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泛半導(dǎo)體設(shè)備洗凈服務(wù)行業(yè)在新技術(shù)、新產(chǎn)業(yè)、新業(yè)態(tài)、新模式等方面的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 富樂(lè)德    2022-12-27

泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)的市場(chǎng)發(fā)展與下游應(yīng)用行業(yè)的發(fā)展密不可分。隨著下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)升級(jí)發(fā)展的困局逐步破解，國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備精密清洗凈務(wù)行業(yè)呈現(xiàn)出如下趨勢(shì)：

1）國(guó)產(chǎn)替代政策助推，研發(fā)環(huán)節(jié)加深產(chǎn)業(yè)聯(lián)動(dòng)

在半導(dǎo)體和顯示面板制造領(lǐng)域，由于高端產(chǎn)品和設(shè)備技術(shù)壁壘，國(guó)內(nèi)企業(yè)長(zhǎng)期研發(fā)投入和積累不足，高端產(chǎn)品和設(shè)備市場(chǎng)主要被歐美、日韓、中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)等少數(shù)國(guó)際大公司壟斷，造成高端設(shè)備維護(hù)長(zhǎng)期受到國(guó)際設(shè)備供應(yīng)商的限制，無(wú)法根據(jù)市場(chǎng)價(jià)格自主選擇精密洗凈服務(wù)提供商。這在較大程度上掣肘著我國(guó)精密洗凈服務(wù)企業(yè)的發(fā)展。

2014 年 6 月，國(guó)務(wù)院首次發(fā)布集成電路的綱領(lǐng)性文件《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，提出以技術(shù)創(chuàng)新、模式創(chuàng)新和體制機(jī)制創(chuàng)新為動(dòng)力，突破集成電路關(guān)鍵裝備瓶頸，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)整體提升。如下圖所述，隨后我國(guó)各級(jí)政府出臺(tái)了一系列政策和規(guī)劃目標(biāo)，以打破國(guó)外在集成電路設(shè)計(jì)和制造等關(guān)鍵領(lǐng)域的壟斷。2020 年 11 月，在國(guó)務(wù)院發(fā)布的十四五規(guī)劃中強(qiáng)調(diào)，要打好關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)戰(zhàn)，瞄準(zhǔn)集成電路等前沿領(lǐng)域，加快壯大新一代信息技術(shù)等產(chǎn)業(yè)。

當(dāng)前中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主化進(jìn)程已經(jīng)開啟。目前國(guó)內(nèi)在硅片、光刻膠、CMP、濕化學(xué)品等多方面均實(shí)現(xiàn)了一部分的國(guó)產(chǎn)替代。由于海外的持續(xù)封鎖，本土晶圓廠也會(huì)加速國(guó)產(chǎn)設(shè)備的導(dǎo)入認(rèn)證過(guò)程，給予充分的試錯(cuò)機(jī)會(huì)和反饋，有助于國(guó)產(chǎn)設(shè)備的成長(zhǎng)；國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體精密洗凈服務(wù)企業(yè)將有更多機(jī)會(huì)、更早階段參與到客戶的技術(shù)更新和設(shè)備引進(jìn)中，提供配套的洗凈服務(wù)。

顯示面板領(lǐng)域，伴隨著韓國(guó)廠商 LG 顯示和三星顯示（SDC）相繼退出 LCD產(chǎn)業(yè)，預(yù)示著在多年的日本、韓國(guó)和中國(guó)之間的屏幕競(jìng)爭(zhēng)終于落下了帷幕。當(dāng)前京東方、TCL 華星領(lǐng)跑全球 LCD 行業(yè)，有望帶動(dòng)本土產(chǎn)業(yè)鏈全面崛起，國(guó)產(chǎn)替代將為國(guó)內(nèi)精密洗凈服務(wù)企業(yè)提供更多的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。

2）泛半導(dǎo)體設(shè)備洗凈技術(shù)要求提升、頻次增加

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體器件集成度不斷提高。一方面，芯片工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮小，由 12μm-0.35um（1965 年-1995 年）到 65nm-22nm（2005年-2015 年），且還在向更先進(jìn)的方向發(fā)展；另一方面半導(dǎo)體晶圓的尺寸卻不斷擴(kuò)大，主流晶圓尺寸已經(jīng)從 4 英寸、6 英寸，發(fā)展到現(xiàn)階段的 8 英寸、12 英寸。

此外，半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu)也趨于復(fù)雜。這些對(duì)半導(dǎo)體專用設(shè)備的精密度與穩(wěn)定性的要求越來(lái)越高，未來(lái)半導(dǎo)體專用設(shè)備將向高精密化與高集成化方向發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的污染控制要求也會(huì)越來(lái)越高，對(duì)洗凈技術(shù)的要求不斷提升、洗凈頻次也不斷縮短。

自 2009 年以來(lái)，我國(guó)圍繞玻璃基板、高世代液晶面板線、模組與整機(jī)一體化以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)配套的總投資規(guī)劃超過(guò) 2000 億元，我國(guó)正在加速對(duì)先進(jìn)生產(chǎn)線的投資力度，中國(guó)成為投資全球高世代線產(chǎn)線建設(shè)最為活躍的國(guó)家，為全球新型液晶顯示設(shè)備和原材料提供了主要市場(chǎng)。隨著智能手機(jī)、平板電腦等智能終端產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，以及在車載顯示、工控和醫(yī)療顯示等專業(yè)顯示領(lǐng)域的發(fā)展，使得LCD 高世代線及 OLED 等新型顯示面板需求不斷增長(zhǎng)，高世代線對(duì)生產(chǎn)精度要求不斷提升，生產(chǎn)過(guò)程中易污染設(shè)備的洗凈要求及洗凈頻次亦不斷提升。

3）下游新興終端產(chǎn)業(yè)崛起，促進(jìn)洗凈服務(wù)行業(yè)持續(xù)增長(zhǎng)

受益于全球信息化、網(wǎng)絡(luò)化和知識(shí)經(jīng)濟(jì)的迅速發(fā)展，特別是在以物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、汽車電子、智能手機(jī)、智能穿戴、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)和安防電子等為主的新興應(yīng)用終端領(lǐng)域強(qiáng)勁需求的帶動(dòng)下，全球半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模巨大。

物聯(lián)網(wǎng)和人工智能等新興產(chǎn)業(yè)的革命為整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的下一輪進(jìn)化提供了動(dòng)力，形成對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)長(zhǎng)期旺盛的增量需求。精密洗凈服務(wù)作為這些應(yīng)用行業(yè)中不可或缺的必要環(huán)節(jié)，將直接受益于下游行業(yè)持續(xù)強(qiáng)勁的市場(chǎng)需求。

4）AMOLED 滲透率不斷提升，推動(dòng)洗凈技術(shù)迭代更新.

AMOLED 在新型顯示技術(shù)的驅(qū)動(dòng)下具有長(zhǎng)期的成長(zhǎng)性。AMOLED 可以實(shí)現(xiàn)自發(fā)光，因而無(wú)需額外配備背光模組，僅需非常薄的有機(jī)涂層和玻璃蓋板或柔性有機(jī)基板即可成像，可以讓手機(jī)更輕薄、質(zhì)感更好、反應(yīng)速度更快；此外基于AMOLED 自發(fā)光的特性，可以使屏幕的視角更廣、分辨率更高。

同時(shí)相較于 LCD屏幕，AMOLED 在非白光狀態(tài)下的耗電量?jī)H為 LCD 的 6 成。目前市面上大多數(shù)曲面屏手機(jī)采用的都是 AMOLED 顯示屏。對(duì)于手機(jī)面板而言，AMOLED 顯示技術(shù)正在成為中高端 5G 機(jī)型的標(biāo)配，尤其是折疊手機(jī)成為新的手機(jī)形態(tài)，帶來(lái)行業(yè)歷史性的成長(zhǎng)機(jī)遇。

2019 年 AMOLED 在智能手機(jī)機(jī)型滲透率已達(dá) 31.0%（Omdia 數(shù)據(jù)），未來(lái)這一滲透率將進(jìn)一步上升。從需求端來(lái)看，智能手機(jī)端，AMOLED 屏幕由高端向中低端機(jī)型滲透，可折疊形態(tài)帶來(lái)新增量，Counterpoint預(yù)測(cè) 2022 年配備 AMOLED 屏的智能手機(jī)出貨量有望達(dá)到 8 億臺(tái)；疊加可穿戴設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用拓展，AMOLED 需求前景可觀。

由于 AMOLED 半導(dǎo)體顯示面板產(chǎn)品生產(chǎn)和組裝的精度要求極高（達(dá)到微米級(jí)），同時(shí)產(chǎn)品品質(zhì)要求日益嚴(yán)格；作為面板行業(yè)的新技術(shù)，對(duì)配套提供洗凈服務(wù)企業(yè)的技術(shù)和工藝也提出更高的要求，加速推動(dòng)洗凈技術(shù)的迭代更新，同時(shí)有望帶來(lái)洗凈服務(wù)企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益的提升。

5）下游潛在洗凈設(shè)備范圍擴(kuò)大

公司目前洗凈設(shè)備主要集中在半導(dǎo)體及顯示面板行業(yè)，其他行業(yè)很少涉及。LED 顯示屏指通過(guò)半導(dǎo)體發(fā)光二極管顯示文字、圖像、視頻等信號(hào)的屏幕設(shè)備。LED 顯示屏以單個(gè)半導(dǎo)體發(fā)光二極管為像素點(diǎn)，不同材料的半導(dǎo)體發(fā)光二極管可產(chǎn)生不同色彩的 LED 像素點(diǎn)。傳統(tǒng) LED 顯示屏制造要求相對(duì)較低，生產(chǎn)設(shè)備對(duì)污染控制要求不高，一般不存在設(shè)備洗凈服務(wù)需求。隨著 LED 顯示應(yīng)用技術(shù)的不斷升級(jí)，LED顯示屏行業(yè)還逐漸出現(xiàn)小間距LED顯示屏、Mini LED顯示屏、Micro LED 顯示屏等高密度 LED 顯示屏產(chǎn)品。Mini LED 技術(shù)可改善小間距 LED

顯示屏易損壞、產(chǎn)品維護(hù)性差等問(wèn)題，穩(wěn)定性進(jìn)一步提高，還具備防潮、耐磨、抗靜電、易清潔、高效散熱等特點(diǎn)，市場(chǎng)關(guān)注度不斷提升。Micro LED 技術(shù)相比Mini LED 技術(shù)難度更高，Micro LED 顯示屏具有功耗低、壽命長(zhǎng)、亮度高、對(duì)比度高、色域?qū)挕⒎直媛矢?、刷新率快、視角寬等特點(diǎn)。Mini LED、Micro LED顯示屏的上述特點(diǎn)決定其對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的潔凈度、對(duì)設(shè)備污染控制的要求較高，相關(guān)易受污染生產(chǎn)設(shè)備亦成為公司未來(lái)洗凈服務(wù)對(duì)象。

6）集成電路工藝進(jìn)步，洗凈服務(wù)市場(chǎng)有望量?jī)r(jià)齊升

在摩爾定律推動(dòng)下，元器件集成度的提高要求集成電路線寬不斷縮小，直接導(dǎo)致集成電路制造工序愈為復(fù)雜。隨著集成電路尺寸及線寬的縮小、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的立體化及生產(chǎn)工藝的復(fù)雜化等因素疊加，使得刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備為代表的核心腔體裝備需求增加。根據(jù) SEMI 統(tǒng)計(jì)，20 納米工藝所需工序約為 1,000 道，而 10 納米工藝和 7 納米工藝所需工序已超過(guò) 1,400 道。

尤其當(dāng)線寬向更小的方向升級(jí)，當(dāng)前市場(chǎng)普遍使用的光刻機(jī)受波長(zhǎng)的限制精度無(wú)法滿足要求，需要采用多重模板工藝，重復(fù)多次薄膜沉積和刻蝕工序以實(shí)現(xiàn)更小的線寬，使得薄膜沉積和刻蝕次數(shù)顯著增加。工序步驟的大幅增加意味著需要更多以刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備為代表的半導(dǎo)體腔體設(shè)備參與集成電路生產(chǎn)環(huán)節(jié)，而腔體設(shè)備的洗凈服務(wù)需求也相應(yīng)增長(zhǎng)。

隨著芯片先進(jìn)制程的進(jìn)步及芯片結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化，將帶動(dòng)精密洗凈服務(wù)市場(chǎng)的需求量和價(jià)格增長(zhǎng)。隨著芯片工藝不斷進(jìn)步，清洗工序的數(shù)量大幅提高，所需清洗設(shè)備數(shù)量也在持續(xù)增長(zhǎng)。根據(jù) IBS 統(tǒng)計(jì)，隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不斷縮小，集成電路制造的設(shè)備投入呈大幅上升的趨勢(shì)。以 5 納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)為例，其投資成本高達(dá)數(shù)百億美元，是 14 納米的兩倍以上、28 納米的四倍左右。隨著制程不斷向高制程演進(jìn)，半導(dǎo)體領(lǐng)域洗凈服務(wù)的投入及重要性有望上升，相應(yīng)的洗凈服務(wù)價(jià)格有望提高。

7）產(chǎn)業(yè)升級(jí)進(jìn)程，客戶需求呈現(xiàn)多樣化

全球半導(dǎo)體行業(yè)正在開始第三次產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移，即向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移。歷史上每一次產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移都帶動(dòng)了當(dāng)?shù)禺a(chǎn)業(yè)的發(fā)展、垂直化分工進(jìn)程的推進(jìn)，最終實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈的整體發(fā)展。發(fā)行人另一應(yīng)用行業(yè)即面板制造行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈，已由歐美、日韓、中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)等區(qū)域逐漸轉(zhuǎn)移至我國(guó)大陸地區(qū)。隨著我國(guó)晶圓代工和顯示面板產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，精密洗凈服務(wù)行業(yè)各類客戶不再局限于基本的洗凈需求，設(shè)備維修、陶瓷熔射、陽(yáng)極氧化等洗凈衍生服務(wù)需求勢(shì)必增加，同時(shí)服務(wù)內(nèi)容需求呈現(xiàn)個(gè)性化和多樣化趨勢(shì)。

我國(guó)泛半導(dǎo)體精密洗凈服務(wù)行業(yè)，正處于企業(yè)技術(shù)進(jìn)步、產(chǎn)業(yè)升級(jí)的進(jìn)程中。未來(lái)洗凈再生等增值領(lǐng)域成長(zhǎng)機(jī)會(huì)較大，將成為有競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力的精密洗凈服務(wù)企業(yè)新的業(yè)務(wù)增長(zhǎng)點(diǎn)。