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年產(chǎn) 200 噸電子級三氟化氯生產(chǎn)線項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 德爾科技    2023-09-16

“年產(chǎn) 200 噸電子級三氟化氯生產(chǎn)線項目”是公司依托于現(xiàn)有國家重大科技專項課題所積累的研發(fā)成果，是對電子級三氟化氯產(chǎn)品實現(xiàn)工程化應(yīng)用的舉措。

項目建成后公司將新增年產(chǎn) 200 噸電子級三氟化氯產(chǎn)能，項目實施進(jìn)一步促進(jìn)該產(chǎn)品的國產(chǎn)化進(jìn)程，同時也為公司提供新的利潤增長點。三氟化氯是迄今為止發(fā)現(xiàn)反應(yīng)活性最強的化合物之一，主要用于半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域化學(xué)氣相沉積后工序 CVD 反應(yīng)室內(nèi)壁、爐管、部件的表面蝕刻清洗環(huán)節(jié)，也是制備高端含氟高能材料的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，其衍生出來的新型氟金屬基含能材料和氟氮氧基含能材料在某些特殊場景具有更大的拓展應(yīng)用潛力。

本項目產(chǎn)品使用自主研發(fā)的具有國際領(lǐng)先水平的一步法多微通道高效合成反應(yīng)技術(shù)和改性吸附-低溫萃取-反應(yīng)精餾純化技術(shù)的科研成果、三氟化氯一步法合成技術(shù)、無外部動力自增壓技術(shù)、HF雜質(zhì)高效分離技術(shù)，技術(shù)工藝安全、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，“高純?nèi)裙I(yè)化生產(chǎn)成套技術(shù)”的技術(shù)成果屬于國際領(lǐng)先水平。公司是國內(nèi)唯一實現(xiàn)電子級三氟化氯

規(guī)模化生產(chǎn)的企業(yè)，代表了現(xiàn)階段國內(nèi)含氟電子特種氣體領(lǐng)域自主研發(fā)和科技創(chuàng)新的最高成就之一，填補了國內(nèi)半導(dǎo)體關(guān)鍵材料領(lǐng)域空白，榮獲科技部首屆全國顛覆性技術(shù)創(chuàng)新大賽最高獎、工信部第五屆中國先進(jìn)技術(shù)轉(zhuǎn)化應(yīng)用大賽銀獎，獲得授權(quán)發(fā)明專利 16 項，制定了國內(nèi)首個企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。因此，本項目與公司主營業(yè)務(wù)和核心技術(shù)之間密切相關(guān)，對促進(jìn)公司業(yè)務(wù)規(guī)模增長具有重大意義。

1、項目概況

本項目實施主體為福建德爾，項目投資總額為 30,171.00 萬元，擬使用募集資金 29,500.00 萬元，計劃新增電解槽、精餾塔及固廢處理設(shè)施等工藝設(shè)備，項目達(dá)產(chǎn)后每年將增加 200 噸電子級三氟化氯產(chǎn)能。

2、項目實施的必要性

（1）本項目順應(yīng)國家政策導(dǎo)向，強化公司三氟化氯國產(chǎn)替代先發(fā)優(yōu)勢

電子特種氣體作為關(guān)鍵性電子材料，國家近年來頒布多項產(chǎn)業(yè)政策對電子特種氣體產(chǎn)業(yè)予以支持及指導(dǎo)，以保證行業(yè)實現(xiàn)穩(wěn)定健康發(fā)展。

2020 年，國務(wù)院發(fā)布《新時期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》，提出“聚焦高端芯片、集成電路裝備和工藝技術(shù)、集成電路關(guān)鍵材料、集成電路設(shè)計工具、基礎(chǔ)軟件、工業(yè)軟件、應(yīng)用軟件的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)，不斷探索構(gòu)建社會主義市場經(jīng)濟(jì)條件下關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)新型舉國體制。

科技部、國家發(fā)展改革委、工信部等部門做好有關(guān)工作的組織實施，積極利用國家重點研發(fā)計劃、國家科技重大專項等給予支持”。2021 年，工信部發(fā)布《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2021 年版）》，提出“在‘113.特種氣體’中列示包括三氟化氯等 33 種特種氣體，對純度等指標(biāo)提出明確要求”。

2022 年，中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會發(fā)布《中國氣體工業(yè)“十四五”發(fā)展指南》，提出“聚焦補短板強弱項、解決“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)，推動電子氣體國產(chǎn)化，替代進(jìn)口，打通全行業(yè)供應(yīng)鏈，穩(wěn)定產(chǎn)業(yè)鏈，實現(xiàn)行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”。

國家產(chǎn)業(yè)政策為電子特種氣體行業(yè)創(chuàng)造了良好的發(fā)展環(huán)境，同時也為行業(yè)發(fā)展指明了方向。公司計劃通過本次募投項目新建電子級三氟化氯生產(chǎn)線，既順應(yīng)國家政策導(dǎo)向，也將強化公司電子級三氟化氯國產(chǎn)替代先發(fā)優(yōu)勢，成為公司搶占市場先機的重要措施。

（2）服務(wù)于集成電路國產(chǎn)化戰(zhàn)略，填補三氟化氯產(chǎn)品國內(nèi)市場空白

集成電路產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。我國擁有龐大的集成電路芯片市場需求，但由于國內(nèi)技術(shù)發(fā)展較晚，尚未具備先進(jìn)制程集成電路產(chǎn)業(yè)及與之相配套的電子專用材料等產(chǎn)業(yè)鏈，我國每年需要大量進(jìn)口該類產(chǎn)品且市場定價權(quán)和話語權(quán)較低。

當(dāng)前產(chǎn)業(yè)鏈無法自主把控已對我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展帶來一定限制，因此推動集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展已成為我國技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展核心之一，集成電路產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化上升至國家戰(zhàn)略的高度。

三氟化氯作為一種集成電路先進(jìn)制程用新型蝕刻材料，主要應(yīng)用于大規(guī)模先進(jìn)制程集成電路中的蝕刻、硅片和腔體清洗，特別在 14nm 以下先進(jìn)制程中應(yīng)用廣泛。三氟化氯因其自身特性原因，國際采購中需經(jīng)出口國、進(jìn)口國政府批準(zhǔn)，進(jìn)口通關(guān)難度大，采購周期長，貨源保障困難。

國際市場上，電子級三氟化氯主要由日本和美國公司生產(chǎn)并形成壟斷，導(dǎo)致采購成本高企。公司作為國內(nèi)商業(yè)化合成和提純?nèi)鹊南壤瑢⒏淖冸娮蛹壢韧耆蕾囘M(jìn)口的狀況。

因此，公司將通過本次項目的實施，服務(wù)集成電路國產(chǎn)化戰(zhàn)略，完成國產(chǎn)電子級三氟化氯工程化實施，實現(xiàn)超大規(guī)模先進(jìn)制程集成電路制造工藝中關(guān)鍵材料電子級三氟化氯的國產(chǎn)化，填補電子級三氟化氯產(chǎn)品國內(nèi)市場空白。

3、項目實施的可行性

（1）實現(xiàn)公司各產(chǎn)品協(xié)同發(fā)展，提升項目產(chǎn)品導(dǎo)入效率

公司電子特種氣體產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路、新型顯示面板等干法蝕刻和清洗等工序。干法蝕刻是將硅片表面曝露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體，等離子體通過光刻膠中開出的窗口與硅片發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)或兩種反應(yīng)并存，從而去掉曝露的表面材料，是亞微米尺寸下蝕刻器件最重要的方法。

集成電路產(chǎn)業(yè)集中度較高，行業(yè)內(nèi)企業(yè)規(guī)模普遍較大、實力強勁、市場占有率高且技術(shù)升級更新速度快，對電子特種氣體供應(yīng)商的產(chǎn)品技術(shù)水平、供應(yīng)穩(wěn)定性等方面均有較高要求。集成電路生產(chǎn)制造企業(yè)對于供應(yīng)鏈把控的話語權(quán)較強，產(chǎn)品進(jìn)入其供應(yīng)體系前一般需經(jīng)過較長周期的品質(zhì)及質(zhì)量評估，進(jìn)入后即會建立長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。

此外，集成電路生產(chǎn)制造過程中一般需同時使用多種濕電子化學(xué)品、電子特種氣體等電子專用材料進(jìn)行搭配使用或用于不同工藝，因此為保證生產(chǎn)及供應(yīng)穩(wěn)定性、效率等因素，集成電路生產(chǎn)制造企業(yè)在選擇供應(yīng)商時會更加青睞能夠提供多品種產(chǎn)品的供應(yīng)商。

公司已有多種電子特種氣體產(chǎn)品進(jìn)入集成電路廠商供應(yīng)鏈，本項目計劃生產(chǎn)的電子級三氟化氯能夠依托公司現(xiàn)有已導(dǎo)入下游廠商供應(yīng)鏈的電子特種氣體產(chǎn)品優(yōu)勢，覆蓋制造工藝中更多種類電子特種氣體需求，為客戶提供更為完備的產(chǎn)品方案，為迅速地切入客戶供應(yīng)鏈提供可靠基礎(chǔ)。

（2）國家重大專項課題驗收完成，保障項目順利實施

重大專項是為了實現(xiàn)國家目標(biāo)，通過核心技術(shù)突破和資源集成，在一定時限內(nèi)完成的重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)和重大工程，是我國科技發(fā)展的重中之重?！?2 專項”即《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項目是我國突破制約信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，掌握集成電路及關(guān)鍵元器件等核心技術(shù)，提高自主開發(fā)能力和整體技術(shù)水平的重要舉措，在我國科技發(fā)展中占據(jù)舉足輕重的地位。

2020 年，公司承擔(dān)“02 專項”中“19/17nm DRAM 芯片國產(chǎn)裝備及材料新工藝開發(fā)與應(yīng)用”項目中的《圖形化工藝應(yīng)用—ClF3》專項課題，課題以研制高端制氟設(shè)備以及研制氟氣提純技術(shù)為基礎(chǔ)，開展電子級三氟化氯的自主研發(fā)及其產(chǎn)業(yè)化制備技術(shù)。

經(jīng)公司項目研發(fā)團(tuán)隊的積極攻關(guān)，先后成功解決了優(yōu)質(zhì)氟氣制備、三氟化氯的合成與精餾提純、三氟化氯的產(chǎn)業(yè)化試驗等關(guān)鍵技術(shù)難點課題，不僅完成了國家項目任務(wù)合同書的要求，同時突破國外企業(yè)對高端制氟設(shè)備的出口限制與特殊結(jié)構(gòu)、特種材料的精餾塔的設(shè)計研發(fā)等技術(shù)課題難點，提高了三氟化氯的精餾收率，實現(xiàn)理論創(chuàng)新、技術(shù)創(chuàng)新、工藝創(chuàng)新。

公司參與的國家重大專項課題驗收完成，解決了我國原有應(yīng)用于特殊領(lǐng)域的三氟化氯產(chǎn)品收率水平、成本控制程度要求不高等問題，電子級三氟化氯氣體工程化的研發(fā)、工藝流程改良、純化效果和收率的提高使公司在電子級三氟化氯的自主研發(fā)能力和技術(shù)創(chuàng)新上實現(xiàn)新跨越，成為保障本次項目順利實施的重要基礎(chǔ)。

完整版可行性研究報告依據(jù)國家部門及地方政府相關(guān)法律、法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)，本著客觀、求實、科學(xué)、公正的原則，在現(xiàn)有能夠掌握的資料和數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，主要就項目建設(shè)背景、需求分析及必要性、可行性、建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容、建設(shè)條件及方案、項目投資及資金來源、社會效益、經(jīng)濟(jì)效益以及項目建設(shè)的環(huán)境保護(hù)等方面逐一進(jìn)行研究論證，以確定項目經(jīng)濟(jì)上的合理性、技術(shù)上的可行性，為項目投資主體和主管部門提供決策參考。此報告為思瀚摘錄部分。