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泛半導(dǎo)體設(shè)備洗凈服務(wù)行業(yè)發(fā)展情況
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 富樂德    2022-12-27

1）較長(zhǎng)時(shí)期發(fā)展緩慢且滯后

我國(guó)泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)行業(yè)的發(fā)展滯后于歐美等先進(jìn)工業(yè)國(guó)家。精密洗凈自進(jìn)入工業(yè)化生產(chǎn)后就已經(jīng)出現(xiàn)，迄今已有近 200 年的歷史。上世紀(jì)八九十年代，國(guó)際上半導(dǎo)體工業(yè)和顯示面板工業(yè)快速發(fā)展，使產(chǎn)品不斷向高精密性、高技術(shù)、多種技術(shù)手段相結(jié)合的方向發(fā)展，從而催生出精密洗凈在泛半導(dǎo)體設(shè)備清洗領(lǐng)域的應(yīng)用，目前精密洗凈已經(jīng)廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域，包括顯示面板、半導(dǎo)體、光伏、裝備制造等。

我國(guó)精密洗凈行業(yè)起源于上世紀(jì) 50 年代，但由于當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)水平較低，精密洗凈行業(yè)發(fā)展較為緩慢。上世紀(jì) 80 年代，隨著中國(guó)改革開放和大規(guī)模的技術(shù)引進(jìn)，整體工業(yè)技術(shù)水平不斷提高，國(guó)內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)對(duì)精密洗凈服務(wù)的需求日益加大，但是國(guó)內(nèi)精密洗凈行業(yè)由于多年停滯發(fā)展無法滿足市場(chǎng)需求，特別是早期的泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈領(lǐng)域，基本上被國(guó)外設(shè)備廠商壟斷，中國(guó)大陸精密洗凈服務(wù)行業(yè)（包括泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)）長(zhǎng)期處于萌芽發(fā)展?fàn)顟B(tài)。

2）成長(zhǎng)于國(guó)內(nèi)“缺芯少屏”困局時(shí)代

國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)行業(yè)起步較晚，發(fā)行人前身上海申和（表面處理事業(yè)部）作為國(guó)內(nèi)最早從事精密洗凈服務(wù)的企業(yè)之一，于 2000 年正式進(jìn)入泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)行業(yè)伴隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和顯示面板產(chǎn)業(yè)的發(fā)展共同成長(zhǎng)，它是在國(guó)內(nèi)尋求突破―缺芯少屏‖的困局背景下發(fā)展起來的。

從―屏‖來看，全球 LCD 面板產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)移經(jīng)歷了―美國(guó)起源—日本發(fā)展—韓國(guó)超越—中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)崛起—中國(guó)大陸發(fā)力‖的過程。中國(guó)大陸顯示面板產(chǎn)業(yè)發(fā)端于 2003 年；2009 年以前中國(guó)大陸在全球面板產(chǎn)業(yè)中基本沒有話語權(quán)；從 2009年后，在液晶面板替代傳統(tǒng) CRT 顯示器和中國(guó)大陸市場(chǎng)龐大需求的大背景下，全球液晶面板產(chǎn)能逐漸由日韓及中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)轉(zhuǎn)向中國(guó)大陸，行業(yè)經(jīng)歷了從無到有、從小到大的發(fā)展歷程，中國(guó)大陸面板產(chǎn)業(yè)的實(shí)力實(shí)現(xiàn)跨越。

從―芯‖來看，2010 年國(guó)務(wù)院確定將新一代信息技術(shù)被作為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)之一，提出要著力發(fā)展集成電路等核心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)。2014 年 6 月，國(guó)務(wù)院首次發(fā)布集成電路的綱領(lǐng)性文件《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，突出企業(yè)的主體地位，以技術(shù)創(chuàng)新、模式創(chuàng)新和體制機(jī)制創(chuàng)新為動(dòng)力，突破集成電路關(guān)鍵裝備瓶頸，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)整體提升。集成電路產(chǎn)業(yè)作為國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，近幾年來發(fā)展迅速。隨著中游晶圓制造廠的快速崛起，如中芯國(guó)際的 14nm 量產(chǎn)，長(zhǎng)鑫存儲(chǔ) DRAM 量產(chǎn)，長(zhǎng)江存儲(chǔ) NAND Flash 量產(chǎn)，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)瓶頸突破，推動(dòng)設(shè)備、材料等上下游產(chǎn)業(yè)鏈的快速發(fā)展。

國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)行業(yè)伴隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和顯示面板產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而成長(zhǎng)。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和顯示面板行業(yè)先進(jìn)制程的不斷進(jìn)步，國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)的洗凈工藝也隨之更新，不斷保障高階制程的落實(shí)，保障泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的順利進(jìn)行。

由于泛半導(dǎo)體行業(yè)高端核心設(shè)備至今仍然較多為國(guó)外公司壟斷，國(guó)外公司在出售核心設(shè)備時(shí)，一般會(huì)設(shè)置 PACKAGE 條款限定國(guó)內(nèi)客戶的生產(chǎn)設(shè)備維護(hù)只能或在一定時(shí)間內(nèi)只能由出售方或其指定方提供，一定程度限制了國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體精密洗凈服務(wù)行業(yè)的發(fā)展。目前我國(guó)泛半導(dǎo)體精密洗凈服務(wù)行業(yè)仍處于上升階段，在技術(shù)水平上仍有較大的提升空間。

3）泛半導(dǎo)體洗凈行業(yè)的行業(yè)規(guī)模

公司所處的泛半導(dǎo)體設(shè)備洗凈服務(wù)產(chǎn)業(yè)是泛半導(dǎo)體（包括半導(dǎo)體和顯示面板等）產(chǎn)業(yè)的延伸環(huán)節(jié)，有助于保障泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的安全、穩(wěn)定生產(chǎn)，洗凈技術(shù)隨著泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展逐步提高，通常是一代器件、一代設(shè)備、一代洗凈工藝。

根據(jù)芯謀研究（ICwise）發(fā)布的《國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件洗凈服務(wù)行業(yè)發(fā)展研報(bào)》（中國(guó)大陸地區(qū)），2020 年中國(guó)大陸地區(qū)泛半導(dǎo)體零部件清洗市場(chǎng)總計(jì) 26 億元人民幣，其中面板 9.8 億人民幣、半導(dǎo)體 16.2 億人民幣。預(yù)計(jì)到 2025年洗凈市場(chǎng)增加到 43.4 億，年復(fù)合增長(zhǎng)率 10.8%。其中半導(dǎo)體增量高于面板，市場(chǎng)擴(kuò)大 14.3 億，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到 13.5%。

根據(jù)芯謀研究出具的說明，其對(duì)中國(guó)大陸地區(qū)泛半導(dǎo)體零部件清洗市場(chǎng)容量的測(cè)算主要基于以下幾個(gè)方面：

①市場(chǎng)容量預(yù)估。其中，半導(dǎo)體洗凈市場(chǎng)容量，12 吋和 8 吋的晶圓均參考中芯國(guó)際等典型企業(yè)的模式和每萬片產(chǎn)能的大概洗凈費(fèi)用作為參考標(biāo)準(zhǔn)，以中國(guó)大陸地區(qū)現(xiàn)有產(chǎn)能作為依據(jù)，統(tǒng)計(jì)出晶圓洗凈的費(fèi)用；面板洗凈市場(chǎng)容量，主要參考京東方的產(chǎn)線（6.5 吋）每 K 片產(chǎn)能的洗凈費(fèi)用，以及中國(guó)大陸地區(qū)面板總產(chǎn)能；

②統(tǒng)計(jì)相對(duì)保守。同樣 8 吋晶圓廠，不同的廠商，節(jié)點(diǎn)越先進(jìn)的工藝，單位產(chǎn)能洗凈費(fèi)用越高，產(chǎn)能利用率越小、單位產(chǎn)能的洗凈費(fèi)用越高，尚處于調(diào)試工藝的廠商會(huì)比穩(wěn)定運(yùn)營(yíng)的廠商洗凈費(fèi)用更高，中芯國(guó)際的上海 8 吋廠（參照物）無論產(chǎn)能、成熟度都非常高，因此洗凈費(fèi)用依據(jù)中芯國(guó)際上海 8 吋廠推算相對(duì)穩(wěn)健和保守；同樣，京東方的 6.5 吋面板廠也是中國(guó)大陸地區(qū)最成熟、產(chǎn)能較大的主體，其單位產(chǎn)能的洗凈費(fèi)用也相對(duì)較低，面板洗凈市場(chǎng)通過京東方的洗凈費(fèi)用來推算也較為穩(wěn)健和保守；

③對(duì)目前泛半導(dǎo)體設(shè)備洗凈市場(chǎng)容量的預(yù)估，從短期看相對(duì)保守，各種因素導(dǎo)致中國(guó)大陸地區(qū)其他泛半導(dǎo)體廠商的單位洗凈費(fèi)用高于中芯國(guó)際和京東方這類龍頭企業(yè)；從中長(zhǎng)期看，對(duì)市場(chǎng)容量的預(yù)估又比較穩(wěn)健，中國(guó)大陸地區(qū)其他泛半導(dǎo)體廠商逐步發(fā)展穩(wěn)定后，單位洗凈費(fèi)用會(huì)逐漸向龍頭企業(yè)看齊。