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江蘇省啟東市-半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化基地二期項(xiàng)目可行性研究報(bào)告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2022-12-10

1、項(xiàng)目概況

基于目前國(guó)內(nèi)高端泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備以及半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件依賴進(jìn)口的大背景，公司擬在江蘇省啟東市實(shí)施啟東半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化基地二期項(xiàng)目，項(xiàng)目的順利實(shí)施將助力公司爐管及涂膠顯影設(shè)備等新設(shè)備產(chǎn)品線的研發(fā)及量產(chǎn)，加快相關(guān)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)度，同時(shí)擴(kuò)充公司現(xiàn)有泛半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品的產(chǎn)能，穩(wěn)定公司供應(yīng)鏈結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步豐富及優(yōu)化公司的業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)公司的綜合競(jìng)爭(zhēng)力。

項(xiàng)目的實(shí)施將配合國(guó)家政策發(fā)展，并推動(dòng)我國(guó)高端集成電路及泛半導(dǎo)體設(shè)備及其零部件的國(guó)產(chǎn)化，從而推動(dòng)我國(guó)關(guān)鍵泛半導(dǎo)體設(shè)備及其零部件的進(jìn)口替代。

本項(xiàng)目主要用于研發(fā)并量產(chǎn)爐管與涂膠顯影等集成電路設(shè)備、光伏制絨清洗設(shè)備等泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備，以及設(shè)備配套核心零部件等產(chǎn)品。本次項(xiàng)目建成并達(dá)成后，將形成年產(chǎn)爐管、涂膠顯影等集成電路設(shè)備 50 套，光伏工藝設(shè)備 120 套，面板制程設(shè)備 10 套，系統(tǒng)集成及工藝設(shè)備逾 3,000 套，配套零部件逾 30,000 套的生產(chǎn)規(guī)模。

通過項(xiàng)目的順利實(shí)施，公司產(chǎn)品線將進(jìn)一步覆蓋至已有產(chǎn)業(yè)鏈客戶的更多領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)多產(chǎn)品布局，平抑市場(chǎng)波動(dòng)及風(fēng)險(xiǎn)，穩(wěn)定并提高公司業(yè)績(jī)。本項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)為江蘇省啟東市。

2、項(xiàng)目必要性分析

（1）項(xiàng)目建設(shè)有助于落實(shí)國(guó)家產(chǎn)業(yè)規(guī)劃，加快半導(dǎo)體裝備核心技術(shù)研發(fā)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備供應(yīng)自主可控

當(dāng)前國(guó)際泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備產(chǎn)業(yè)處于寡頭壟斷格局，以涂膠顯影及爐管設(shè)備為例，根據(jù) GlobalMarketMonitor 統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，全球前道涂膠顯影設(shè)備銷售額由 2013 年的 14.07 億美元增長(zhǎng)到 2020 年 19.05 億美元，預(yù)計(jì)到 2022 年有望超過 25 億美元。

在光刻工序涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域，全球范圍內(nèi)日本東京電子（TEL）一家獨(dú)大，市場(chǎng)份額接近 87%，其他生產(chǎn)企業(yè)包括日本迪恩士（DNS）、德國(guó)蘇斯微（SUSS）、臺(tái)灣億力鑫（ELS）、韓國(guó) CND 等主要也均被海外廠商占據(jù)。隨著近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移，我國(guó)晶圓產(chǎn)量攀升，涂膠顯影設(shè)備應(yīng)用需求攀升，行業(yè)得到快速發(fā)展。在 2020 年我國(guó)涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約為 8.5億美元，預(yù)計(jì)到 2023 年我國(guó)涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約為 11 億美元，整體規(guī)模增速可觀，市場(chǎng)需求巨大。

同樣，2021 年?duì)t管設(shè)備全球市場(chǎng)規(guī)模約 28 億美元，且被日本東京電子 TEL、國(guó)際電氣 Kokusai 和 ASM International 等知名海外品牌商壟斷，國(guó)產(chǎn)化率極低。爐管設(shè)備的應(yīng)用將覆蓋半導(dǎo)體芯片制程的多項(xiàng)核心工藝流程，隨著中國(guó)大陸晶圓產(chǎn)能的擴(kuò)張，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)于爐管設(shè)備的需求也將急劇增加。因此，涂膠顯影及爐管設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率處于較低水平，未來國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)明顯，加速推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程與先進(jìn)工藝的研發(fā)對(duì)公司未來的發(fā)展具有重大的戰(zhàn)略意義。

本項(xiàng)目主要針對(duì)泛半導(dǎo)體行業(yè)工藝設(shè)備及其核心零部件進(jìn)行自主生產(chǎn)，有助于實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)技術(shù)瓶頸的突破，實(shí)現(xiàn)設(shè)備及零部件進(jìn)口替代，打破外商壟斷，對(duì)保障我國(guó)集成電路供應(yīng)鏈安全具有重要意義。

（2）項(xiàng)目可以加強(qiáng)及豐富產(chǎn)品布局，提高公司整體競(jìng)爭(zhēng)力

集成電路是國(guó)家的戰(zhàn)略性基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，其技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量國(guó)家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志之一。建立起自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系是我國(guó)推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)規(guī)?；l(fā)展的重點(diǎn)任務(wù)之一。

為滿足集成電路及泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備市場(chǎng)不斷增長(zhǎng)的需求，本次項(xiàng)目建成后，一方面通過建設(shè)先進(jìn)的生產(chǎn)基地進(jìn)一步提高生產(chǎn)規(guī)模，滿足日益增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求；另一方面通過建設(shè)產(chǎn)業(yè)化基地助力公司新產(chǎn)品線的研發(fā)及擴(kuò)張，進(jìn)一步強(qiáng)化公司在高端集成電路及泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)并豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，提高公司產(chǎn)品的科技水平及公司應(yīng)對(duì)行業(yè)周期性波動(dòng)的能力。項(xiàng)目建成后將與公司總部基地形成研發(fā)與生產(chǎn)，進(jìn)一步提高生產(chǎn)規(guī)模和產(chǎn)品產(chǎn)能，為公司未來高速穩(wěn)健發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

3、項(xiàng)目可行性分析

（1）國(guó)家政策的有力支持為募投項(xiàng)目的實(shí)施奠定了良好基礎(chǔ)

近年來，國(guó)家高度重視半導(dǎo)體集成電路關(guān)鍵專用設(shè)備、儀器和材料的發(fā)展，2020 年 8 月，國(guó)務(wù)院發(fā)布的《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策》明確了集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件行業(yè)作為信息產(chǎn)業(yè)核心的重要地位，制定出臺(tái)財(cái)稅、投融資、研究開發(fā)、進(jìn)出口、人才、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、市場(chǎng)應(yīng)用、國(guó)際合作等八個(gè)方面政策措施，以進(jìn)一步優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，深化產(chǎn)業(yè)國(guó)際合作，提升產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和發(fā)展質(zhì)量。

2020 年 10 月，黨的十九屆五中全會(huì)上通過《中共中央關(guān)于制定國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和二〇三五年遠(yuǎn)景目標(biāo)的建議》，建議瞄準(zhǔn)人工智能、量子信息、集成電路等前沿領(lǐng)域，實(shí)施一批具有前瞻性、戰(zhàn)略性的國(guó)家重大科技項(xiàng)目。

隨著一系列鼓勵(lì)行業(yè)發(fā)展、促進(jìn)行業(yè)需求的國(guó)家政策出臺(tái)，為集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了良好的契機(jī)。因此，本項(xiàng)目的實(shí)施符合國(guó)家的產(chǎn)業(yè)政策，具有較好的發(fā)展?jié)摿褪袌?chǎng)發(fā)展前景，相關(guān)政策的有力支持為此次募投項(xiàng)目的實(shí)施奠定了良好的基礎(chǔ)。

（2）集成電路及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展及國(guó)產(chǎn)替代的行業(yè)趨勢(shì)為本次募投項(xiàng)目提供了廣闊的市場(chǎng)前景

在集成電路領(lǐng)域，隨著信息化、智能化技術(shù)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體芯片及器件產(chǎn)品在半導(dǎo)體照明、新一代移動(dòng)通信、智能電網(wǎng)、新能源汽車、消費(fèi)類電子等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，集成電路市場(chǎng)規(guī)模實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)。

根據(jù) WSTS 資料顯示，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)銷售額已從 2000 年的 2,044 億美元增長(zhǎng)至2021 年的 5,559 億美元，并從中國(guó)臺(tái)灣、日本、韓國(guó)向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移。根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)（SEMI） 的數(shù)據(jù)，2021 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 1,030 億美元，較2020 年增長(zhǎng) 42.24%，2022 年第三季度全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額達(dá)到 287.5 億美元，環(huán)比增長(zhǎng) 9%，同比增長(zhǎng) 7%。預(yù)測(cè) 2022 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模有望創(chuàng)紀(jì)錄達(dá) 1,175 億美元。

在光伏領(lǐng)域，根據(jù) PVInfoLink 的統(tǒng)計(jì)，2022年全行業(yè) TOPCon 電池產(chǎn)能有望超 40GW，預(yù)計(jì)到 2023 年底，將達(dá)到接近 80GW 的水平。截至 2022 年 Q3，行業(yè)已有近 40GWN 型 TOPCon 電池實(shí)現(xiàn)投產(chǎn)，目前晶科、天合、晶澳、通威、鈞達(dá)、潤(rùn)陽(yáng)等國(guó)內(nèi)主流廠商均有不同規(guī)模的投入計(jì)劃。據(jù)浙商證券的預(yù)測(cè)顯示，2023-2025 年 TOPCon 電池?cái)U(kuò)產(chǎn)將迎來高峰期，年均擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模有望超 200GW。

展望未來，我國(guó)光伏產(chǎn)能隨著企業(yè)擴(kuò)產(chǎn)規(guī)劃持續(xù)增加，行業(yè)內(nèi)企業(yè)成長(zhǎng)空間廣闊。公司泛半導(dǎo)體設(shè)備可覆蓋 TOPCon、HJT 等市場(chǎng)主流電池生產(chǎn)工藝。

目前國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體制造廠商的技術(shù)差距明顯，但都在向更高階技術(shù)推進(jìn)芯片工藝研發(fā)工作，從而帶動(dòng)上游集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)共同進(jìn)步，并催生了對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的巨大市場(chǎng)需求。隨著集成電路制造工藝向 14 nm 及以下技術(shù)代的深入發(fā)展，特征尺寸不斷縮小，新結(jié)構(gòu)、新材料不斷被應(yīng)用，新技術(shù)層出不窮。一代技術(shù)依賴于一代工藝，一代工藝又依賴于一代設(shè)備來實(shí)現(xiàn)，集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展依賴于裝備的不斷更新?lián)Q代，裝備是推動(dòng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的引擎。

（3）公司擁有良好的技術(shù)儲(chǔ)備及產(chǎn)業(yè)化能力

公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備已經(jīng)具備了較強(qiáng)的自主創(chuàng)新研發(fā)能力，通過一系列研發(fā)項(xiàng)目的實(shí)施，打破了高端設(shè)備的國(guó)際壟斷，將國(guó)內(nèi)大規(guī)模集成電路高端裝備的技術(shù)水平與國(guó)際主流大廠進(jìn)一步拉近，半導(dǎo)體領(lǐng)域裝備產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)主流生產(chǎn)線得到批量應(yīng)用，具備了持續(xù)發(fā)展壯大的能力和進(jìn)一步研發(fā)更先進(jìn)半導(dǎo)體關(guān)鍵裝備和技術(shù)的重要條件。

公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造中始終強(qiáng)調(diào)創(chuàng)新和差異化，在爐管、涂膠顯影等半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品及技術(shù)研發(fā)的過程中，公司實(shí)現(xiàn)了在傳送系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、射頻系統(tǒng)、腔體結(jié)構(gòu)及尾氣處理系統(tǒng)等核心工藝的積累和掌握。

此外，公司在發(fā)展過程中十分重視對(duì)技術(shù)人才的培養(yǎng)和激勵(lì)，持續(xù)不斷為不同崗位的人員提供良好的專業(yè)技術(shù)培訓(xùn)，并通過多種方式鼓勵(lì)關(guān)鍵人才積極投身技術(shù)研發(fā)，與公司共同成長(zhǎng)，提高公司核心競(jìng)爭(zhēng)力。公司技術(shù)實(shí)力雄厚，核心團(tuán)隊(duì)穩(wěn)定，并且在自主創(chuàng)新、本地化服務(wù)、知識(shí)管理等方面具有核心競(jìng)爭(zhēng)力，可以針對(duì)市場(chǎng)變化做出快速反應(yīng)，具備研發(fā)新產(chǎn)品及改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品的技術(shù)及生產(chǎn)基礎(chǔ)。

（4）公司優(yōu)質(zhì)的客戶基礎(chǔ)及市場(chǎng)口碑，為項(xiàng)目實(shí)施提供了有力的保障

公司作為半導(dǎo)體濕法設(shè)備及系統(tǒng)集成及支持設(shè)備的產(chǎn)品及服務(wù)提供商，通過多年潛心積累，在集成電路領(lǐng)域積累了豐富的客戶資源，產(chǎn)品得到了廣大客戶的高度認(rèn)可。

本次項(xiàng)目產(chǎn)品中的爐管、涂膠顯影等半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品目標(biāo)客戶，與公司現(xiàn)有客戶資源高度重合。公司現(xiàn)有業(yè)務(wù)能夠在產(chǎn)業(yè)、技術(shù)、客戶資源等方面與新產(chǎn)品線形成良好的協(xié)同效應(yīng)，各產(chǎn)品線之間能夠互相賦能，給予集成電路行業(yè)客戶更完整的工藝解決方案。

公司客戶涵蓋中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫、上海華虹等集成電路領(lǐng)域的一線廠商，公司本次擴(kuò)產(chǎn)的工藝設(shè)備產(chǎn)品線將涵蓋現(xiàn)有的泛半導(dǎo)體客戶群。公司優(yōu)質(zhì)的客戶基礎(chǔ)及市場(chǎng)口碑為本次募投項(xiàng)目提供了有力保障。

4、項(xiàng)目投資概算

本項(xiàng)目總投資為 80,000.00 萬元。

5、項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)效益分析

本項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年均銷售收入12.1億元，項(xiàng)目投資回報(bào)良好。

6、項(xiàng)目實(shí)施主體

本項(xiàng)目擬由公司子公司江蘇至純系統(tǒng)集成有限公司負(fù)責(zé)實(shí)施。

7、項(xiàng)目審批情況

截至本報(bào)告出具日，本項(xiàng)目相關(guān)備案手續(xù)正在辦理過程中。

此報(bào)告為正式報(bào)告摘取部分。需編制政府立項(xiàng)、銀行貸款、投資決策等用途可行性研究報(bào)告咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。

來源： 思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 至純科技