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年產(chǎn)36萬噸半導(dǎo)體級(jí)電子材料二期項(xiàng)目可行性研究報(bào)告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 德爾科技    2023-09-16

“年產(chǎn) 36 萬噸半導(dǎo)體級(jí)電子材料項(xiàng)目（二期）”以公司現(xiàn)有的核心技術(shù)與產(chǎn)品結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，豐富超凈高純濕電子化學(xué)品產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，完善濕電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)布局。項(xiàng)目建成后，公司將新增電子級(jí)硫酸、電子級(jí)鹽酸、電子級(jí)硝酸、電子級(jí)雙氧水、電子級(jí)氨水、電子級(jí)二氧化硅（BOE）蝕刻液、電子級(jí)二氧化硅（SIO） 蝕刻液等產(chǎn)品產(chǎn)能，提高 G5 級(jí)濕電子化學(xué)品的國產(chǎn)化率，解決芯片制程的多項(xiàng) “卡脖子”材料。

項(xiàng)目實(shí)施將促進(jìn)公司超凈高純濕電子化學(xué)品與電子特種氣體等業(yè)務(wù)板塊在集成電路領(lǐng)域的協(xié)同發(fā)展，實(shí)現(xiàn)公司各產(chǎn)品間的相互促進(jìn)，形成產(chǎn)品聯(lián)動(dòng)機(jī)制，以滿足客戶多樣化需求。

本項(xiàng)目采用公司自主研發(fā)的半導(dǎo)體用濕電子化學(xué)品生產(chǎn)技術(shù)，應(yīng)用吸附法、減壓蒸發(fā)、反滲透過濾膜與離子交換樹脂法等方 法對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行提純，經(jīng)提純后的產(chǎn)品純度最高可達(dá) G5 級(jí)，可滿足下游先進(jìn)制程 集成電路工藝的需求。

因此，本項(xiàng)目與公司主營業(yè)務(wù)和核心技術(shù)之間密切相關(guān)， 能夠進(jìn)一步增強(qiáng)公司持續(xù)盈利能力，從而提高公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。

1、項(xiàng)目概況

本項(xiàng)目實(shí)施主體為子公司福建天甫，項(xiàng)目投資總額為 90,856.50 萬元，擬使用募集資金 60,000.00 萬元。本項(xiàng)目是“年產(chǎn) 36 萬噸半導(dǎo)體電子材料” 項(xiàng)目的二期工程，項(xiàng)目建設(shè)將基于一期已建成的公輔工程、儲(chǔ)運(yùn)工程、環(huán)保工程以及其他輔助生產(chǎn)設(shè)施，建設(shè)電子級(jí)硫酸、電子級(jí)鹽酸、電子級(jí)硝酸、電子級(jí)雙氧水、電子級(jí)氨水、電子級(jí)二氧化硅（BOE）蝕刻液、電子級(jí)二氧化硅（SIO）蝕刻液等產(chǎn)品生產(chǎn)及檢測(cè)裝置，新增儲(chǔ)運(yùn)裝備配置。

2、項(xiàng)目實(shí)施的必要性

（1）順應(yīng)國家集成電路產(chǎn)業(yè)安全健康發(fā)展趨勢(shì)

集成電路產(chǎn)業(yè)作為國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展重要的基礎(chǔ)組成部分，把控集成電路產(chǎn)業(yè)安全健康發(fā)展，推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程是國家戰(zhàn)略性需求。近年來，我國高度重視集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展且已取得一定成效，但我國集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平與先進(jìn)國家或地區(qū)相比仍存在較大差距，以濕電子化學(xué)品為例，當(dāng)前國產(chǎn)濕電子化學(xué)品仍主要應(yīng)用于中低端領(lǐng)域，應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路先進(jìn)制程制造過程中的超凈高純濕電子化學(xué)品由于我國產(chǎn)業(yè)化起步較晚且產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)應(yīng)用時(shí)間相對(duì)較短，現(xiàn)階段仍主要依托于進(jìn)口。

因此，為順應(yīng)國家集成電路產(chǎn)業(yè)安全健康發(fā)展趨勢(shì)，需加大應(yīng)用于大規(guī)模先進(jìn)制程集成電路用濕電子化學(xué)品的產(chǎn)業(yè)化投入，促進(jìn)國產(chǎn)產(chǎn)品突破行業(yè)壁壘，以加快提升國產(chǎn)化程度。

公司將通過本項(xiàng)目建設(shè)生產(chǎn)超凈高純濕電子化學(xué)品，主要應(yīng)用于集成電路制造中的清洗、光刻、顯影、蝕刻等工序。綜上，項(xiàng)目實(shí)施不僅是公司順應(yīng)國家集成電路產(chǎn)業(yè)安全健康發(fā)展趨勢(shì)的重要舉措，也是公司把握超凈高純濕電子化學(xué)品國產(chǎn)替代機(jī)遇的必要手段。

（2）完善高端產(chǎn)品生產(chǎn)布局，提高公司產(chǎn)品高端市場(chǎng)占有率

超凈高純濕電子化學(xué)品作為超大規(guī)模集成電路先進(jìn)制程生產(chǎn)過程中所需的重要電子專用材料，其對(duì)集成電路的良品率、電性能和可靠性等均有十分重要的影響，屬于國家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展、優(yōu)先支持的產(chǎn)品。隨著集成電路工藝向更高制程級(jí)別發(fā)展，集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)濕電子化學(xué)品的要求不斷提升，濕電子化學(xué)品成為集成電路制造業(yè)快速發(fā)展中不可或缺的重要支撐材料。

本項(xiàng)目將建設(shè)電子級(jí)硫酸、電子級(jí)鹽酸、電子級(jí)硝酸、電子級(jí)雙氧水、電子級(jí)氨水、電子級(jí)二氧化硅（BOE）蝕刻液、電子級(jí)二氧化硅（SIO）蝕刻液等產(chǎn)品，將擴(kuò)大公司超凈高純濕電子化學(xué)品生產(chǎn)規(guī)模，有利于公司高端濕電子化學(xué)品在國內(nèi)集成電路市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中取得先發(fā)優(yōu)勢(shì)，提高公司產(chǎn)品在高端市場(chǎng)的占有率，進(jìn)一步擴(kuò)大品牌影響力，提升公司經(jīng)濟(jì)效益，增強(qiáng)公司綜合競(jìng)爭(zhēng)力。

3、項(xiàng)目實(shí)施的可行性

（1）符合國家產(chǎn)業(yè)政策導(dǎo)向，屬于國家重點(diǎn)鼓勵(lì)類項(xiàng)目

本次募投項(xiàng)目規(guī)劃生產(chǎn)的高純化學(xué)試劑屬于《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類（2018）》中 “新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)”之“電子核心產(chǎn)業(yè)”下“高儲(chǔ)能和關(guān)鍵電子材料制造”，屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019 年本）》“鼓勵(lì)類”項(xiàng)目范疇。2021 年12 月工信部印發(fā)《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2021 年版）》在“超高純化學(xué)試劑”中列示 6 種超高純化學(xué)試劑，“特種氣體”中列示 33 種特種氣體，對(duì)純度、雜質(zhì)等指標(biāo)提出明確要求?！秶抑攸c(diǎn)支持的高新技術(shù)領(lǐng)域》將電子化

學(xué)品、功能精細(xì)化學(xué)品等列為國家重點(diǎn)支持高新技術(shù)領(lǐng)域。2021 年 3 月十三屆全國人大四次會(huì)議表決通過了《中華人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和 2035 年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》中提出，聚焦新一代信息技術(shù)、生物技術(shù)、新能源、新材料、高端裝備、新能源汽車、綠色環(huán)保以及航空航天、海洋裝備等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，加快關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用，增強(qiáng)要素保障能力，培育壯大產(chǎn)業(yè)發(fā)展新動(dòng)能。

本項(xiàng)目的實(shí)施順應(yīng)國家戰(zhàn)略及政策導(dǎo)向，國家產(chǎn)業(yè)政策的支持和引導(dǎo)為本項(xiàng)目的實(shí)施奠定了良好的政策基礎(chǔ)。

（2）廣闊的市場(chǎng)容量，為募投項(xiàng)目順利實(shí)施提供強(qiáng)大的需求支撐

集成電路產(chǎn)業(yè)作為國家電子信息產(chǎn)業(yè)的基石，是支撐經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，也是世界各國綜合國力和國際競(jìng)爭(zhēng)力的體現(xiàn)。濕電子化學(xué)品用于集成電路制造過程中的清洗、光刻和蝕刻等工序，可有效清除晶圓表面殘留污染物、減少金屬雜質(zhì)含量，為下游產(chǎn)品質(zhì)量提供保障。

在近年來中美貿(mào)易摩擦背景下，掌握集成電路產(chǎn)業(yè)的重要性進(jìn)一步突顯，未來國產(chǎn)替代的逐步推進(jìn)將進(jìn)一步提升集成電路自給率，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈帶來新發(fā)展機(jī)遇。根據(jù)中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布的《2022 版濕化學(xué)品行業(yè)研究報(bào)告》數(shù)據(jù)顯示，2021 年全球集成電路用濕電子化學(xué)品整體市場(chǎng)規(guī)模約 61.7 億美元。

預(yù)計(jì) 2022 年將增長到 64.9 億美元，并于 2025 年進(jìn)一步增加到 75.5 億美元。顯示面板產(chǎn)業(yè)是濕電子化學(xué)品的另一重要應(yīng)用領(lǐng)域，濕電子化學(xué)品作為顯示面板制造中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)材料之一，主要應(yīng)用于新型顯示器（TFT-LCD、OLED等）生產(chǎn)過程中的光刻、蝕刻、清洗等工序。

濕電子化學(xué)品的純度和潔凈度對(duì)新型顯示器的成品率產(chǎn)生十分重要的影響，如在大屏幕、高清晰的面板制造過程中，濕電子化學(xué)品中若含有金屬離子和塵埃顆粒等將使得面板產(chǎn)生缺陷。近年來，在我國產(chǎn)業(yè)政策支持、技術(shù)實(shí)現(xiàn)突破等多重利好因素的推動(dòng)下，我國顯示面板行業(yè)取得了長足進(jìn)步，形成了以京東方、TCL 科技、深天馬、維信諾等重點(diǎn)企業(yè)領(lǐng)銜的產(chǎn)業(yè)集群，全球產(chǎn)能占比超過六成，已是全球第一大顯示面板產(chǎn)業(yè)集中地。

濕電子化學(xué)品行業(yè)的發(fā)展與顯示面板行業(yè)的發(fā)展息息相關(guān)，顯示面板行業(yè)的快速發(fā)展有效帶動(dòng)了對(duì)濕電子化學(xué)品的市場(chǎng)需求。根據(jù)中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示，2020 年全球新型顯示用濕電子化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 120.6 億元，預(yù)計(jì)將在2025 年達(dá)到 210.2 億元，年均復(fù)合增長率達(dá) 11.75%。

（3）產(chǎn)品板塊協(xié)同發(fā)展，電子特種氣體業(yè)務(wù)助力濕電子化學(xué)品客戶導(dǎo)入

濕電子化學(xué)品下游客戶與電子特種氣體存在高度重疊，同樣存在高客戶壁壘，新進(jìn)企業(yè)必須經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量驗(yàn)證過程。

集成電路和顯示面板等產(chǎn)品生產(chǎn)制造過程中一般需同時(shí)使用多種濕電子化學(xué)品、電子特種氣體等電子專用材料進(jìn)行搭配使用或用于不同工藝，因此為保證生產(chǎn)及供應(yīng)穩(wěn)定性、效率等因素，生產(chǎn)制造企業(yè)在選擇供應(yīng)商時(shí)會(huì)更加青睞能夠提供多品種產(chǎn)品的供應(yīng)商，下游各應(yīng)用領(lǐng)域客戶在與關(guān)鍵材料供應(yīng)商建立供應(yīng)關(guān)系后會(huì)保持長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。目前，公司已有多個(gè)品種電子特種氣體產(chǎn)品進(jìn)入集成電路廠商供應(yīng)鏈，為濕電子化學(xué)品迅速地切入客戶供應(yīng)鏈提供了有利基礎(chǔ)。

本項(xiàng)目生產(chǎn)的濕電子化學(xué)品能夠與公司現(xiàn)有電子特種氣體產(chǎn)品形成協(xié)同效應(yīng)，將能夠同時(shí)覆蓋制造工序中的干法與濕法工藝，為客戶提供更為完備的產(chǎn)品方案。

完整版可行性研究報(bào)告依據(jù)國家部門及地方政府相關(guān)法律、法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)，本著客觀、求實(shí)、科學(xué)、公正的原則，在現(xiàn)有能夠掌握的資料和數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，主要就項(xiàng)目建設(shè)背景、需求分析及必要性、可行性、建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容、建設(shè)條件及方案、項(xiàng)目投資及資金來源、社會(huì)效益、經(jīng)濟(jì)效益以及項(xiàng)目建設(shè)的環(huán)境保護(hù)等方面逐一進(jìn)行研究論證，以確定項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)上的合理性、技術(shù)上的可行性，為項(xiàng)目投資主體和主管部門提供決策參考。此報(bào)告為思瀚摘錄部分。