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合肥芯碁微-關鍵子系統(tǒng)、核心零部件自主研發(fā)項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2022-09-02

1、項目概況

項目名稱：關鍵子系統(tǒng)、核心零部件自主研發(fā)。

項目實施主體：合肥芯碁微電子裝備股份有限公司。

項目總投資：24,758.22萬元。

項目建設內容：本項目擬新建研發(fā)場所，引進高端研發(fā)人才，采購先進的研發(fā)設備和配套 軟件，對高精度運動平臺開發(fā)項目、先進激光光源、高精度動態(tài)環(huán)控系統(tǒng)、 超大幅面高解析度曝光引擎、半導體設備前端系統(tǒng)模組（EFEM）、高穩(wěn)定 性全自動化線配套、基于深度學習算法的智能化直寫光刻系統(tǒng)等領域進行 深度研發(fā)，助力實現(xiàn)公司關鍵子系統(tǒng)、核心零部件自主可控。項目建成后 能夠加強公司供應鏈自主可控能力，進一步降低直寫光刻設備生產(chǎn)成本， 拓寬直寫光刻核心技術護城河，并豐富公司產(chǎn)業(yè)鏈布局，進而提高公司市 場核心競爭力。

項目建設地點：合肥市高新區(qū)長安路與長寧大道交口西南角

2、項目建設的必要性

（1）降低生產(chǎn)成本，提升直寫光刻設備產(chǎn)品競爭力

直寫光刻設備作為高端裝備，在生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)的主要工藝為組裝，相對較為簡單，因此在主營業(yè)務成本中，直接材料的占比較高。運動平臺及組件、圖形生成模塊、光路組件、曝光光源、自動控制組件等核心零部件及關鍵子系統(tǒng)是主要的直接材料，其成本直接影響直寫光刻設備的制造成本及市場定價。目前，直寫光刻設備在中高端 PCB市場中的應用相對成熟，但由于生產(chǎn)成本較高，相對較高的市場售價仍是其在 PCB產(chǎn)業(yè)中應用推廣的主要制約因素之一。

公司作為國內領先的直寫光刻設備廠商，近年來通過對上述核心零部件及關鍵子系統(tǒng)的自主研發(fā)，在部分領域實現(xiàn)了自主替代，有效降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本，從而具備突出的設備性能及性價比優(yōu)勢，推動了直寫光刻技術及設備的國產(chǎn)化發(fā)展。本項目的實施，將有利于公司進一步提升核心零部件及關鍵子系統(tǒng)的自主供給能力，從而進一步降低直寫光刻設備的生產(chǎn)成本，提升公司產(chǎn)品市場競爭力，同時推動本土直寫光刻設備在我國泛半導體及 PCB相關產(chǎn)業(yè)中的滲透，助力相關產(chǎn)業(yè)升級發(fā)展。

（2）加強供應鏈自主可控能力，提升日常經(jīng)營穩(wěn)定性

公司直寫光刻設備主要應用于泛半導體及中高端 PCB生產(chǎn)制造中的圖形工藝領域，屬于高端裝備行業(yè)，涉及的制造工藝主要為設備的設計、核心零部件及模塊的組裝以及性能調試，采購的核心零部件、關鍵子系統(tǒng)主要包括運動平臺及組件、圖形生成模塊、光路組件、曝光光源、自動控制組件等。由于下游市場對設備的技術要求較高以及我國相關產(chǎn)業(yè)鏈尚未成熟，公司直寫光刻設備特別是中高端直寫光刻設備對上述核心零部件及關鍵子系統(tǒng)仍依賴進口，供應鏈的穩(wěn)定性面臨一定的挑戰(zhàn)。

一方面，全球新冠疫情反復，嚴重影響了上游供應商的生產(chǎn)管理工作，關鍵子系統(tǒng)及核心零部件的供貨不穩(wěn)定以及延長交付時間等情形發(fā)生概率提高，將直接影響公司的生產(chǎn)經(jīng)營活動的開展。例如，在激光光源領域，目前公司激光光源進口依賴程度較高，進口光源價格昂貴，且對定制需求響應周期長、配合度低，公司往往還需要自行根據(jù)下游客戶進行技術的二次改進，從而在一定程度上影響了產(chǎn)品交付的成本和及時性。

另一方面，近年來國際貿易地方保護主義有所抬頭，以美國為首的西方國家針對我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈所需的關鍵設備、軟件以及原材料進行出口限制，現(xiàn)已對行業(yè)內部分核心零部件及關鍵子系統(tǒng)的穩(wěn)定供應造成了一定的消極影響。因此，公司需要加大對上述領域的自主研發(fā)力度，加強供應鏈自主可控能力，從而提升日常經(jīng)營的穩(wěn)定性。

（3）豐富產(chǎn)業(yè)鏈布局，拓寬直寫光刻核心技術護城河

光刻技術是微納制造中的核心技術之一，涉及光學、機械控制、軟件工程等多技術領域交叉。通過技術研發(fā)積累以及產(chǎn)業(yè)化的應用實踐，目前公司核心技術體系覆蓋了系統(tǒng)集成技術、光刻紫外光學及光源技術、高精度高速實時自動對焦技術、高精度高速對準多層套刻技術、高精度多軸高速大行程精密驅動控制技術、高可靠高穩(wěn)定性及 ECC技術、高速實時高精度圖形處理技術以及智能生產(chǎn)平臺制造技術八大核心技術。伴隨泛半導體及 PCB產(chǎn)品不斷向高精度、高密度、輕薄化等高端化發(fā)展，上述下游行業(yè)對直寫光刻設備的性能指標和產(chǎn)品穩(wěn)定性提出了更高的要求，并傳導至上游關鍵子系統(tǒng)和核心零部件領域。

作為我國直寫光刻設備領域領軍企業(yè)，公司深知上游子系統(tǒng)和零部件對自身產(chǎn)品質量的關鍵影響，在不斷加強對上游各類子系統(tǒng)和零部件的質量審核和把控的同時，積極進行關鍵子系統(tǒng)和核心零部件的技術攻關，現(xiàn)已實現(xiàn)了部分激光器、工件臺等產(chǎn)品核心零部件等自主產(chǎn)業(yè)化應用。通過本項目的建設，公司將加大對關鍵子系統(tǒng)、核心零部件的自主研發(fā)投入，擴大技術研發(fā)隊伍，豐富產(chǎn)業(yè)鏈布局，進一步增強對上述核心技術的理解，助力公司從底層技術原理上豐富核心技術體系，持續(xù)拓寬公司直寫光刻設備在“光”、“機”、“電”、“軟”、“算”領域的技術護城河，為公司主營業(yè)務的持續(xù)拓展提供必需的技術支撐。

3、項目建設的可行性

（1）國家政策重視電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎元器件自主發(fā)展，為本項目提供了良好的政策環(huán)境

目前，公司直寫光刻設備主要應用于泛半導體、PCB等電子信息關鍵基礎產(chǎn)業(yè)，是我國重點發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎性和先導性支柱產(chǎn)業(yè)，是加快工業(yè)轉型升級及國民經(jīng)濟和社會信息化建設的技術支撐和物質基礎，是保障國防建設和國家信息安全的重要基石。近年來，在下游消費電子、5G通信、新能源汽車、新型顯示等新型產(chǎn)業(yè)的終端需求牽引下，我國電子信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，但在上游核心零部件相關領域仍具有較大的發(fā)展空間。為此，國家及各級政府出臺了一系列政策，支持發(fā)展提升上游基礎元器件的自主能力。

2021年 1月，工業(yè)和信息化部發(fā)布《基礎電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃（2021-2023年）》，明確指出電子元器件是支撐信息技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基石，也是保障產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈安全穩(wěn)定的關鍵，在重點產(chǎn)品高端提升行動的光通信器件類別中，提出重點發(fā)展高功率激光器等產(chǎn)品。

2022年 2月，安徽省人民政府印發(fā)《安徽省“十四五”制造業(yè)高質量發(fā)展（制造強省建設）規(guī)劃》，提出實施產(chǎn)業(yè)基礎再造工程，以增強產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈自主可控能力為基礎，堅持應用牽引、問題導向，以自主可控、安全高效為目標，圍繞基礎零部件及元器件、基礎軟件、基礎材料、基礎工藝和產(chǎn)業(yè)技術基礎，加快產(chǎn)品技術攻關和工程化產(chǎn)業(yè)化；實施產(chǎn)業(yè)鏈升級工程，圍繞新型顯示、集成電路、高端裝備等產(chǎn)業(yè)，把握全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展路徑、關鍵環(huán)節(jié)和升級方向，增強產(chǎn)業(yè)鏈長板優(yōu)勢，找準產(chǎn)業(yè)鏈薄弱環(huán)節(jié)，集中力量攻堅突破，補齊發(fā)展短板。

當前我國電子元器件產(chǎn)業(yè)整體存在大而不強、龍頭企業(yè)匱乏、創(chuàng)新能力不足等基礎性問題，國家要求加快電子元器件及配套材料和設備儀器等基礎電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展，推進信息技術產(chǎn)業(yè)基礎高級化、產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)代化發(fā)展，從而為本項目的實施提供了良好的政策環(huán)境。

（2）強大的技術實力，為項目的實施提供了技術支撐

公司作為國內微納級光刻裝備的領跑者，秉承“光刻改變世界”的企業(yè)使命以及“IC裝備，世界品牌”的發(fā)展愿景，視技術創(chuàng)新為發(fā)展源泉，堅持自主創(chuàng)新，在核心技術領域積累了系統(tǒng)集成技術、光刻紫外光學及光源技術、高精度高速實時自動對焦技術、高精度高速對準多層套刻技術、高精度多軸高速大行程精密驅動控制技術、高可靠高穩(wěn)定性及 ECC技術、高速實時高精度圖形處理技術以及智能生產(chǎn)平臺制造技術等八大核心技術，對直寫光刻設備的核心技術領域進行了全面覆蓋。

在技術研發(fā)團隊方面，公司組建了一支專業(yè)、富有活力的技術研發(fā)隊伍，核心技術人員具有深厚技術、產(chǎn)業(yè)積累，多名技術人才入選合肥市高層次人才、安徽省戰(zhàn)略性技術領軍人才、安徽省百人計劃引進人才等高端人才計劃。截止 2022年 6月末，公司共有技術研發(fā) 187人，占員工總數(shù)的比例超過 40%。

在制度方面，公司建立了一套基于市場管理的研發(fā)管理體系，以公司戰(zhàn)略規(guī)劃為指引，結合市場銷售、競爭信息、技術趨勢和產(chǎn)品組合等市場前沿信息，依靠時間管理、成本管理、質量管制、風險管理等完備的子流程管控體系，滾動推進新研發(fā)項目的實施與驗證，確保研發(fā)項目的穩(wěn)步落地。與此同時，公司對知識產(chǎn)權進行了完善的管理，積極采用股權激勵等方式深度綁定公司技術人員，充分激發(fā)技術研發(fā)人員的創(chuàng)新活力。截至 2022年 6月末，公司累計獲得授權專利 120項。其中，已授權發(fā)明專利 51項，已授權實用新型專利 64項，已授權外觀設計專利 5項，擁有軟件著作權 14項。

除自主技術研發(fā)外，公司還積極利用外部技術研發(fā)資源，與西安交通大學、安徽工業(yè)大學等知名高校建立了產(chǎn)學研合作關系，針對微納光刻技術領域展開技術合作研發(fā)，并建立了聯(lián)合實驗室及人才培養(yǎng)基地，為公司未來的技術創(chuàng)新提供了有效支持。

憑借強大的技術實力，公司先后取得了國家級專精特新“小巨人”企業(yè)、安徽省企業(yè)技術中心、安徽省創(chuàng)業(yè)外國專家工作室、第十批省級博士后科研工作站、安徽省 2016年度創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新先鋒企業(yè)、合肥市第一批集成電路重點企業(yè)、合肥市直寫光刻設備工程技術研究中心、2021年度合肥高新區(qū)瞪羚企業(yè)、2021年度合肥高新區(qū)潛在獨角獸企業(yè)、合肥高新區(qū) 2021年度優(yōu)秀企業(yè)科創(chuàng)金融引領獎、2021年度合肥高新區(qū)“深科技”企業(yè)、2021年度科創(chuàng)板硬科技領軍企業(yè)、第二十一屆（2021年）中國電子電路行業(yè)協(xié)會排行榜專用設備儀器第九位等一系列榮譽資質。

（3）豐富的直寫光刻產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗，為本項目提供了經(jīng)驗保障

作為典型的高端裝備，直寫光刻設備目前已經(jīng)在集成電路、平板顯示等泛半導體領域以及 PCB領域實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化的應用，其核心零部件及關鍵子系統(tǒng)的技術研發(fā)不僅涉及精密機械、紫外光學、圖形圖像處理、模式識別、深度學習、自動控制、高速數(shù)據(jù)處理等多個技術領域的研究，還需要滿足下游產(chǎn)業(yè)化應用中的差異化需求。在持續(xù)的產(chǎn)業(yè)化過程中，公司重視對基礎性、原理性技術的研究，目前在直寫光刻設備關鍵子系統(tǒng)及核心零部件領域形成了一定的技術研發(fā)成果基礎。因此，豐富的產(chǎn)業(yè)化應用經(jīng)驗能夠有效指導公司對直寫光刻設備核心零部件及關鍵子系統(tǒng)的自主研發(fā)活動開展，提升技術研發(fā)效率。

本項目擬自主研發(fā)的關鍵子系統(tǒng)、核心零部件內容及相關產(chǎn)業(yè)化基礎

截止 2022年 6月末，公司直寫光刻設備的總裝機量超過了 700臺，具有豐富的產(chǎn)業(yè)化應用經(jīng)驗。

4、項目實施主體與投資情況

本項目建設由芯碁微裝實施，項目總投資金額為 24,758.22萬元，擬使用募集資金 15,172.00萬元。

5、項目用地、所涉及的報批事項

本項目擬建設地點為合肥市高新區(qū)長安路與長寧大道交口西南角，土地權證等相關事項已經(jīng)辦理完畢并取得了相關的產(chǎn)權證書，產(chǎn)權證書編號為“皖（2022）合肥市不動產(chǎn)權第 1190187號”。

截止本報告出具日，公司正在推進項目相關的備案及環(huán)評等報批工作，尚未取得相關項目備案、環(huán)評批復文件。

此報告為正式可研報告摘取部分，個性化定制請咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。