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北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)亦莊-半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)中心項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2022-12-10

1、項目概況

本項目將基于公司現(xiàn)有成熟的半導(dǎo)體濕法設(shè)備以及系統(tǒng)集成及支持設(shè)備的工藝技術(shù)積累，同時基于北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)（亦莊）的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚和技術(shù)先進優(yōu)勢，在北京亦莊設(shè)立濕法設(shè)備、系統(tǒng)集成及支持設(shè)備及核心零部件的北方生產(chǎn)研發(fā)基地。

本項目的實施將擴大公司生產(chǎn)規(guī)模、增強公司產(chǎn)品下游應(yīng)用領(lǐng)域，同時針對北方客戶需求對產(chǎn)品進行定制化研發(fā)以提升產(chǎn)品競爭力，鞏固并提升公司的行業(yè)地位。本項目達產(chǎn)后，公司預(yù)計將實現(xiàn)年產(chǎn)系統(tǒng)集成及支持設(shè)備 30 套、半導(dǎo)體濕法設(shè)備 15 臺、半導(dǎo)體零部件 2,610 套的生產(chǎn)能力。

項目建設(shè)地點為北京市。

2、項目必要性分析

（1）建立區(qū)域業(yè)務(wù)中心，跟動客戶核心工藝，持續(xù)研發(fā)，擴大產(chǎn)能及優(yōu)化服務(wù)

近兩年我國集成電路相關(guān)領(lǐng)域投資活躍，實現(xiàn)半導(dǎo)體器件設(shè)備及零部件、電子元件及電子專用材料制造投資額的大幅增長，電子信息制造業(yè)固定資產(chǎn)投資兩年平均增長 17.3%，遠高于制造業(yè)兩年平均的 5.8%。

根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)顯示，近年來中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球市場規(guī)模的比重一直在增長，2020 年中國占全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額的比重達 26.27%，2021 年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場占全球達 28.9%。2022 年一季度中國市場份額已超過 30%，并且，根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會的數(shù)據(jù)，2021 年，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額占中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額的比例為 20.02%，并且隨著國產(chǎn)替代、供應(yīng)鏈安全、國產(chǎn)廠商技術(shù)提高等疊加因素，下游廠商將愈發(fā)傾向國產(chǎn)設(shè)備廠商，未來國產(chǎn)設(shè)備的滲透率將繼續(xù)提高，具備較大國產(chǎn)替代空間。

同樣，半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場廣闊，部分核心零部件基本依賴進口，在全球供應(yīng)鏈緊張等背景下，設(shè)備零部件的國產(chǎn)化率也將持續(xù)提高。半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化，可以促使國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈的完善和發(fā)展，也會有力地推動半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)在中國的發(fā)展。只有通過零部件的國產(chǎn)化，才可以更好的解決在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域被國外“卡脖子”的現(xiàn)象，同時提升中國本土的智能制造水平。

公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體濕法設(shè)備產(chǎn)品及系統(tǒng)集成及支持設(shè)備類產(chǎn)品在各自的細分領(lǐng)域占據(jù)行業(yè)優(yōu)勢地位，市場份額較高。近年來，由于政策、環(huán)境、技術(shù)、下游驅(qū)動及經(jīng)濟效益驅(qū)使等多種宏觀和微觀因素的綜合作用，泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)得到大力發(fā)展，從而也帶動了半導(dǎo)體濕法設(shè)備和系統(tǒng)集成及支持設(shè)備市場進入高速發(fā)展期。

近年來公司在北方地區(qū)的訂單增長較快，盡管公司一直在不斷提高生產(chǎn)效率，但生產(chǎn)處于飽和運行狀態(tài)。隨著公司的逐步發(fā)展、新產(chǎn)品的不斷開發(fā)和市場不斷開拓，預(yù)計未來公司仍將保持較快增長勢頭，現(xiàn)有的生產(chǎn)能力將難以滿足客戶的訂單需求，必須開拓新場地，從而解決發(fā)展壯大的瓶頸問題。

因此，北方生產(chǎn)基地的建設(shè)，有助于提高公司產(chǎn)能規(guī)模，滿足市場增長和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化的需求，緩解制約公司發(fā)展的瓶頸問題，為公司持續(xù)快速發(fā)展奠定基礎(chǔ)。同時，本項目通過對于濕法設(shè)備關(guān)鍵零部件創(chuàng)新研發(fā)生產(chǎn)，有助于實現(xiàn)國產(chǎn)技術(shù)瓶頸的突破，實現(xiàn)零部件進口替代，打破外商國外供應(yīng)商壟斷，同時提升公司的整體競爭力。

（2）本項目借助區(qū)位優(yōu)勢建立現(xiàn)代化生產(chǎn)制造基地，可以提升公司智能制造水平

當前信息革命進程持續(xù)快速演進，物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù)廣泛滲透于經(jīng)濟社會各個領(lǐng)域?！爸袊圃?2025”與“德國工業(yè) 4.0”都將智能制造放在第一位，強調(diào)把推進信息技術(shù)與制造技術(shù)的深度融合。

北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)（亦莊）是當前國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)聚集度最高、技術(shù)水平最先進的區(qū)域之一，近年來陸續(xù)吸引北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體、中電科、華卓精科、國望光學等一批半導(dǎo)體裝備企業(yè)聚集，現(xiàn)已初步形成了涵蓋“芯片設(shè)計、晶圓制造、專用設(shè)備、核心零部件及關(guān)鍵材料”等較為完備的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)，成為全國重要的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

本項目可以依托北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)（亦莊）的產(chǎn)業(yè)集聚和技術(shù)先進優(yōu)勢，通過搶抓區(qū)域發(fā)展機遇、緊跟區(qū)域政策與資本的傾斜趨勢，準確把握新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革趨勢，加強戰(zhàn)略謀劃和前瞻部署，不斷推動企業(yè)智能制造工藝的創(chuàng)新發(fā)展，提升公司智能制造水平，引導(dǎo)企業(yè)向高端化、自動化、智能化改造和綠色化、數(shù)字化轉(zhuǎn)型，提高關(guān)鍵技術(shù)的專業(yè)水平，實現(xiàn)提質(zhì)增效，增強公司的綜合競爭實力。

3、項目可行性分析

（1）堅實穩(wěn)定的北方地區(qū)客戶基礎(chǔ)為項目產(chǎn)能消化提供了扎實的市場保障

公司通過多年的經(jīng)驗積累和技術(shù)開發(fā)，產(chǎn)品和服務(wù)不斷完善，在系統(tǒng)集成及支持設(shè)備和半導(dǎo)體濕法設(shè)備領(lǐng)域深耕多年，在行業(yè)中形成了良好的口碑和信譽，積累并服務(wù)了一批長期穩(wěn)定合作的高端客戶和合作伙伴，且基本為各自行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)或主要企業(yè)。我國北方地區(qū)作為我國半導(dǎo)體制造的重要生產(chǎn)基地，公司在各產(chǎn)品線上積累并長期服務(wù)了一批穩(wěn)定優(yōu)質(zhì)的高端客戶，并且批量訂單充足。

北方地區(qū)廣闊的市場前景以及公司在北方地區(qū)穩(wěn)定而堅實的客戶基礎(chǔ)，隨著公司在北方地區(qū)市場的開拓力度不斷加大，與下游客戶的合作將日漸加深，從而有助于順利消化本次投資項目的新增產(chǎn)能，保障項目的順利實施。

（2）北京亦莊產(chǎn)業(yè)聚集的區(qū)位優(yōu)勢可以為項目的實施提供一系列協(xié)同效應(yīng)

北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)（亦莊）作為當前國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)聚集度最高、技術(shù)水平最先進的區(qū)域之一，已初步形成涵蓋“芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝測試、專用裝備、核心零部件及關(guān)鍵材料”等較為完備的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)，近年來，亦莊陸續(xù)吸引北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體、中電科、華卓精科、國望光學等一批裝備企業(yè)聚集，率先在國內(nèi)建成首條 12 英寸集成電路晶圓生產(chǎn)線，一批代表企業(yè)及研究機構(gòu)承接了系列國家重大科技專項任務(wù)，在關(guān)鍵裝備及材料、先進工藝開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果。

項目選址在北京亦莊集成電路裝備產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)，一方面有助于降低和產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)內(nèi)上下游企業(yè)原料產(chǎn)品的成本和交易費用，使項目產(chǎn)品生產(chǎn)成本顯著降低；另一方面產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)內(nèi)產(chǎn)業(yè)配套設(shè)施齊全、供應(yīng)鏈完整、技術(shù)人才充沛，公司比較容易獲得產(chǎn)業(yè)的配套產(chǎn)品和服務(wù)、也能夠得到更穩(wěn)定和有效率的供應(yīng)鏈服務(wù)、同時技術(shù)人才間的交流也可以幫助公司及時了解產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢，保證項目產(chǎn)品技術(shù)先進性。

（3）公司雄厚的技術(shù)及研發(fā)實力，為項目實施提供有力的支持

得益于數(shù)年深耕行業(yè)的經(jīng)驗，公司在系統(tǒng)集成及支持設(shè)備、濕法設(shè)備領(lǐng)域上均具備堅實的技術(shù)基礎(chǔ)，逐步形成較強的核心競爭力。

在半導(dǎo)體濕法設(shè)備方面，公司已具備生產(chǎn) 8-12 寸單片式濕法設(shè)備和槽式濕法設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，能夠覆蓋晶圓制造中包括先進制程邏輯電路、高密度存儲、化合物半導(dǎo)體特色工藝等多個細分領(lǐng)域的市場需求，且已經(jīng)在各細分領(lǐng)域取得一線客戶的訂單。近年來，公司技術(shù)創(chuàng)新成果不斷增加，部分機型填補了國產(chǎn)裝備在濕法清洗領(lǐng)域的空白。

公司系統(tǒng)集成及支持設(shè)備國內(nèi)龍頭地位穩(wěn)固，形成了以高純工藝介質(zhì)提純、調(diào)配、輸送和處理，以及以不純物控制為核心的技術(shù)體系，公司系統(tǒng)集成及支持設(shè)備已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn) ppb（十億分之一）級的不純物控制，核心技術(shù)強于國內(nèi)競爭者，個別功能超越國際品牌。目前公司已涵蓋系統(tǒng)集成及支持設(shè)備及設(shè)備的設(shè)計、生產(chǎn)、安裝調(diào)試，配套工程服務(wù)及系統(tǒng)維護與檢測、廠務(wù)托管的全過程，能夠為客戶提供整體解決方案。

另外，公司建立了自主研發(fā)的科研創(chuàng)新體系，擁有上海市市級企業(yè)技術(shù)中心，下設(shè)聯(lián)合實驗室，同時旗下設(shè)有 2 個院士專家工作站（半導(dǎo)體領(lǐng)域和光電子領(lǐng)域）。公司具備高度自主研發(fā)水平，實現(xiàn)了設(shè)備高度自產(chǎn)，有效控制生產(chǎn)成本。目前公司擁有覆蓋氣體類系統(tǒng)，化學品系統(tǒng)、液體類系統(tǒng)等多項核心技術(shù)產(chǎn)品，多項核心產(chǎn)品處于研發(fā)階段，技術(shù)儲備充足，且公司研發(fā)費用持續(xù)增長，研發(fā)實力強勁。

（4）公司良好的生產(chǎn)制造優(yōu)勢和質(zhì)量管理經(jīng)驗為項目建設(shè)提供了充分的保障

公司具有先進的生產(chǎn)制造能力，在半導(dǎo)體濕法設(shè)備領(lǐng)域具有獨立的半導(dǎo)體濕法事業(yè)部，生產(chǎn)的 8-12 寸高階單片濕法設(shè)備和槽式濕法設(shè)備已經(jīng)獲得了多個應(yīng)用領(lǐng)域高端客戶的認可，形成了良好的口碑和信譽。在系統(tǒng)集成及支持設(shè)備領(lǐng)域，公司可以根據(jù)不同行業(yè)客戶的不同工藝，實現(xiàn)快速、精準設(shè)計，充分滿足客戶需求，積累了豐富的項目經(jīng)驗。

同時，公司制定了“質(zhì)量第一、誠實守信、不斷創(chuàng)新、與時俱進”的質(zhì)量方針，建立了嚴謹、科學的質(zhì)量管理體系，在專用設(shè)備生產(chǎn)、現(xiàn)場預(yù)制、系統(tǒng)安裝、以及售后服務(wù)等各個環(huán)節(jié)建立了全程完備的嚴格質(zhì)量控制，部分產(chǎn)品出口至美國、歐洲，亞太等國際知名企業(yè)，產(chǎn)品質(zhì)量達到國際先進水平。

公司豐富的生產(chǎn)制造經(jīng)驗及嚴格有效的質(zhì)量控制體系為本項目順利實施奠定了良好的基礎(chǔ)。

4、項目投資概算

本項目總投資為 33,130.00 萬元。

5、項目經(jīng)濟效益分析

本項目全部達產(chǎn)后預(yù)計可實現(xiàn)年均銷售收入 4.8 億元，項目投資回報良好。

6、項目實施主體

本項目擬由公司子公司至純科技（北京）有限公司負責實施。

7、項目審批情況

項目已取得北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)行政審批局出具的《北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)企業(yè)投資項目備案證明》（項目代碼：京技審項（備）〔2022〕215 號）。

此報告為正式報告摘取部分。需編制政府立項、銀行貸款、投資決策等用途可行性研究報告咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。

來源： 思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 至純科技