投資風險分析
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)進入壁壘分析
一、半導體清洗設備行業(yè)資金壁壘分析
二、半導體清洗設備行業(yè)技術壁壘分析
三、半導體清洗設備行業(yè)人才壁壘分析
四、半導體清洗設備行業(yè)品牌壁壘分析
五、半導體清洗設備行業(yè)其他壁壘分析
第二節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)風險分析
一、半導體清洗設備行業(yè)宏觀環(huán)境風險
二、半導體清洗設備行業(yè)技術風險
三、半導體清洗設備行業(yè)競爭風險
四、半導體清洗設備行業(yè)其他風險
第三節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)存在的問題
第四節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)解決問題的策略分析
第十四章 2024-2029年中國半導體清洗設備行業(yè)研究結論及投資建議
第一節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)研究綜述
一、行業(yè)投資價值
二、行業(yè)風險評估
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)進入策略分析
一、行業(yè)目標客戶群體
二、細分市場選擇
三、區(qū)域市場的選擇
第三節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)營銷策略分析
一、半導體清洗設備行業(yè)產品策略
二、半導體清洗設備行業(yè)定價策略
三、半導體清洗設備行業(yè)渠道策略
四、半導體清洗設備行業(yè)促銷策略
第四節(jié) 思瀚投資建議
