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含氟半導(dǎo)體材料項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 德爾科技    2023-09-16

“含氟半導(dǎo)體材料項目”是公司基于現(xiàn)有電子特種氣體產(chǎn)品品類、行業(yè)發(fā)展趨勢、市場需求等因素，圍繞公司現(xiàn)有電子特種氣體的核心技術(shù)，對電子特種氣體產(chǎn)品的進一步產(chǎn)業(yè)布局。

項目建成后公司將新增年產(chǎn) 10,000 噸電子級三氟化 氮、600 噸電子級六氟化鎢產(chǎn)能，進一步拓寬補強公司電子特種氣體產(chǎn)品線，完 善公司電子特種氣體產(chǎn)品業(yè)務(wù)板塊，為公司培育新的業(yè)務(wù)增長點。

同時，本項目將應(yīng)用公司在電子特種氣體板塊積累的技術(shù)，包括精餾提純等核心技術(shù)，并在現(xiàn) 有基礎(chǔ)上進一步提升工藝技術(shù)水平。

因此，本項目實施將滿足客戶對電子特種氣 體的多品類需求，進一步提升合作粘性，進而加強公司電子特種氣體業(yè)務(wù)綜合競爭力，促進公司鞏固和強化市場地位。

1、項目概況

本項目實施主體為福建德爾，項目投資總額為 156,000.00 萬元，擬使用募集資金 120,000.00 萬元，計劃新建廠房、倉庫與辦公樓等配套建筑及輔助和公用工程設(shè)施等，項目達產(chǎn)后每年將增加 10,000 噸三氟化氮、600 噸六氟化鎢生產(chǎn)能力。

2、項目實施的必要性

（1）本項目順應(yīng)國家政策導(dǎo)向，是公司把握行業(yè)發(fā)展機遇的重要舉措

（1）本項目順應(yīng)國家政策導(dǎo)向，強化公司三氟化氯國產(chǎn)替代先發(fā)優(yōu)勢

電子特種氣體作為關(guān)鍵性電子材料，國家近年來頒布多項產(chǎn)業(yè)政策對電子特種氣體產(chǎn)業(yè)予以支持及指導(dǎo)，以保證行業(yè)實現(xiàn)穩(wěn)定健康發(fā)展。

2020 年，國務(wù)院發(fā)布《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》，提出“聚焦高端芯片、集成電路裝備和工藝技術(shù)、集成電路關(guān)鍵材料、集成電路設(shè)計工具、基礎(chǔ)軟件、工業(yè)軟件、應(yīng)用軟件的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)，不斷探索構(gòu)建社會主義市場經(jīng)濟條件下關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)新型舉國體制。

科技部、國家發(fā)展改革委、工信部等部門做好有關(guān)工作的組織實施，積極利用國家重點研發(fā)計劃、國家科技重大專項等給予支持”。2021 年，工信部發(fā)布《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2021 年版）》，提出“在‘113.特種氣體’中列示包括三氟化氯等 33 種特種氣體，對純度等指標提出明確要求”。

2022 年，中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會發(fā)布《中國氣體工業(yè)“十四五”發(fā)展指南》，提出“聚焦補短板強弱項、解決“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)，推動電子氣體國產(chǎn)化，替代進口，打通全行業(yè)供應(yīng)鏈，穩(wěn)定產(chǎn)業(yè)鏈，實現(xiàn)行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”。

國家產(chǎn)業(yè)政策為電子特種氣體行業(yè)創(chuàng)造了良好的發(fā)展環(huán)境，同時也為行業(yè)發(fā)展指明了方向。公司計劃通過本次募投項目新建電子級三氟化氯生產(chǎn)線，既順應(yīng)國家政策導(dǎo)向，也將強化公司電子級三氟化氯國產(chǎn)替代先發(fā)優(yōu)勢，成為公司搶占市場先機的重要措施。

電子級三氟化氮和六氟化鎢作為重要的電子特種氣體產(chǎn)品品類，市場規(guī)?？臻g廣闊。因此，為持續(xù)做大做強做精公司電子特種氣體業(yè)務(wù)，深化公司競爭優(yōu)勢，公司計劃使用本次募集資金新建電子級三氟化氮和六氟化鎢生產(chǎn)線，是公司順應(yīng)國家政策導(dǎo)向和把握行業(yè)發(fā)展機遇的重要舉措。

（2）豐富公司電子特種氣體產(chǎn)品線，增強公司盈利能力

公司自成立以來始終致力于電子特種氣體的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，公司已擁有包括四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、八氟環(huán)丁烷、一氟甲烷、二氟甲烷等十余種電子特種氣體產(chǎn)品，上述產(chǎn)品均已實現(xiàn)量產(chǎn)并應(yīng)用于集成電路、顯示面板等領(lǐng)域生產(chǎn)制造。未來，隨著我國集成電路產(chǎn)業(yè)逐步進入國產(chǎn)替代進程及顯示面板產(chǎn)能向大陸地區(qū)轉(zhuǎn)移等因素，電子特種氣體需求預(yù)計將持續(xù)攀升?；谖覈呻娐樊a(chǎn)業(yè)鏈安全健康發(fā)展背景下，國產(chǎn)電子特種氣體進入集成電路企業(yè)供應(yīng)鏈的品種及數(shù)量也將不斷提升。

因此，本項目計劃建設(shè)電子級三氟化氮、六氟化鎢生產(chǎn)線，項目實施將進一步豐富公司產(chǎn)品線，優(yōu)化公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，加快公司在電子特種氣體市場的產(chǎn)業(yè)布局，增強公司盈利能力。本項目是基于產(chǎn)業(yè)特點和公司自身業(yè)務(wù)進行布局，依托于公司深厚的技術(shù)積淀、合作伙伴資源、渠道優(yōu)勢和品牌基礎(chǔ)，實現(xiàn)對業(yè)務(wù)種類的深度拓展和延伸，以增強公司核心競爭力，進一步鞏固公司的市場地位。

（3）滿足客戶電子特種氣體多品類需求，提升合作粘性

客戶認證是新進企業(yè)進入電子特種氣體行業(yè)的壁壘之一，電子特種氣體下游各應(yīng)用領(lǐng)域客戶均對供應(yīng)商選擇較為慎重，必須經(jīng)過嚴格且漫長的質(zhì)量驗證過程。根據(jù)所需產(chǎn)品品質(zhì)的要求不同，各應(yīng)用領(lǐng)域認證周期存在差異：光伏能源、光纖光纜領(lǐng)域的產(chǎn)品認證周期較短約為 0.5-1 年，顯示面板領(lǐng)域通常為 1-2 年，集成電路領(lǐng)域?qū)Ξa(chǎn)品品質(zhì)要求最高，認證周期能夠長達 2-3 年。

集成電路生產(chǎn)制造過程中一般需同時使用多種濕電子化學(xué)品、電子特種氣體等電子專用材料進行搭配使用或用于不同工藝，因此為保證生產(chǎn)及供應(yīng)穩(wěn)定性、效率等因素，集成電路生產(chǎn)制造企業(yè)在選擇供應(yīng)商時會更加青睞能夠提供多品種產(chǎn)品的供應(yīng)商。

下游各應(yīng)用領(lǐng)域客戶在與關(guān)鍵材料供應(yīng)商建立供應(yīng)關(guān)系后會保持長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，雙方會建立反饋機制，增加雙方信息交流以滿足個性化需求。在不斷的反饋交流過程中，電子特種氣體供應(yīng)商與客戶的粘性將會不斷增加。

因此，通過本項目的實施，公司將進一步擴充電子特種氣體產(chǎn)品線，為下游集成電路企業(yè)提供電子級三氟化氮和六氟化鎢產(chǎn)品，滿足客戶多品類的電子特種氣體產(chǎn)品需求，強化公司與客戶之間的業(yè)務(wù)深度，進一步提升客戶合作粘性。

3、項目實施的可行性

（1）電子特種氣體下游產(chǎn)業(yè)景氣度高漲，拉動三氟化氮、六氟化鎢需求持續(xù)增長

①電子特種氣體下游產(chǎn)業(yè)景氣度高漲，推動電子特種氣體需求增長

電子特種氣體作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的“糧食”和“源”，對純度、雜質(zhì)含量等技術(shù)性指標有極其嚴苛的要求，屬于高技術(shù)、高附加值產(chǎn)品。

隨著中國大陸晶圓廠投產(chǎn)數(shù)量持續(xù)加大，物聯(lián)網(wǎng)、新能源汽車、智能終端制造、新一代移動通信等終端應(yīng)用市場需求驅(qū)動，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對電子特種氣體需求持續(xù)保持較高增長速度，為電子特種氣體帶來了良好的市場機遇。

根據(jù) IC Insights數(shù)據(jù)顯示，我國集成電路市場需求 2020 年約為 1,430 億美元，2025 年預(yù)計達到2,230 億美元，復(fù)合增長率 9.29%。其中，我國集成電路市場需求持續(xù)攀升，2020年產(chǎn)值為 227 億美元，國產(chǎn)替代率為 15.87%，預(yù)計 2025 年產(chǎn)值將達到 432 億美元，復(fù)合增長率達到 13.73%，且國產(chǎn)替代率將進一步提高到 19.37%。在顯示面板領(lǐng)域，我國已積極布局 OLED、AMOLED、Mini LED、Micro LED 等新興技術(shù)。

根據(jù)中國電子材料行業(yè)協(xié)會數(shù)據(jù)顯示，2021 年我國顯示面板行業(yè)營收超過3,900 億元，同比增長近 30%，且從全球市場分析，中國大陸地區(qū)顯示面板規(guī)模最近 5 年增幅最大，且全球市場占有率達到 44.3%。

②三氟化氮、六氟化鎢需求持續(xù)增長，為募投項目新增產(chǎn)能消化提供有力保障

三氟化氮與六氟化鎢主要用于超大規(guī)模集成電路先進制程制造過程，在全球集成電路、顯示面板及太陽能電池行業(yè)高速增長態(tài)勢推動下，未來全球三氟化氮、六氟化鎢需求量預(yù)計將進一步上升。根據(jù) Market Watch 數(shù)據(jù)顯示，2022 年全球三氟化氮市場價值為 14.56 億美元，并預(yù)計 2029 年將達到 34.41 億美元。

六氟化鎢作為高性能的沉積材料，隨著存儲芯片制造工藝不斷迭代，特別是 3D NAND層數(shù)不斷增加對于沉積材料的臺階覆蓋填充能力要求持續(xù)提高，存儲芯片產(chǎn)業(yè)對六氟化鎢的需求將與日俱增。根據(jù) QY Research 預(yù)測，全球六氟化鎢的消費量將從 2018 年的 3,164.80 噸增長至 2025 年的 9,971.15 噸，2025 年全球六氟化鎢市場規(guī)模預(yù)計將從 2018 年的 3.32 億美元增長到 10.30 億美元。

綜上所述，伴隨我國集成電路產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)替代進程推進，國內(nèi)晶圓廠建設(shè)規(guī)模持續(xù)增長，顯示面板產(chǎn)能大規(guī)模向中國大陸轉(zhuǎn)移，我國高世代線的加快建設(shè)以及新型顯示技術(shù)發(fā)展等眾多因素帶動下，三氟化氮和六氟化鎢產(chǎn)品需求將持續(xù)攀升，為本次募投項目新增產(chǎn)能消化提供有力保障。

（2）完善的品控制度與優(yōu)質(zhì)的全球化客戶將保障募投項目順利落地

公司始終高度重視產(chǎn)品品質(zhì)管控，秉持“精于品質(zhì)”的產(chǎn)品質(zhì)量方針，搭建全過程質(zhì)量控制體系。公司自建了產(chǎn)品實驗室，具備相關(guān)產(chǎn)品可靠性試驗和環(huán)境測試條件，可進行包括“氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀 GC-MS”、“電感耦合等離子體質(zhì)譜 ICP-MS 儀”、“電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀 ICP-OES”等在內(nèi)的各項測試，充分保障公司產(chǎn)品在純度、雜質(zhì)含量等各項指標符合標準要求。目前，公司已通過 ISO9001、ISO 14001、能源管理體系認證證書、環(huán)境管理體系認證等相關(guān)體系認證。

公司憑借清晰的市場定位、長時間的技術(shù)積累、優(yōu)秀的產(chǎn)品質(zhì)量，在行業(yè)內(nèi)樹立了良好的企業(yè)形象。目前，公司產(chǎn)品已進入臺積電、三星電子、英特爾、日本鎧俠（原東芝）、格芯、中芯集成、長江存儲、長鑫存儲、廈門聯(lián)芯和士蘭集科等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系。

與全球知名企業(yè)的合作，一方面有助于公司及時掌握全球各區(qū)域前沿技術(shù)、發(fā)展趨勢以及需求情況，強化公司對新技術(shù)、新市場的理解，推動公司實現(xiàn)核心技術(shù)的突破和產(chǎn)品創(chuàng)新，從而提高公司產(chǎn)品競爭力；另一方面有助于公司繼續(xù)通過對現(xiàn)有客戶進行深入了解和全方位服務(wù)，而不斷獲得其新增訂單以提高供應(yīng)占比，并在不斷獲得現(xiàn)有客戶訂單的同時積極開拓新客戶，實現(xiàn)公司業(yè)務(wù)擴張。

因此，在公司嚴格的品質(zhì)制度把控下，產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定可靠，以此建立公司良好的企業(yè)形象以及優(yōu)質(zhì)的全球化客戶資源，將保證公司訂單隨客戶的發(fā)展而持續(xù)、穩(wěn)定增長，為本次募投項目的建設(shè)提供堅實的客戶基礎(chǔ)，保障本次募投項目順利實施落地。

完整版可行性研究報告依據(jù)國家部門及地方政府相關(guān)法律、法規(guī)、標準，本著客觀、求實、科學(xué)、公正的原則，在現(xiàn)有能夠掌握的資料和數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，主要就項目建設(shè)背景、需求分析及必要性、可行性、建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容、建設(shè)條件及方案、項目投資及資金來源、社會效益、經(jīng)濟效益以及項目建設(shè)的環(huán)境保護等方面逐一進行研究論證，以確定項目經(jīng)濟上的合理性、技術(shù)上的可行性，為項目投資主體和主管部門提供決策參考。此報告為思瀚摘錄部分。